Η πρωταρχική λειτουργία του α Το ντουλαπάκι είναι για να διατηρείται ένα απολύτως καθαρό εσωτερικό περιβάλλον. Ως κανάλι μεταφοράς υλικού, η απόδοση καθαρισμού του θαλάμου μεταφοράς καθορίζει τις ατμοσφαιρικές αλλαγές μέσα στο ντουλαπάκι κατά τη μεταφορά αντικειμένων.
Η λειτουργία 'three-pump-tree-purge' είναι απαραίτητη κατά τη μεταφορά αντικειμένων μέσω του θαλάμου μεταφοράς του ντουλαπιού συνοδηγού. Αυτή η αυτοματοποιημένη διαδικασία μπορεί επίσης να ρυθμιστεί χειροκίνητα για τους κύκλους εκκένωσης αντλίας και τη διάρκεια με βάση συγκεκριμένες ανάγκες. Καταλαβαίνετε τι συνεπάγεται η 'τρεις αντλία-τρεις-εκκαθάριση' και τον σκοπό της;
I. Τι είναι το 'Three-Pump-Three-Purge';
Το 'τρεις αντλία-τρεις-καθαρισμός' περιλαμβάνει τρεις εναλλασσόμενους κύκλους εκκένωσης του θαλάμου μεταφοράς και πλήρωσής του με αδρανές αέριο. Αυτή η διαδικασία αφαιρεί το υπολειπόμενο οξυγόνο και την υγρασία από τις επιφάνειες του θαλάμου και των αντικειμένων. Αφού κάθε κύκλος κενού αποβάλλει τα περισσότερα αέρια, το εσωτερικό αέριο του συνοδηγού εισάγεται για να αραιώσει τους ρύπους. Τρεις κύκλοι μειώνουν εκθετικά τις συγκεντρώσεις ρύπων (π.χ. οξυγόνο από 21% σε <5 ppm) ενώ εξαλείφουν τα μόρια αερίου που έχουν προσροφηθεί στις επιφάνειες του υλικού. Μόνο μετά από αυτή τη διαδικασία μπορούν να μεταφερθούν αντικείμενα χωρίς να τεθεί σε κίνδυνο το εσωτερικό περιβάλλον του ντουλαπιού.
II. Γιατί Τρεις Κύκλοι, Όχι Ένας;
Ένα μόνο κενό αφαιρεί περίπου το 90% των αερίων, αλλά το υπολειπόμενο οξυγόνο/υγρασία μπορεί να παραμείνει σε χιλιάδες ppm. Ο υπολειπόμενος αέρας μειώνεται εκθετικά με κάθε κύκλο (π.χ. 10% → 1% → 0,1%). Το αθροιστικό αποτέλεσμα τριών κύκλων μειώνει τις ακαθαρσίες σε <10 ppm, ευθυγραμμίζοντας την ατμόσφαιρα του θαλάμου με το εσωτερικό του ντουλαπιού για να αποφευχθεί η μόλυνση κατά τη μεταφορά.
III. Λειτουργίες του 'Three-Pump-Three-Purge'
(1) Εξισορρόπηση διαφορών πίεσης
Αρχική κατάσταση: Ο θάλαμος μεταφοράς βρίσκεται σε ατμοσφαιρική πίεση (0 bar) όταν συνδέεται εξωτερικά, ενώ ο κύριος θάλαμος διατηρεί ελαφρά θετική πίεση.
Φάση κενού: Η αρνητική πίεση στον θάλαμο μεταφοράς αποβάλλει αποτελεσματικά τα αρχικά αέρια.
Φάση καθαρισμού: Το αέριο του γαντιού γεμίζει τον θάλαμο, ταιριάζοντας την ατμόσφαιρα και την πίεσή του με τον κύριο θάλαμο. Αυτό αποτρέπει τους κραδασμούς της ροής αέρα κατά το άνοιγμα της πόρτας του θαλάμου, διασφαλίζοντας περιβαλλοντική σταθερότητα.
(2) Αφαίρεση υγρασίας και οξυγόνου από αντικείμενα
Λαστιχένιες σφραγίδες, πλαστικά εξαρτήματα και μεταλλικά τοιχώματα απορροφούν την υγρασία και τις πτητικές οργανικές ενώσεις με την πάροδο του χρόνου.
Τα ίδια τα αντικείμενα φέρουν ίχνη νερού/οξυγόνου.
Οι ρύποι εξαλείφονται και αντικαθίστανται κατά τη διάρκεια των κύκλων εκκένωσης αντλίας.
(3) Διασφάλιση Λειτουργικής Ασφάλειας
Εάν υπάρχουν τοξικά αέρια (π.χ. HF) στον κύριο θάλαμο, ο καθαρισμός με αέριο κυλίνδρου απευθείας στον θάλαμο μεταφοράς μειώνει τις υπολειμματικές τοξίνες κάτω από τα όρια ασφαλείας, προστατεύοντας τους χειριστές.
(4) Μείωση φορτίου στο σύστημα καθαρισμού Glovebox
Η υψηλή υπολειμματική υγρασία/οξυγόνο στον θάλαμο μεταφοράς θα πλημμύριζε τον κύριο θάλαμο με ρύπους όταν ανοίξει. Αυτό αναγκάζει τη στήλη καθαρισμού να λειτουργεί εντατικά, δυνητικά κορεσμός των προσροφητών πρόωρα και αυξάνοντας το κόστος αναγέννησης/αντικατάστασης.
IV. Λειτουργικά Πρότυπα και Προφυλάξεις
(1) Προεπεξεργαστείτε όλα τα αντικείμενα που εισέρχονται στο θάλαμο μεταφοράς (π.χ. σχολαστικό στέγνωμα, καθαρισμός επιφανειών) για να αποφύγετε την υγρασία/σκόνη.
(2) Σφραγίστε τα εμφιαλωμένα υγρά για να αποτρέψετε τη διαφυγή υγρασίας κατά τη διάρκεια των κύκλων κενού.
(3) Τα μη ανεκτικά στο κενό απαιτούν μόνο έκπλυση θαλάμου και όχι επεξεργασία υπό κενό.
