에이
가스 수요는
글러브 박스 재생은 실제 적용을 기반으로 합니다.
작업가스로 질소를 사용하는 경우에는 질소/수소 혼합가스(90-95% N2, 5-10% H2)를 사용합니다.
작동가스로 아르곤을 사용할 경우 아르곤/수소 혼합가스(90-95% Ar, 5-10% H2)를 사용합니다.
작업가스로 헬륨을 사용하는 경우 헬륨/수소 혼합가스(90-95% He, 5-10% H2)를 사용합니다.
글로브박스 재생가스는 순도 99.999%를 요구합니다. 각 재생 공정마다 각 MK100 정제 컬럼에는 약 3000-4000L(표준 조건 하의 부피)의 혼합 가스가 포함되어 있습니다'