การเข้าชม: 0 ผู้แต่ง: บรรณาธิการเว็บไซต์ เวลาเผยแพร่: 12-08-2025 ที่มา: เว็บไซต์
หน้าที่หลักของก กล่องถุงมือ คือการรักษาสภาพแวดล้อมภายในที่บริสุทธิ์อย่างแน่นอน เนื่องจากเป็นช่องทางในการขนย้ายวัสดุ ประสิทธิภาพการทำให้บริสุทธิ์ของห้องขนย้ายจะกำหนดการเปลี่ยนแปลงของบรรยากาศภายในกล่องเก็บของระหว่างขนย้ายสิ่งของ
การดำเนินการ 'สามปั๊ม-สามล้าง' เป็นสิ่งจำเป็นเมื่อขนย้ายสิ่งของผ่านช่องขนย้ายกล่องเก็บถุงมือ กระบวนการอัตโนมัตินี้ยังสามารถปรับด้วยตนเองสำหรับรอบการล้างปั๊มและระยะเวลาตามความต้องการเฉพาะ คุณเข้าใจหรือไม่ว่า 'three-pump-three-purge' หมายถึงอะไรและจุดประสงค์ของมันหรือไม่
'สามปั๊ม-สามล้าง' เกี่ยวข้องกับการหมุนเวียนสามรอบในการอพยพห้องถ่ายโอนและเติมก๊าซเฉื่อย กระบวนการนี้จะกำจัดออกซิเจนและความชื้นที่ตกค้างออกจากห้องเพาะเลี้ยงและพื้นผิวสิ่งของ หลังจากแต่ละรอบสุญญากาศไล่ก๊าซส่วนใหญ่ออกไป ก๊าซภายในของกล่องเก็บถุงมือจะถูกนำไปใช้เพื่อเจือจางสารปนเปื้อน สามรอบจะลดความเข้มข้นของสารมลพิษแบบทวีคูณ (เช่น ออกซิเจนจาก 21% เหลือ <5 ppm) ในขณะเดียวกันก็กำจัดโมเลกุลของก๊าซที่ดูดซับบนพื้นผิววัสดุ หลังจากกระบวนการนี้แล้วเท่านั้นจึงจะสามารถถ่ายโอนสิ่งของต่างๆ ได้โดยไม่กระทบต่อสภาพแวดล้อมภายในของกล่องเก็บถุงมือ
สุญญากาศเครื่องเดียวจะกำจัดก๊าซประมาณ 90% แต่ออกซิเจน/ความชื้นที่ตกค้างอาจยังคงอยู่ที่หลายพัน ppm อากาศที่ตกค้างจะลดลงแบบทวีคูณในแต่ละรอบ (เช่น 10% → 1% → 0.1%) ผลสะสมของสามรอบจะช่วยลดสิ่งเจือปนลงเหลือ <10 ppm ทำให้บรรยากาศของห้องสอดคล้องกับการตกแต่งภายในของกล่องเก็บถุงมือเพื่อป้องกันการปนเปื้อนระหว่างการขนย้าย
สถานะเริ่มต้น:ห้องถ่ายโอนอยู่ที่ความดันบรรยากาศ (0 บาร์) เมื่อเชื่อมต่อภายนอก ในขณะที่ห้องหลักจะคงแรงดันบวกไว้เล็กน้อย
ขั้นตอนการล้าง: ก๊าซในกล่องเก็บถุงมือจะเติมห้องเพาะเลี้ยง โดยปรับบรรยากาศและแรงดันให้ตรงกับห้องหลัก ซึ่งจะช่วยป้องกันการกระแทกของกระแสลมเมื่อเปิดประตูห้องเพาะเลี้ยง เพื่อให้มั่นใจถึงเสถียรภาพด้านสิ่งแวดล้อม
สิ่งปนเปื้อนจะถูกกำจัดและเปลี่ยนใหม่ในระหว่างรอบการล้างปั๊ม
หากมีก๊าซพิษ (เช่น HF) อยู่ในห้องหลัก การไล่ก๊าซด้วยกระบอกก๊าซเข้าไปในห้องถ่ายโอนโดยตรงจะช่วยลดสารพิษที่ตกค้างต่ำกว่าเกณฑ์ด้านความปลอดภัย ช่วยปกป้องผู้ปฏิบัติงาน
ความชื้น/ออกซิเจนที่ตกค้างสูงในห้องถ่ายโอนจะทำให้ห้องหลักเต็มไปด้วยสิ่งปนเปื้อนเมื่อเปิด สิ่งนี้บังคับให้คอลัมน์การทำให้บริสุทธิ์ทำงานอย่างเข้มข้น อาจทำให้ตัวดูดซับอิ่มตัวก่อนเวลาอันควร และเพิ่มต้นทุนในการสร้างใหม่/ทดแทน