А-ның негізгі қызметі Қолғап қорапшасы - бұл мүлдем таза ішкі ортаны сақтау. Материалды тасымалдау арнасы ретінде тасымалдау камерасының тазарту тиімділігі заттарды тасымалдау кезінде қолғап қорапшасының ішіндегі атмосфералық өзгерістерді анықтайды.
Элементтерді қолғап қорапшасының тасымалдау камерасы арқылы тасымалдау кезінде 'үш сорғы-үш тазалау' операциясы маңызды. Бұл автоматтандырылған процесті арнайы қажеттіліктерге байланысты сорғымен тазалау циклдері мен ұзақтығы үшін қолмен реттеуге болады. 'Үш сорғы-үш тазалау' нені білдіретінін және оның мақсатын түсінесіз бе?
I. 'Үш сорғы-үш тазарту' дегеніміз не?
'Үш сорғы-үш тазарту' тасымалдау камерасын эвакуациялаудың және оны инертті газбен толтырудың үш ауыспалы циклін қамтиды. Бұл процесс камера мен заттың беттеріндегі қалдық оттегі мен ылғалды кетіреді. Әрбір вакуумдық цикл газдардың көпшілігін шығарғаннан кейін, сұйылтылған ластаушы заттар үшін қолғап қорапшасының ішкі газы енгізіледі. Үш цикл ластаушы заттардың концентрациясын экспоненциалды түрде төмендетеді (мысалы, оттегі 21%-дан <5 ppm-ге дейін), сонымен бірге материал беттерінде адсорбцияланған газ молекулаларын жояды. Осы процестен кейін ғана элементтерді қолғап қорапшасының ішкі ортасына зиян келтірмей тасымалдауға болады.
II. Неліктен бір емес, үш цикл?
Бір вакуум газдардың ~90% жояды, бірақ қалдық оттегі/ылғал мыңдаған ppm деңгейінде қалуы мүмкін. Қалдық ауа әр цикл сайын экспоненциалды түрде азаяды (мысалы, 10% → 1% → 0,1%). Үш циклдің жиынтық әсері тасымалдау кезінде ластануды болдырмау үшін камераның атмосферасын қолғап қорапшасының ішкі бөлігімен теңестіре отырып, қоспаларды <10 ppm дейін азайтады.
III. 'Үш сорғы-үш тазарту' функциялары
(1) Қысым айырмашылықтарын теңестіру
Бастапқы күй: Тасымалдау камерасы сырттан қосылған кезде атмосфералық қысымда (0 бар), ал негізгі камера аздап оң қысымды сақтайды.
Вакуумдық фаза: тасымалдау камерасындағы теріс қысым бастапқы газдарды тиімді түрде шығарады.
Тазарту кезеңі: қолғап қорапшасының газы камераны толтырады, оның атмосферасы мен қысымын негізгі камераға сәйкестендіреді. Бұл камераның есігін ашқан кезде ауа ағынының соғуына жол бермейді, қоршаған ортаның тұрақтылығын қамтамасыз етеді.
(2) Заттардан ылғал мен оттегін кетіру
Резеңке тығыздағыштар, пластикалық компоненттер және металл қабырғалар уақыт өте ылғал мен ұшпа органикалық қосылыстарды сіңіреді.
Заттардың өздері су/оттегі ізін тасиды.
Сорғымен тазалау циклдары кезінде ластаушы заттар жойылады және ауыстырылады.
(3) Жұмыс қауіпсіздігін қамтамасыз ету
Негізгі камерада улы газдар (мысалы, HF) болса, цилиндр газымен тікелей тасымалдау камерасына тазарту қалдық токсиндерді қауіпсіздік шегінен төмен азайтып, операторларды қорғайды.
(4) Қолғап қорабын тазалау жүйесіндегі жүктемені азайту
Тасымалдау камерасындағы жоғары қалдық ылғал/оттегі ашылған кезде негізгі камераны ластаушы заттармен толтырады. Бұл тазарту бағанасын қарқынды жұмыс істеуге мәжбүр етеді, адсорбенттерді мерзімінен бұрын қанықтырады және регенерация/алмастыру шығындарын арттырады.
IV. Операциялық стандарттар мен сақтық шаралары
(1) Ылғал/шаң болмас үшін тасымалдау камерасына кіретін барлық заттарды (мысалы, мұқият кептіру, бетті тазалау) алдын ала өңдеңіз.
(2) Вакуумдық циклдар кезінде ылғалдың ағып кетуіне жол бермеу үшін бөтелкедегі сұйықтықтарды жабыңыз.
(3) Вакуумға төзімді емес заттар вакуумды өңдеуді емес, тек камераны жууды қажет етеді.
