VTI Universal бээлий хайрцаг нь ганц ажлын байрнаас олон ажлын станц хүртэл үйлдвэрлэлийн хэмжээнд ашиглах боломжийг олгохын зэрэгцээ таны идэвхгүй орчинг хадгалахад шаардлагатай орон зай, системээр хангадаг. Бүх Universal бээлий хайрцаг нь хий цэвэршүүлэх нэгдсэн систем, PLC удирдлагатай электрон төхөөрөмж, мөн HMI мэдрэгчтэй дэлгэцээр хангадаг. Ажлын станц бүр нь сольж болох нүдний шил, түүнчлэн (4) KF40 дамжуулагч порттой. Манай стандарт тохиргоонд шилжүүлгийн урд танхим, мөн Эдвардсын вакуум насос орно.
Бүх VTI бүх нийтийн бээлий хайрцаг нь O2 ба H2O-ийн 1 PPM-ээс бага цэвэршилттэй.
F шинж чанарууд
Closed Loop Gas Circulation
Битүү гогцоонд инертийн хий. Хий нь үлээгч ба цэвэршүүлэгчээр эргэлдэж, H2O, O2-ийг тасралтгүй зайлуулж болно.
Автомат цэвэрлэгээ
Бээлий хайрцагны доторх уур амьсгалыг цэвэрлэх хавхлагуудаар автоматаар солих боломжтой.
Автомат нөхөн сэргээх
H2O болон O2 зайлуулах материалыг дахин сэргээх боломжтой. Нөхөн сэргээх үйл явцыг програмаар удирдаж болно.
Автомат даралтын хяналт
Бээлий хайрцагны даралтыг программчлагдах логик хянагч (PLC) автоматаар хянадаг. Ажлын даралтыг +15мбар ба -15мбар эсвэл +12мбараас -12мбар хооронд тохируулж болно. Хэрэв даралт тогтоосон хязгаараас хэтэрвэл систем автоматаар хамгаалагдана.
Эко горим
Вакуум насос шаардлагатай үед автоматаар идэвхжиж, хэсэг хугацаанд зогссоны дараа унтрах болно. Чийг ба хүчилтөрөгчийн түвшин 1 ppm-ээс бага бол үлээгчийн давтамжийг 25 Гц руу шилжүүлнэ.
S тодорхойлолт
Үндсэн танхим
Модульчлагдсан урт: 1220мм/1500мм/1800мм/2440мм ( 48.0'/59.1'/70.9'/ 96.0')
Модульчлагдсан гүн: 750мм/1000мм/1200мм (29.5'/39.5'/34.'
Модульчлагдсан өндөр:' 900м( 35.4')
Материал: Зэвэрдэггүй ган төрөл 304, зузаан 3мм (1/8')
Харааны цонх: Налуу, Хамгаалалтын шил, зузаан 8мм (1/3')
Бээлий Портууд: POM (Полиоксиметилен), 220мм (8.7') Диаметр
Бээлий:2
HE13 0.3μ, нэг хийн оролт, нэг хийн гаралт Тавиур: Зэвэрдэггүй ган,
(тохируулах боломжтой тавиурууд)
Гэрэлтүүлэг: Гадна LED гэрэл, урд талын харааны шилний дээр суурилуулсан
хоёр суурин тавиур
Урд талын том
диаметр: 360мм (14.2') эсвэл 400мм (15.7'), Урт 600мм (23.6')
Гүйдэг тавиуртай
Спинд цоожтой хаалга, Өргөх механизмтай босоо ажиллагаатай
Соленоид хавхлагаар автомат ажиллагаатай
Жижиг урд танхимын
диаметр 150 мм (5.9') эсвэл 100мм (3.9'), урт 300мм(11.8')
Нугастай хаалга
Гар хавхлагаар гар ажиллагаатай
Цэвэршүүлэгч
H 2O ба O -ийг 2 1 ppm-ээс бага чийг ба хүчилтөрөгч
шингээх нэгж: 5 кг зэс катализатор, 5 кг молекул шигшүүр
Хүчилтөрөгчийг зайлуулах хүчин чадал, 60 л, чийг 2000 гр.
Бүрхүүлтэй үлээгч: 90м 3/цаг
Нөхөн сэргээх: PLC халаалт, холимог хий (5-10% устөрөгчтэй холилдсон ажлын хий) оруулах гэх мэт бүх процессыг удирддаг.
Системийн хяналтын
PLC ба HMI: Siemens S7
Вакуум насос
8м 3/ц Тосны мананцар шүүлтүүр, хийн тогтворжуулагчтай эргэдэг сэнстэй насос
Сонголтууд ба Дагалдах хэрэгсэл
Дагалдах хэрэгсэл
Чийгийн мэдрэгч
Хүчилтөрөгчийн мэдрэгч
Уусгагч шингээгч
Халаадаг өрөөний урд
хөргөгч
Хүйтэн худгийн
микроскопын төхөөрөмж
Сэнсгүй ионжуулагч
Төрөл бүрийн дамжуулалт
Бусад сонголтууд
Захиалгат хайрцагны хэмжээ
Ууршуулагч, ALD систем, эргүүлэгч гэх мэт хэрэглэгчийн багаж хэрэгслийг бээлий хайрцганд нэгтгэх.
Поликарбонат цонх(ууд)
Түргэн задлах цонх(ууд)
Цоожтой хаалгатай урд танхим Гулгадаг
тавиуртай жижиг камер
Зөвхөн вакуумгүйгээр өмнөх
танхимыг
цэвэрлэх Уян
тавиурууд - дээш доош тохируулах боломжтой - нааш цааш тохируулах боломжтой
12м3/цаг Эргэдэг насос
Хуурай эргүүлэх насос
Шуурхай үйлчилгээ
талДавуу
Өндөр хүчин чадалтай цэвэршүүлэгч H
хурдтайгаар арилгана 2O ба O -ийг 2 1ppm-ээс бага
Нөхөн сэргээх мөчлөгийн хоорондох урт зай.
PLC удирдлага ба өнгөт мэдрэгчтэй дэлгэцийн HMI
автоматаар цэвэрлэх; Цусны эргэлт; нөхөн сэргээх; Даралтын хяналт; Хэрэглэгчдэд ээлтэй интерфэйс.
Урт хугацааны чийгшил ба хүчилтөрөгчийн анализатор
P 2O 5 Чийгийн мэдрэгч: Зэврэлтэнд тэсвэртэй, датчик нь HF эсвэл бусад идэмхий хүрээлэн буй орчны нөлөөллөөр бохирдсон бол хүчилээр цэвэрлэх замаар нөхөн сэргээгдэх боломжтой.
Z r O 2 Хүчилтөрөгчийн мэдрэгч: Хатуу мэдрэгч, удаан эдэлгээтэй, хэрэглээгүйгээр агаарт өртөх боломжтой.
Бээлий хайрцгийг өөрийн хэрэглээнд тусгайлан тохируулаарай.
Манай инженерийн баг таны санааг шийдэл болгон хувиргахад тусална.
Зэвэрдэггүй ган хийн хоолой ба холбогч
Бүх бээлий хайрцгууд нь зэвэрдэггүй ган хоолой, холбогчоор шинэчлэгдсэн бөгөөд өндөр идэмхий орчинд идэмхий тэсвэртэй.
