グローブ ボックスの移送チャンバーを介してアイテムを移送するときにポンプ パージ サイクルを実行するのはなぜですか?

の主な機能は、 グローブボックス は、絶対的に純粋な内部環境を維持するためにあります。物質移送の経路である移送チャンバーの浄化効率は、物品移送中のグローブ ボックス内の雰囲気の変化を決定します。

グローブ ボックスの搬送チャンバーを通してアイテムを搬送する場合、「3 ポンプ 3 パージ」操作が不可欠です。この自動プロセスは、特定のニーズに基づいてポンプ パージ サイクルと期間を手動で調整することもできます。 「3 ポンプ 3 パージ」の意味とその目的を理解していますか?

「3 ポンプ 3 パージ」には、搬送チャンバーの排気と不活性ガスの充填という 3 つのサイクルが交互に行われます。このプロセスにより、チャンバーとアイテムの表面から残留酸素と水分が除去されます。各真空サイクルでほとんどのガスが排出された後、グローブ ボックスの内部ガスが導入されて汚染物質が希釈されます。 3 つのサイクルにより、材料表面に吸着されたガス分子を除去しながら、汚染物質の濃度が指数関数的に減少します (例: 酸素が 21% から 5 ppm 未満に)。このプロセスを経て初めて、グローブボックスの内部環境を損なうことなく物品を搬送することができます。

1 回の真空引きで最大 90% のガスが除去されますが、残留酸素/水分が数千 ppm 残る場合があります。残留空気はサイクルごとに指数関数的に減少します (例: 10% → 1% → 0.1%)。 3 サイクルの累積効果により不純物が 10 ppm 未満に減少し、チャンバーの雰囲気とグローブ ボックスの内部が調整され、移送中の汚染が防止されます。

初期状態: 外部に接続されている場合、トランスファー チャンバーは大気圧 (0 bar) ですが、メイン チャンバーはわずかに正圧を維持します。

パージ段階: グローブ ボックスのガスがチャンバーを満たし、その雰囲気と圧力がメイン チャンバーと一致します。これにより、チャンバードアを開けるときの気流の衝撃が防止され、環境の安定性が確保されます。

汚染物質はポンプパージサイクル中に除去され、置換されます。

有毒ガス (HF など) がメイン チャンバー内に存在する場合、ボンベ ガスを使って移送チャンバーに直接パージすることで、残留毒素が安全しきい値以下に減少し、オペレーターを保護します。

移送チャンバ内の残留水分/酸素が多いと、開いたときにメイン チャンバが汚染物質で満たされる可能性があります。これにより、精製カラムが集中的に動作することになり、吸着剤が早期に飽和して、再生/交換コストが増加する可能性があります。