ຈາກສະຖານີດຽວໄປຫາຫຼາຍບ່ອນ, ກ່ອງໃສ່ຖົງມື VTI Universal ໃຫ້ເຈົ້າມີພື້ນທີ່ແລະລະບົບທີ່ຈໍາເປັນເພື່ອຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມ inert ຂອງທ່ານໃນຂະນະທີ່ຍັງອະນຸຍາດໃຫ້ນໍາໃຊ້ຂະຫນາດການຜະລິດ. ກ່ອງຖົງມື Universal ທັງໝົດໃຫ້ລະບົບການກັ່ນລ້າງອາຍແກັສແບບປະສົມປະສານ, ເຄື່ອງເອເລັກໂທຣນິກທີ່ຄວບຄຸມໂດຍ PLC, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບໜ້າຈໍສໍາຜັດ HMI. ແຕ່ລະບ່ອນເຮັດວຽກປະກອບມີແກ້ວສາຍຕາທີ່ສາມາດທົດແທນໄດ້, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບ (4) ຜອດ feedthrough KF40. ການຕັ້ງຄ່າມາດຕະຖານຂອງພວກເຮົາປະກອບມີເຄື່ອງດູດຖ່າຍໂອນ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Edwards.
ກ່ອງຖົງມື VTI Universal ທັງໝົດມີລະດັບຄວາມບໍລິສຸດທີ່ບັນລຸໄດ້ <1 PPM ຂອງ O2 ແລະ H2O.
Fຮ້ານອາຫານ
Closed Loop Gas Circulation
ອາຍແກັສ Inert ໃນວົງປິດ. ອາຍແກັສແມ່ນ circulated ໂດຍ blower ແລະ purifier, H2O, O2 ສາມາດເອົາອອກຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ.
Auto Purging
ການທົດແທນບັນຍາກາດພາຍໃນກ່ອງຖົງມືສາມາດເຮັດໄດ້ໂດຍອັດຕະໂນມັດໂດຍປ່ຽງ purging.
ອັດຕະໂນມັດ ສາມາດຟື້ນຟູໄດ້.
ອຸປະກອນການກໍາຈັດ H2O ແລະ O2 ຂະບວນການຟື້ນຟູສາມາດຄວບຄຸມໂຄງການ.
ການຄວບຄຸມຄວາມກົດດັນອັດຕະໂນມັດ
ຄວາມກົດດັນໃນກ່ອງຖົງມືຖືກຄວບຄຸມໂດຍອັດຕະໂນມັດໂດຍ Programmable Logic Controller (PLC). ຄວາມກົດດັນການເຮັດວຽກສາມາດຖືກຕັ້ງໄວ້ລະຫວ່າງ +15mbar ແລະ -15mbar ຫຼືລະຫວ່າງ +12mbar ແລະ -12mbar. ຖ້າຄວາມກົດດັນເກີນຂອບເຂດທີ່ກໍານົດໄວ້, ລະບົບຈະຖືກປ້ອງກັນໂດຍອັດຕະໂນມັດ.
ໂໝດນິເວດ
ປັ໊ມສູນຍາກາດຈະຖືກເປີດໃຊ້ໂດຍອັດຕະໂນມັດເມື່ອມີຄວາມຈໍາເປັນ, ແລະຈະປິດລົງຫຼັງຈາກໄລຍະເວລາທີ່ບໍ່ໄດ້ເຮັດວຽກ. ຄວາມຖີ່ຂອງເຄື່ອງເປົ່າຈະປ່ຽນເປັນ 25Hz ເມື່ອຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ ແລະລະດັບອົກຊີເຈນຮອດໜ້ອຍກວ່າ 1 ppm.
ຈໍາເພາະຂໍ້ມູນ
ຄວາມຍາວ Modular Chamber
: 1220mm/1500mm/1800mm/2440mm (48.0'/59.1'/70.9'/96.0')
Modular depth: 750mm/1000mm/1200mm (29.5'/47.4') 900m
(35.4 ')
Material: Stainless steel type 304, thickness 3mm (1/8')
Sight Windows: Inclined, Safety Glass, thickness 8mm (1/3')
ຖົງມື Ports: POM (Polyoxymethylene), 220mm (8.7') Diameter
Gloves: 8B15032
, Dust one in HE. outlet
shelving: ສະແຕນເລດ, ສອງ shelves ຄົງ ( shelves ປັບໄດ້)
ແສງສະຫວ່າງ: ໄຟ LED ພາຍນອກ, ດ້ານຫນ້າ mounted ຂ້າງເທິງແກ້ວ sight
feedthroughs: ຫນຶ່ງ feedthrough ພະລັງງານ, 3 blind flanges
ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ Antechamber ຂະຫນາດໃຫຍ່
: 360mm (14.2') ຫຼື 400mm (15.7'), ຄວາມຍາວ 600mm (23.6')
ມີ
ຖາດເລື່ອນ Spindle lock, ປະຕິບັດແນວຕັ້ງດ້ວຍກົນໄກການຍົກ
ການດໍາເນີນງານອັດຕະໂນມັດຜ່ານ solenoid valves
ຂະໜາດນ້ອຍ Antechamber
Diameter 150 mm (5.9') ຫຼື 100mm (3.9'), ຍາວ 300mm(11.8')
ປະຕູ hinged
ເຮັດວຽກດ້ວຍມືຜ່ານວາວມື
Purifier
ການກໍາຈັດ H 2O ແລະ O 2 ໃຫ້ຫນ້ອຍກວ່າ 1 ppm ຄວາມຊຸ່ມຊື້ນແລະອົກຊີເຈນ
ທີ່ຫນ່ວຍງານດູດຊຶມ: 5kg copper catalyst, 5kg Molecular sieve
ຄວາມອາດສາມາດເອົາອົກຊີເຈນ, 60L, ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ 2000g.
Encapsulated Blower: 90m 3/ h
ການຟື້ນຟູ: PLC ຄວບຄຸມຂະບວນການທັງຫມົດລວມທັງການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ, ແນະນໍາອາຍແກັສປະສົມ (ອາຍແກັສເຮັດວຽກປະສົມກັບ Hydrogen 5-10%), ແລະອື່ນໆ.
ການຄວບຄຸມລະບົບ
PLC ແລະ HMI: Siemens S7
ປັ໊ມສູນຍາກາດ
8m 3/ h Rotary vane pump with oil mist filter and gas ballast
O ptions&Accessories
ອຸປະກອນເສີມ Options
Moisture Sensor
Oxygen Sensor
Solvent Absorber
Heated Antechamber
Refrigerator
Cold Well
Microscope Unit
Ionizer without fan
various Feedthroughs
ຕົວເລືອກອື່ນ ໆ
ຂະໜາດກ່ອງທີ່ປັບແຕ່ງເອງ
ການລວມອຸປະກອນຂອງລູກຄ້າເຂົ້າໄປໃນກ່ອງຖົງມື, ເຊັ່ນ: ເຄື່ອງລະເຫີຍ, ລະບົບ ALD ແລະ Spin Coater ແລະອື່ນໆ.
ປ່ອງຢ້ຽມໂພລີຄາບອນ
ອອກດ່ວນ
Antechamber ກັບປະຕູ interlocking
ຫ້ອງຂະຫນາດນ້ອຍທີ່ມີຖາດເລື່ອນ
Antechamber purging ພຽງແຕ່ໂດຍບໍ່ມີການສູນຍາກາດ
ຈາກກ່ອງ Antechularamber refilling
. Antechamber
ຊັ້ນວາງທີ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ - ສາມາດປັບຂຶ້ນແລະລົງໄດ້ - ປັບໄດ້ແລະໄປຂ້າງຫນ້າ
12m3 / h Rotary pump
ປັ໊ມເລື່ອນແຫ້ງ
ບໍລິການວ່ອງໄວ
ຂໍ້ ດີ
ເຄື່ອງຟອກຄວາມອາດສາມາດສູງ
ການໂຍກຍ້າຍຢ່າງໄວວາຂອງ H 2O ແລະ O 2 ຫນ້ອຍກວ່າ 1ppm
ໄລຍະຫ່າງຍາວລະຫວ່າງຮອບວຽນການຟື້ນຟູ.
ການຄວບຄຸມ PLC ແລະສີ Touchscreen HMI
ອັດຕະໂນມັດ Purge; ການໄຫຼວຽນ; ການຟື້ນຟູ; ການຄວບຄຸມຄວາມກົດດັນ; ການໂຕ້ຕອບຜູ້ເປັນມິດ.
Long Life Moisture and Oxygen Analyzers
P 2O 5 Moisture Sensor: ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ, ສາມາດຕໍ່ໃຫມ່ໄດ້ໂດຍການທໍາຄວາມສະອາດອາຊິດຖ້າຫາກວ່າ probe ໄດ້ຖືກປົນເປື້ອນໂດຍ HF ຫຼືການສໍາຜັດກັບສິ່ງແວດລ້ອມ corrosive ອື່ນໆ.
Z r O 2 Oxygen Sensor: ເຊັນເຊີແຂງ, ອາຍຸຍືນ, ສາມາດສໍາຜັດກັບອາກາດໂດຍບໍ່ມີການບໍລິໂພກ.
ປັບແຕ່ງກ່ອງໃສ່ຖົງມືໂດຍສະເພາະສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງທ່ານ
ທີມງານວິສະວະກໍາຂອງພວກເຮົາສາມາດຊ່ວຍປ່ຽນຄວາມຄິດຂອງທ່ານໃຫ້ເປັນການແກ້ໄຂ.
ທໍ່ອາຍແກັສສະແຕນເລດແລະຕົວເຊື່ອມຕໍ່
ກ່ອງຖົງມືທັງຫມົດໄດ້ຖືກຍົກລະດັບເປັນທໍ່ສະແຕນເລດແລະຕົວເຊື່ອມຕໍ່ທີ່ມີສານຕ້ານການກັດກ່ອນສູງຫຼາຍສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີ corrosive ສູງ.
