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Quando si utilizza l'azoto come gas di lavoro, viene utilizzata una miscela di azoto/idrogeno (90-95% N2, 5-10% H2).
Quando si utilizza l'argon come gas di lavoro, viene utilizzata una miscela di gas argon/idrogeno (90-95% Ar, 5-10% H2).
Quando si utilizza l'elio come gas di lavoro, viene utilizzata una miscela di gas elio/idrogeno (90-95% He, 5-10% H2)
Il gas di rigenerazione del vano portaoggetti richiede una purezza del 99,999%. Per ogni processo di rigenerazione, ciascuna colonna di purificazione MK100 contiene circa 3000-4000 litri (volume in condizioni standard) di gas misto'