Primárna funkcia a odkladacia skrinka je udržiavať absolútne čisté vnútorné prostredie. Ako kanál na prenos materiálu, účinnosť čistenia prenosovej komory určuje atmosférické zmeny vo vnútri odkladacej skrinky počas presunov položiek.
Operácia 'tri pumpy-tri-preplachovanie' je nevyhnutná pri prenášaní predmetov cez prenosovú komoru príručnej skrinky. Tento automatizovaný proces môže byť tiež manuálne nastavený na cykly preplachovania čerpadla a trvanie na základe špecifických potrieb. Rozumiete tomu, čo znamená 'tri čerpadlá-tri-čistenie' a aký je jeho účel?
I. Čo je to 'Tri-pumpy-tri-prečistenie'?
'Tri-pumpy-tri-preplachovanie' zahŕňa tri striedavé cykly evakuácie prenosovej komory a jej naplnenia inertným plynom. Tento proces odstraňuje zvyškový kyslík a vlhkosť z komory a povrchov predmetov. Po každom cykle vákua vytlačí väčšinu plynov, vnútorný plyn odkladacej skrinky sa zavedie na zriedenie kontaminantov. Tri cykly exponenciálne znižujú koncentrácie znečisťujúcich látok (napr. kyslík z 21 % na < 5 ppm) a zároveň eliminujú molekuly plynu adsorbované na povrchoch materiálov. Až po tomto procese je možné položky prenášať bez toho, aby sa ohrozilo vnútorné prostredie odkladacej skrinky.
II. Prečo tri cykly, nie jeden?
Jediné vákuum odstráni ~ 90 % plynov, ale zvyškový kyslík/vlhkosť môže zostať v tisíckach ppm. Zvyškový vzduch klesá exponenciálne s každým cyklom (napr. 10 % → 1 % → 0,1 %). Kumulatívny účinok troch cyklov znižuje nečistoty na < 10 ppm, vyrovnáva atmosféru komory s vnútrom odkladacej skrinky, aby sa zabránilo kontaminácii počas presunov.
III. Funkcie 'Tri-pumpy-tri-prečistenie'
(1) Vyrovnávanie tlakových rozdielov
Počiatočný stav: Prenosová komora má pri externom pripojení atmosferický tlak (0 bar), zatiaľ čo hlavná komora udržiava mierny pretlak.
Vákuová fáza: Podtlak v prenosovej komore účinne vytláča pôvodné plyny.
Fáza čistenia: Plyn z rukavice naplní komoru a prispôsobí svoju atmosféru a tlak hlavnej komore. Tým sa zabráni nárazom vzduchu pri otváraní dvierok komory, čím sa zabezpečí stabilita prostredia.
(2) Odstránenie vlhkosti a kyslíka z predmetov
Gumové tesnenia, plastové komponenty a kovové steny časom absorbujú vlhkosť a prchavé organické zlúčeniny.
Položky samotné nesú stopové množstvo vody/kyslíka.
Kontaminanty sa eliminujú a nahradia počas cyklov čerpania a čistenia.
(3) Zabezpečenie prevádzkovej bezpečnosti
Ak sa v hlavnej komore nachádzajú toxické plyny (napr. HF), preplachovanie plynom z fľaše priamo do prenosovej komory znižuje zvyškové toxíny pod bezpečnostné prahy, čím chráni operátorov.
(4) Zníženie zaťaženia systému na čistenie schránky na rukavice
Vysoká zvyšková vlhkosť/kyslík v prenosovej komore by pri otvorení zaplavila hlavnú komoru kontaminantmi. To núti čistiacu kolónu pracovať intenzívne, potenciálne predčasne saturuje adsorbenty a zvyšuje náklady na regeneráciu/výmenu.
IV. Prevádzkové normy a bezpečnostné opatrenia
(1) Všetky predmety vstupujúce do prenosovej komory vopred upravte (napr. dôkladné vysušenie, čistenie povrchu), aby ste predišli vlhkosti/prachu.
(2) Tekutiny vo fľašiach utesnite, aby sa zabránilo úniku vlhkosti počas vákuových cyklov.
(3) Položky, ktoré netolerujú vákuum, vyžadujú iba preplachovanie komory, nie ošetrenie vákuom.
