הפונקציה העיקרית של א תיבת הכפפות היא לשמור על סביבה פנימית טהורה לחלוטין. כערוץ להעברת חומרים, יעילות הטיהור של תא ההעברה קובעת את השינויים האטמוספריים בתוך תיבת הכפפות במהלך העברת פריטים.
פעולת 'שלוש משאבות-שלוש-טיהור' חיונית בעת העברת פריטים דרך תא ההעברה של תא הכפפות. תהליך אוטומטי זה יכול גם להיות מותאם ידנית עבור מחזורי טיהור משאבה ומשך הזמן בהתבסס על צרכים ספציפיים. האם אתה מבין מה כרוך ב'שלוש-משאבות-שלוש-טיהור' ומה מטרתו?
א. מה זה 'שלוש משאבות-שלוש-טיהור'?
'שלוש-משאבות-שלוש-טיהור' כולל שלושה מחזורים מתחלפים של פינוי תא ההעברה ומילויו בגז אינרטי. תהליך זה מסיר שאריות חמצן ולחות ממשטחי החדר ומשטחי הפריט. לאחר כל מחזור ואקום מוציא את רוב הגזים, הגז הפנימי של תא הכפפות מוכנס כדי לדלל מזהמים. שלושה מחזורים מפחיתים באופן אקספוננציאלי את ריכוזי המזהמים (למשל, חמצן מ-21% ל<5 ppm) תוך ביטול מולקולות גז הנספגות על משטחי החומר. רק לאחר תהליך זה ניתן להעביר פריטים מבלי לפגוע בסביבה הפנימית של תא הכפפות.
II. למה שלושה מחזורים, לא אחד?
ואקום בודד מסיר ~90% מהגזים, אך שאריות חמצן/לחות עשויות להישאר באלפי עמודים לדקה. שאריות האוויר יורדות באופן אקספוננציאלי עם כל מחזור (למשל, 10% → 1% → 0.1%). ההשפעה המצטברת של שלושה מחזורים מפחיתה זיהומים ל-<10 ppm, ומיישרת את האווירה של החדר עם פנים תא הכפפות כדי למנוע זיהום במהלך העברות.
III. פונקציות של 'Three-Pump-Three-Purge'
(1) שוויון הפרשי לחץ
מצב התחלתי: תא ההעברה נמצא בלחץ אטמוספרי (0 בר) כאשר הוא מחובר חיצונית, בעוד שהתא הראשי שומר על לחץ חיובי קל.
שלב ואקום: לחץ שלילי בתא ההעברה מוציא ביעילות גזים מקוריים.
שלב הטיהור: גז תא הכפפות ממלא את החדר, ומתאים את האווירה והלחץ שלו לתא הראשי. זה מונע זעזועים של זרימת אוויר בעת פתיחת דלת החדר, מה שמבטיח יציבות סביבתית.
מזהמים מסולקים ומוחלפים במהלך מחזורי טיהור המשאבה.
(3) הבטחת בטיחות תפעולית
אם קיימים גזים רעילים (למשל, HF) בתא הראשי, טיהור עם גז צילינדר ישירות לתוך תא ההעברה מפחית את שאריות הרעלים מתחת לספי הבטיחות, ומגן על המפעילים.
(4) הפחתת העומס על מערכת טיהור ארגז הכפפות
שאריות לחות/חמצן גבוהות בתא ההעברה יציפו את החדר הראשי במזהמים בעת פתיחתו. זה מאלץ את עמוד הטיהור לעבוד בצורה אינטנסיבית, פוטנציאל להרוות סופחים בטרם עת ומגדיל את עלויות התחדשות/החלפה.
IV. תקנים ואמצעי זהירות תפעוליים
(1) טפל מראש בכל הפריטים הנכנסים לתא ההעברה (למשל, ייבוש יסודי, ניקוי פני השטח) כדי למנוע לחות/אבק.
(2) אטום נוזלים בבקבוקים כדי למנוע בריחת לחות במהלך מחזורי ואקום.
(3) פריטים שאינם עמידים בוואקום דורשים שטיפה בתא בלבד, לא טיפול בוואקום.
