ТхеЦиркулациони систем затворене петље претинца за рукавице је у суштини прецизан систем затворене петље који интегрише пречишћавање гаса, снагу циркулације и контролу притиска. Његова основна сврха није једноставно да „уклони ваздух“, већ да одржава инертни гас унутар коморе да континуирано циркулише и самопречишћава, тако да нивои воде и кисеоника могу остати на изузетно ниском нивоу од <1 ппм током дужег периода. Затворени циркулациони систем претинца за рукавице Микроуна се састоји од пет радних фаза: циркулацијска снага и довод гаса, пречишћавање нечистоћа, контрола притиска и вентила, регенерација колоне за пречишћавање и регулација надзора и повратне спреге.
Корак 1: Циркулациона снага и испорука гаса
Циркулација затворене петље је потпуно затворено коло. Радни гас је аргон или азот високе чистоће, а циркулациони вентилатор променљиве фреквенције служи као извор енергије за цео систем. Микроуна вентилатор има проток од 90 м⊃3;/х, док различити модели могу да обезбеде веће брзине протока, као што су 145 или 180 м⊃3;/х, по потреби. Вентилатор увлачи инертни гас из унутрашњости коморе за рукавице и транспортује га кроз цеви од нерђајућег челика до јединице за пречишћавање колоне. Након пречишћавања, чисти инертни гас се враћа у комору за рукавице, формирајући затворени круг. Гас циркулише само унутар система уместо да се испушта директно напоље, максимизирајући очување инертног гаса високе чистоће.
Циркулациони цевовод кутије за рукавице може да се протеже до повезаних процесних комора, омогућавајући гасу унутар тих комора да учествује у циркулацији истовремено и обезбеђујући уклањање воде и кисеоника. Циркулациона петља је опремљена пнеуматским угаоним вентилима и интегрисаним соленоидним вентилима. ПЛЦ аутоматски укључује и искључује вентиле у складу са радним условима, изолујући колону за пречишћавање током регенерације, истовремено осигуравајући да се циркулација главног претинца за рукавице наставља несметано.
Корак 2: Уклањање воде и кисеоника унутар колоне за пречишћавање
Мешани гас који потискује вентилатор улази у посуду за пречишћавање колоне, која је напуњена са 5 кг бакарног катализатора и 5 кг молекуларног сита. Гас прво пролази кроз слој молекулског сита, где микропорозна структура физички адсорбује молекуле воде из струје гаса, довршавајући дехидратацију. Гас затим тече кроз слој катализатора бакра, где елементарни бакар реагује хемијски са кисеоником у струји гаса да би уклонио кисеоник. Пречишћени инертни гас високе чистоће затим тече назад кроз цевовод у комору претинца за рукавице, смањујући концентрацију воде и кисеоника унутар коморе.
Након поновљене циркулације, вода и кисеоник унутар коморе су континуирано заробљени материјалима за пуњење, а ниво воде и кисеоника постепено се смањује до опсега од 1-ппм. У исто време, филтер од 0,3 μм унутар претинца за рукавице може да филтрира прах и прашину из циркулационог гаса, спречавајући да се прах пунила врати назад у комору и да контаминира узорке.
Корак 3: Координирана контрола притиска и вентила
Систем циркулације затворене петље није потпуно чврсто затворен. Систем континуирано прати притисак у комори и одржава благо позитиван притисак. Рад циркулационог вентилатора изазива флуктуације притиска, тако да систем аутоматски испоручује малу количину инертног гаса да би компензовао губитак притиска. Када је притисак превисок, систем аутоматски отвара отвор за смањење притиска; када је притисак пренизак, активира се аларм који указује на могући проблем са заптивање.
Корак 4: Регенерација колоне за пречишћавање за враћање капацитета за пречишћавање
Након континуиране циркулације, молекуларно сито постаје засићено адсорбованом водом, док се бакарни катализатор у великој мери претвара у оксид бакра, смањујући капацитет пречишћавања. Систем искључује колону за пречишћавање која се регенерише из главне циркулационе петље и уводи 5-10% мешавину водоник/инертни гас. Колона за пречишћавање се загрева, а водоник редукује бакарни оксид назад у активни елементарни бакар. Молекуларно сито ослобађа адсорбовану влагу на високој температури, а влага се испушта из система са издувним гасом за регенерацију.
Након завршетка редукције и десорпције, загревање се зауставља и инертни гас се користи за прочишћавање и хлађење колоне за пречишћавање. Материјали за пуњење обнављају своју способност уклањања воде и кисеоника, а вентили се пребацују да поново повежу колону са циркулацијом затворене петље. Цео процес регенерације се аутоматски контролише од стране ПЛЦ-а и не захтева ручне операције.
Корак 5: Надгледање, повратне информације и регулација у затвореном кругу
Интерфејси за узорковање су инсталирани у цевоводу затворене петље. Анализатор воде и кисеоника континуирано узоркује циркулишући гас и пружа податке о води и кисеонику у реалном времену ПЛЦ-у. Ако нивои воде и кисеоника порасту јер материјали ослобађају нечистоће или због цурења заптивке, систем одржава вентилатор великом брзином и повећава проток циркулације како би убрзао уклањање нечистоћа. Када индикатори остану стабилни и у оквиру спецификације током дужег периода, вентилатор променљиве фреквенције смањује своју брзину како би смањио потрошњу енергије.
Систем циркулације затворене петље Микроуна претинца за рукавице се ослања на инертни гас који стално тече кроз затворено коло, медијум за пречишћавање који континуирано хвата нечистоће, регенерацију која обнавља медијум након засићења и регулацију повратне информације засноване на сензорима. Заједно, ове функције обезбеђују да комора претинца за рукавице—и повезане процесне коморе интегрисане са претинцем за рукавице—могу одржавати инертну атмосферу високе чистоће, безводну, без кисеоника на дужи рок.
