الوظيفة الأساسية ل صندوق القفازات هو الحفاظ على بيئة داخلية نقية تمامًا. وباعتبارها قناة لنقل المواد، تحدد كفاءة تنقية غرفة النقل التغيرات الجوية داخل صندوق القفازات أثناء عمليات نقل العناصر.
تعتبر عملية 'ثلاث مضخات وثلاثة تطهير' ضرورية عند نقل العناصر من خلال حجرة نقل صندوق القفازات. يمكن أيضًا تعديل هذه العملية الآلية يدويًا لدورات تطهير المضخة ومدتها بناءً على الاحتياجات المحددة. هل تفهم ما الذي تتضمنه عملية التطهير الثلاثة والمضخات الثلاثة والغرض منها؟
1. ما هو 'ثلاث مضخات، ثلاثة تطهير'؟
تتضمن عملية 'التطهير الثلاثي المضخات الثلاثة' ثلاث دورات متناوبة لإخلاء غرفة النقل وملئها بالغاز الخامل. تعمل هذه العملية على إزالة الأكسجين والرطوبة المتبقية من الحجرة وأسطح العناصر. بعد أن تقوم كل دورة تفريغ بطرد معظم الغازات، يتم إدخال الغاز الداخلي لصندوق القفازات لتخفيف الملوثات. تعمل ثلاث دورات على تقليل تركيزات الملوثات بشكل كبير (على سبيل المثال، الأكسجين من 21% إلى أقل من 5 جزء في المليون) مع التخلص من جزيئات الغاز الممتصة على أسطح المواد. فقط بعد هذه العملية يمكن نقل العناصر دون المساس بالبيئة الداخلية لصندوق القفازات.
ثانيا. لماذا ثلاث دورات، وليس واحدة؟
يزيل فراغ واحد حوالي 90% من الغازات، لكن الأكسجين/الرطوبة المتبقية قد تبقى عند آلاف جزء في المليون. يتناقص الهواء المتبقي بشكل كبير مع كل دورة (على سبيل المثال، 10% → 1% → 0.1%). يعمل التأثير التراكمي لثلاث دورات على تقليل الشوائب إلى أقل من 10 جزء في المليون، مما يؤدي إلى محاذاة جو الغرفة مع الجزء الداخلي لصندوق القفازات لمنع التلوث أثناء عمليات النقل.
ثالثا. وظائف 'ثلاث مضخات، ثلاثة تطهير'
(1) معادلة فروق الضغط
الحالة الأولية: تكون غرفة النقل عند ضغط جوي (0 بار) عند توصيلها خارجيًا، بينما تحافظ الغرفة الرئيسية على ضغط إيجابي طفيف.
مرحلة الفراغ: يعمل الضغط السلبي في غرفة النقل على طرد الغازات الأصلية بكفاءة.
مرحلة التطهير: يملأ غاز صندوق القفازات الحجرة، ليطابق جوها وضغطها مع الحجرة الرئيسية. وهذا يمنع صدمات تدفق الهواء عند فتح باب الغرفة، مما يضمن الاستقرار البيئي.
(2) إزالة الرطوبة والأكسجين من العناصر
تعمل الأختام المطاطية والمكونات البلاستيكية والجدران المعدنية على امتصاص الرطوبة والمركبات العضوية المتطايرة بمرور الوقت.
تحمل العناصر نفسها كمية ضئيلة من الماء/الأكسجين.
يتم التخلص من الملوثات واستبدالها أثناء دورات تطهير المضخة.
(3) ضمان السلامة التشغيلية
في حالة وجود غازات سامة (على سبيل المثال، HF) في الغرفة الرئيسية، فإن التطهير بغاز الأسطوانة مباشرة في غرفة النقل يقلل من السموم المتبقية تحت عتبات الأمان، مما يحمي المشغلين.
(4) تقليل الحمل على نظام تنقية صندوق القفازات
قد يؤدي ارتفاع الرطوبة/الأكسجين المتبقي في غرفة النقل إلى إغراق الغرفة الرئيسية بالملوثات عند فتحها. وهذا يجبر عمود التنقية على العمل بشكل مكثف، مما قد يؤدي إلى تشبع المواد الممتزة قبل الأوان وزيادة تكاليف التجديد/الاستبدال.
رابعا. المعايير والاحتياطات التشغيلية
(1) قم بالمعالجة المسبقة لجميع العناصر التي تدخل غرفة النقل (على سبيل المثال، التجفيف الشامل، تنظيف السطح) لتجنب الرطوبة/الغبار.
(2) قم بإغلاق السوائل المعبأة في زجاجات لمنع تسرب الرطوبة أثناء دورات التفريغ.
(3) تتطلب العناصر التي لا تتحمل الفراغ تنظيف الغرفة فقط، وليس المعالجة الفراغية.
