VTI ユニバーサル グローブ ボックスは、単一のワークステーションから複数のワークステーションまで、実稼働規模での使用を可能にしながら、不活性環境を維持するために必要なスペースとシステムを提供します。すべてのユニバーサル グローブ ボックスは、統合ガス精製システム、PLC 制御電子機器、および HMI タッチスクリーンを備えています。各ワークステーションには、交換可能なサイト グラスと (4 つの KF40 フィードスルー ポート) が含まれています。当社の標準構成には、移送前室と Edwards 真空ポンプが含まれています。
すべての VTI ユニバーサル グローブ ボックスは、O2 および H2O の達成可能な純度レベルが 1 PPM 未満です。
特徴
閉ループガス循環
閉ループ内の不活性ガス。ブロワーと精製器によりガスを循環させ、H2O、O2を連続的に除去します。
オートパージ パージバルブ
によりグローブボックス内の雰囲気を自動的に置換します。
自動再生
H2O および O2 除去材は再生可能です。再生プロセスはプログラム制御できます。
自動圧力制御
グローブ ボックス内の圧力は、プログラマブル ロジック コントローラー (PLC) によって自動的に制御されます。作動圧力は +15mbar ～ -15mbar または +12mbar ～ -12mbar のいずれかに設定できます。圧力が設定範囲を超えると、システムは自動的に保護されます。
エコモード
真空ポンプは必要に応じて自動的に作動し、一定のアイドル時間が経過すると停止します。水分と酸素のレベルが 1 ppm 未満に達すると、ブロワー周波数が 25Hz に切り替わります。
仕様
メインチャンバー
モジュール長さ: 1220mm/1500mm/1800mm/2440mm (48.0 インチ/59.1 インチ/70.9 インチ/96.0 インチ)
モジュール奥行き: 750mm/1000mm/1200mm (29.5 インチ/39.4 インチ/47.2 インチ)
モジュール高さ: 900m (35.4 インチ)
材質: ステンレス鋼タイプ 304、厚さ 3 mm (1/8 インチ)
覗き窓: 傾斜、安全ガラス、厚さ 8 mm (1/3 インチ)
手袋ポート: POM (ポリオキシメチレン)、直径 220 mm (8.7 インチ)
手袋: 8B1532
ダストフィルター: HEPA 0.3μ、ガス入口 1 つ、ガス出口 1 つ
棚: ステンレス鋼、固定棚 2 枚 (調節可能な棚が利用可能)
照明:外部 LED ライト、覗き窓の上に前面に取り付けられています。
フィードスルー: 1 つの電源フィードスルー、3 つのブラインド フランジ。
大前室
直径: 360mm (14.2 インチ) または 400mm (15.7 インチ)、長さ 600mm (23.6 インチ)
スライドトレイ付き
スピンドルロックドア、昇降機構付き垂直操作
電磁弁による自動操作
小型前室
直径 150 mm (5.9 インチ) または 100 mm (3.9 インチ)、長さ 300 mm (11.8 インチ)
開き戸
ハンドバルブによる手動操作
精製装置
H 2O および Oを2 1 ppm 未満の水分および酸素に除去します
。 吸収装置ユニット: 5 kg 銅触媒、5 kg モレキュラーシーブ
酸素を除去する能力、60 L、水分 2000 g。
カプセル化ブロワー: 90m 3/h
再生: 加熱、混合ガス(水素を5〜10%混合した作動ガス)の導入などを含む全プロセスをPLC制御。
システム制御
PLC および HMI: Siemens S7
真空ポンプ
8m 3/h オイルミストフィルターとガスバラスト付きロータリーベーンポンプ
オプション&アクセサリ
アクセサリ オプション
水分センサー
酸素センサー
溶媒吸収装置 加熱された
前室
冷蔵庫
コールドウェル
顕微鏡ユニット
ファンなしイオナイザー
各種フィードスルー
その他のオプション
カスタマイズされたボックス サイズ
エバポレーター、ALD システム、スピン コーターなどの顧客の機器をグローブボックスに統合
ポリカーボネート窓
クイック リリース ウィンドウ インター
ロック ドア付き前室
スライド トレイ付き前
室 真空を使用しない前室パージのみ 前室は
ボックスではなくガス シリンダーから補充
長方形の前室
フレキシブルな棚 – 上下に調整可能 – 前後に調整可能
12m3/h ロータリー ポンプ
ドライスクロールポンプ
迅速なサービス
利点
大容量浄化装置H
迅速に除去2O と Oを2 1ppm 未満まで
再生サイクル間の間隔が長い。
PLC 制御およびカラー タッチスクリーン HMI
自動パージ。循環;再生;圧力制御;ユーザーフレンドリーなインターフェイス。
長寿命水分および酸素分析計
P 2O5 水分センサー: 耐食性があり、プローブが HF またはその他の腐食性環境への暴露によって汚染されている場合は、酸洗浄によって再生可能です。
Z r O2 酸素センサー: 固体センサー、長寿命、消耗することなく空気にさらすことができます。
お客様のアプリケーションに合わせてグローブ ボックスをカスタマイズします。
当社のエンジニアリング チームは、お客様のアイデアをソリューションに変えるお手伝いをします。
ステンレス鋼のガスパイプとコネクター
すべてのグローブボックスは、腐食性の高い環境向けに、より耐食性の高いステンレス鋼のパイプとコネクターにアップグレードされました。
