Яагаад бээлий хайрцаг дамжуулах танхимаар эд зүйлсийг шилжүүлэхдээ шахуурга-цэвэрлэх циклийг хийх ёстой вэ?
Үзсэн: 0 Зохиогч: Сайтын редактор Нийтлэх хугацаа: 2025-08-12 Гарал үүсэл: Сайт
лавлах
А-ийн үндсэн үүрэг бээлий хайрцаг нь туйлын цэвэр дотоод орчныг хадгалах явдал юм. Материал дамжуулах сувгийн хувьд дамжуулах камерын цэвэршүүлэх үр ашиг нь эд зүйлсийг шилжүүлэх явцад бээлий хайрцаг доторх агаар мандлын өөрчлөлтийг тодорхойлдог.
'Гурван шахуурга-гурван цэвэрлэх' үйл ажиллагаа нь бээлий хайрцагны шилжүүлгийн тасалгаагаар эд зүйлсийг шилжүүлэхэд зайлшгүй шаардлагатай. Энэхүү автоматжуулсан процессыг мөн тодорхой хэрэгцээнд үндэслэн насос-цэвэрлэх цикл болон үргэлжлэх хугацааг гараар тохируулах боломжтой. 'Гурван шахуурга-гурван цэвэрлэх' нь юу болохыг ойлгож байна уу, түүний зорилгыг та ойлгож байна уу?
I. 'Гурван шахуурга-Гурван цэвэрлэх' гэж юу вэ?
'Гурван шахуурга-гурван цэвэрлэх' нь дамжуулах камерыг нүүлгэн шилжүүлэх, инертийн хийгээр дүүргэх гурван ээлжийн циклийг агуулдаг. Энэ процесс нь танхим болон эд зүйлсийн гадаргуугаас үлдэгдэл хүчилтөрөгч, чийгийг зайлуулдаг. Вакуум мөчлөг бүр ихэнх хийг гадагшлуулсны дараа бээлий хайрцагны дотоод хийг бохирдуулагч бодисыг шингэлэх зорилгоор нэвтрүүлдэг. Гурван мөчлөг нь материалын гадаргуу дээр шингэсэн хийн молекулуудыг арилгахын зэрэгцээ бохирдуулагчийн концентрацийг (жишээ нь: хүчилтөрөгч 21% -иас <5 ppm хүртэл) экспоненциалтайгаар бууруулдаг. Зөвхөн энэ процессын дараа л бээлий хайрцагны дотоод орчныг алдагдуулахгүйгээр эд зүйлсийг шилжүүлж болно.
II. Яагаад нэг биш, гурван мөчлөг гэж?
Нэг вакуум нь хийнүүдийн ~90% -ийг зайлуулдаг боловч хүчилтөрөгч/чийгийн үлдэгдэл хэдэн мянган ppm-т үлдэж болно. Үлдэгдэл агаар нь мөчлөг бүрт экспоненциалаар буурдаг (жишээлбэл, 10% → 1% → 0.1%). Гурван мөчлөгийн хуримтлагдсан нөлөө нь бохирдлыг <10 ppm хүртэл бууруулж, тасалгааны уур амьсгалыг бээлий хайрцагны дотоод хэсэгтэй уялдуулж, дамжуулах явцад бохирдохоос сэргийлдэг.
III. 'Гурван насос-Гурван цэвэрлэх' функцууд
(1) Даралтын зөрүүг тэнцүүлэх
Анхны төлөв: Дамжуулах камер нь гаднаас холбогдсон үед атмосферийн даралттай (0 бар) байдаг бол үндсэн камер нь бага зэрэг эерэг даралтыг хадгалдаг.
Вакуум үе шат: Дамжуулах камер дахь сөрөг даралт нь анхны хийг үр ашигтайгаар гадагшлуулдаг.
Цэвэрлэх үе шат: Бээлий хайрцагны хий нь танхимыг дүүргэж, түүний уур амьсгал, даралтыг үндсэн камерт тохируулна. Энэ нь тасалгааны хаалгыг онгойлгох үед агаарын урсгалын цохилтоос сэргийлж, хүрээлэн буй орчны тогтвортой байдлыг хангана.
(2) Эд зүйлсээс чийг ба хүчилтөрөгчийг зайлуулах
Резинэн чигжээс, хуванцар эд анги, металл хана нь чийг, ууршимтгай органик нэгдлүүдийг цаг хугацааны явцад шингээж авдаг.
Эд зүйлс нь өөрөө ул мөр ус/хүчилтөрөгч агуулдаг.
Шахуурга-цэвэршүүлэх циклийн үед бохирдуулагч бодисыг арилгаж, солино.
(3) Үйл ажиллагааны аюулгүй байдлыг хангах
Хэрэв үндсэн камерт хортой хий (жишээ нь, HF) байгаа бол цилиндрийн хийгээр шууд дамжуулах камерт цэвэрлэх нь аюулгүй байдлын босго хэмжээнээс доогуур үлдэгдэл хорт бодисыг багасгаж, операторуудыг хамгаалдаг.
(4) Бээлий хайрцагны цэвэршүүлэх системийн ачааллыг бууруулах
Дамжуулах камерт өндөр үлдэгдэл чийг/хүчилтөрөгч нь онгойлгох үед үндсэн камерыг бохирдуулагчаар дүүргэнэ. Энэ нь цэвэршүүлэх баганыг эрчимтэй ажиллуулахад хүргэдэг бөгөөд шингээгч бодисыг хугацаанаас нь өмнө ханаж, нөхөн сэргээх/солих зардлыг нэмэгдүүлдэг.
IV. Үйл ажиллагааны стандарт ба урьдчилан сэргийлэх арга хэмжээ
(1) Чийг/тоосжилтоос зайлсхийхийн тулд дамжуулах камерт орж буй бүх зүйлийг (жишээ нь, сайтар хатаах, гадаргууг цэвэрлэх) урьдчилан боловсруулна.
(2) Вакуум циклийн үед чийг гарахаас сэргийлж савласан шингэнийг битүүмжилнэ.
(3) Вакуум тэсвэрлэх чадваргүй зүйлсийг вакуумаар цэвэрлэх шаардлагагүй, зөвхөн камерт угаах шаардлагатай.
