ミクローナ の真空コーティング グローブボックス は、蒸着コーティングとグローブボックスを組み合わせたもので、蒸着、パッケージング、テスト、その他のプロセスの完全密閉生産を実現し、膜成長とデバイス準備プロセス全体を完全に制御可能な環境雰囲気システムに高度に統合し、有機大面積回路の準備中の大気不安定要因の影響を排除し、高性能の大面積有機光電子デバイスと回路の準備を保証します。

A 真空コーティングされた グローブボックスは 、主にペロブスカイト太陽電池、OLEDおよびPLED、半導体準備などの実験研究と応用に使用されます。真空コーティンググローブボックスは、真空コーティングシステムとグローブボックスシステムと統合されており、高真空蒸着チャンバー内で薄膜蒸着を完了し、グローブボックス内の高純度不活性ガス雰囲気で蒸着後のサンプルを保存、準備、検出できます。

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A ​ 溶接グローブボックスは 漏れが少ないです。グローブボックス内の水中の酸素含有量が低い。装置全体の安定した性能により、レーザー溶接における空気中の湿度や不純物の影響を解決できます。溶接グローブ ボックスの左側は加熱室、右側は移行室です。加熱室の最高温度は200℃で、同時に加熱プレートも急速に冷却されます。四角い区画ドアの外側は手動ドア、内側のドアは自動ドアです。内扉と外扉は連動します。グローブボックス本体は洗浄用の流量計によって制御されており、浄化システムに接続することもできます。

あ 有機発光ダイオードとしても知られるOLED は、照明用途、家電製品、携帯電話、高解像度テレビ、その他の電子機器で一般的に使用される電子デバイスの一種です。 OLED の有機化合物の薄膜は、電流に反応して発光します。 OLED 技術の研究と生産では、グローブ ボックスには非常にクリーンな筐体環境が必要です。効果的な汚染防止ソリューションを提供できる。製品の生産効率を向上させることができます。

A ​ ミクローナ 密閉乾燥箱はカラー鋼板をステンレスに置き換え、完全密閉構造を採用しています。全体の密閉レベルは第 1 種密閉箱のレベルに達し、ガス漏れや水の浸入はありません。 Mikrouna 密閉乾燥ボックスは、除湿ホイール システムを使用して、密閉乾燥ボックス チャンバーの露点を希望の値まで迅速に下げます。密閉乾燥ボックスと除湿器パイプラインのバルブを閉じ、低露点運転を維持し、モレキュラーシーブ除湿サイクルシステムに切り替えます。これにより、除湿ユニットの消費電力が削減されます。密閉乾燥ボックス内の除湿器の各セクションは、電気密閉バルブと電気調整バルブによって制御されるため、デバッグが容易になり、シャットダウン時の漏れが減少します。密閉乾燥ボックスの露点フィードバックを通じて、羽根車の回転速度と回生加熱電力をインテリジェントに変更して省エネを実現します。密閉乾燥箱の高い密閉性により、無人作業時は除湿機の運転を完全に停止することができ、省エネを実現します。

A ミクローナ グローブボックスの Oリングフランジ窓は、頑丈な厚板から長方形のリング形状に切り出され、高強度、耐衝撃性、シール溝を開ける機能を備えています。フランジ窓全体と環状シール溝は大型ガントリーマシニングセンターによるワンカット加工で形成されており、シール支持面とシール溝底面の平面度は0.1mm/m未満です。フランジウィンドウとグローブボックス本体は連続的に溶接されており、溶接シームの非破壊検査が実施され、溶接点での漏れはありません。真空シール方式は、一体の環状溝に埋め込まれた一体の環状「0」形状のシールリングを採用しています。シールリングは継ぎ目がなく、シールの信頼性が高く、漏れ率が低いため、真空装置の窓やドアのシールに適しています。