Proč provádět cykly pumpování-proplachování při přenášení položek prostřednictvím přenosové komory odkládací schránky?

Primární funkcí a odkládací schránka má udržovat absolutně čisté vnitřní prostředí. Jako kanál pro přenos materiálu určuje účinnost čištění přenášecí komory atmosférické změny uvnitř odkládací přihrádky během přepravy předmětů.

Operace 'tři pumpy-tři-proplachování' je nezbytná při přenášení předmětů přes přenosovou komoru odkládací schránky. Tento automatizovaný proces lze také ručně upravit pro cykly odčerpávání a dobu trvání na základě specifických potřeb. Rozumíte tomu, co obnáší 'tři pumpy-tři-pročištění' a jeho účel?

'Tři pumpy-tři-proplachování' zahrnuje tři střídající se cykly evakuace přenosové komory a jejího plnění inertním plynem. Tento proces odstraňuje zbytkový kyslík a vlhkost z komory a povrchů předmětu. Po každém vakuovém cyklu vytlačení většiny plynů je vnitřní plyn v příruční schránce zaveden, aby se zředily nečistoty. Tři cykly exponenciálně snižují koncentrace znečišťujících látek (např. kyslíku z 21 % na <5 ppm) a zároveň eliminují molekuly plynu adsorbované na površích materiálů. Teprve po tomto procesu lze položky přenášet, aniž by došlo k ohrožení vnitřního prostředí odkládací schránky.

Jediné vakuum odstraní ~ 90 % plynů, ale zbytkový kyslík/vlhkost může zůstat v tisících ppm. Zbytkový vzduch klesá exponenciálně s každým cyklem (např. 10 % → 1 % → 0,1 %). Kumulativní účinek tří cyklů snižuje nečistoty na <10 ppm, čímž se atmosféra komory vyrovná s vnitřkem odkládací schránky, aby se zabránilo kontaminaci během přesunů.

Počáteční stav: Přenosová komora má při externím připojení atmosférický tlak (0 bar), zatímco hlavní komora udržuje mírný přetlak.

Fáze čištění: Plyn v rukavici naplní komoru a přizpůsobí svou atmosféru a tlak hlavní komoře. To zabraňuje rázům proudění vzduchu při otevírání dveří komory a zajišťuje stabilitu prostředí.

Nečistoty jsou eliminovány a nahrazeny během cyklů čerpadla-proplachování.

Pokud se v hlavní komoře vyskytují toxické plyny (např. HF), proplachování plynem z tlakové láhve přímo do přenosové komory snižuje zbytkové toxiny pod bezpečnostní prahy a chrání obsluhu.

Vysoká zbytková vlhkost/kyslík v přenosové komoře by při otevření zaplavila hlavní komoru nečistotami. To nutí čistící kolonu pracovat intenzivně, potenciálně předčasně saturují adsorbenty a zvyšují náklady na regeneraci/výměnu.