ក
នៅពេលដែលអាសូតត្រូវបានប្រើជាឧស្ម័នដំណើរការ ឧស្ម័នល្បាយអាសូត/អ៊ីដ្រូសែន (90-95% N2, 5-10% H2) ត្រូវបានប្រើ
នៅពេលដែល argon ត្រូវបានប្រើជាឧស្ម័នដំណើរការ ឧស្ម័នល្បាយ argon/hydrogen (90-95% Ar, 5-10% H2) ត្រូវបានប្រើ។
នៅពេលដែលអេលីយ៉ូមត្រូវបានប្រើជាឧស្ម័នដំណើរការ ឧស្ម័នល្បាយអេលីយ៉ូម/អ៊ីដ្រូសែន (90-95% He, 5-10% H2) ត្រូវបានប្រើ។
ឧស្ម័នបង្កើតឡើងវិញប្រអប់ស្រោមដៃទាមទារភាពបរិសុទ្ធ 99.999% ។ សម្រាប់ដំណើរការបង្កើតឡើងវិញ ជួរឈរបន្សុត MK100 នីមួយៗមានប្រហែល 3000-4000L (បរិមាណនៅក្រោមលក្ខខណ្ឌស្តង់ដារ) នៃឧស្ម័នចម្រុះ'