A の動作原理は、 グローブボックス とは、グローブボックス内の作動ガスが、PLCの制御・監視のもと、ボックス本体と精製塔（水酸素吸着器）の間でパイプラインや循環ファンなどを介して密閉循環される仕組みです。作動ガスが精製カラムを循環すると、その水分と酸素含有量が吸着されてボックスに戻されます。循環時間が経過するにつれて、ボックス内の作動ガス中の水分と酸素の含有量は徐々に減少し、最終的には目標の 1ppm 未満に達します。

A 物を取り出すときは、 グローブ ボックス。トランジション コンパートメントの外側のドアが閉まっていて、トランジション コンパートメント内の雰囲気がグローブ ボックスと一致していることを確認します。グローブボックスの内扉を開け、取り出し物をトランジションコンパートメントのトレイに置き、内扉を閉めます。この時点で、グローブボックストランジションコンパートメントの外側コンパートメントドアを直接開いてアイテムを取り出すことができ、アイテムの取り出しが完了します。

A アイテムを中に入れるには グローブボックス、トランジションチャンバーを使用する必要があります。まず、次のことを確認します。 真空ポンプ は開いており、グローブ ボックス内のトランジション チャンバーのドアは閉じられています。次に、外側のトランジションハッチを開き、保管トレイを引き出し、トレイに置くアイテムを置き、トランジションハッチに押し戻し、ハッチをしっかりと閉じます。この時点で、トランジションチャンバーで真空操作を実行する必要があります。通常、物品を配置する際には 3 回の真空操作が必要です。最後に、内部コンパートメントのドアを開き、トランジション チャンバーからアイテムを取り出してグローブ ボックスに置き、内部コンパートメントのドアを閉じます。以上でグローブボックスの外側から内側に物品を入れる作業は完了です。

A お掃除のときは、 グローブ ボックス、スチール シリンダーのガスが切れて換気が必要な場合は、まずタッチ スクリーンのクリーニング スイッチをオフにし、次に減圧バルブをオフにする必要があります。鋼製シリンダを開く際の過大な圧力による空圧アングル弁の損傷を避けるため、減圧弁の二次ゲージが閉状態であることを確認してから鋼製シリンダを交換してください。

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A 作動ガスは グローブ ボックスに は通常、純度 99.999% の窒素、アルゴン、またはヘリウムが使用されます。初めてグローブボックスを取り付ける場合は、ボックス内のフラッシングと空気の入れ替えが必要です。ボックスの各セクションには約 4000 ～ 8000L (標準量) のガスが必要です。