特徴
グローブボックスの遠隔監視・制御
パソコンやスマートフォンからグローブボックスの作動状況を監視できます。
データの暗号化とバックアップ
ネットワーク障害によるデータ送信エラー、中断、破損、損失が発生した場合、ユーザーは当社のシステムを通じて機器の履歴データを復元および追跡できます。データの整合性とセキュリティを確保するためにファイアウォールを構成できます。
障害アラーム
機器に障害が発生した場合、システムはユーザーに通知を送信し、障害保護ルーチンを自動的に開始します。
リモート診断と調整
当社のエンジニアは、システムにリモートでアクセス、デバッグ、復元できます。
オンライン ヘルプ
ユーザーは、監視および制御システムの操作に関するオンライン学習リソースにアクセスできます。ユーザーは、オンライン ヘルプ サイトを使用して自分で問題を解決することもできます。
無料のオンライン サービス サービス
スタッフやエンジニアとのオンライン コミュニケーション ツール (電子メール、チャット、ビデオ会議など) を提供し、問題が発生した場合に解決します。
仕様
メインチャンバー
モジュール長さ: 1220mm/1500mm/1800mm/2440mm (48.0 インチ/59.1 インチ/70.9 インチ/96.0 インチ)
モジュール奥行き: 750mm/1000mm/1200mm (29.5 インチ/39.4 インチ/47.2 インチ)
モジュール高さ: 900m (35.4 インチ)
材質: ステンレススチールタイプ 304、厚さ 3mm (1/8 インチ)
覗き窓: 傾斜、安全ガラス、厚さ 8mm (1/3 インチ)
手袋ポート: POM (ポリオキシメチレン)、直径 220mm (8.7 インチ)
手袋: 8B1532ダスト
フィルター: HEPA 0.3μ、ガス入口 1 つ、ガス出口 1 つ
棚: ステンレス鋼、固定棚 2 枚 (調節可能な棚が利用可能)
照明:外部 LED ライト、覗き窓の上に前面に取り付けられています。
フィードスルー: 1 つの電源フィードスルー、3 つのブラインド フランジ。
大前室
直径: 360mm (14.2 インチ) または 400mm (15.7 インチ)、長さ 600mm (23.6 インチ)
スライドトレー付き
スピンドルロック扉、昇降機構付き垂直操作
自動ドアシステム、内扉と外扉は連動します。
小型前室
直径 150 mm (5.9 インチ) または 100 mm (3.9 インチ)、長さ 300 mm (11.8 インチ)
開き戸
ハンドバルブによる手動操作
精製装置
H 2O と Oを2 1 ppm 未満の水分と酸素に除去します
。 吸収装置ユニット: 5 kg 銅触媒、5 kg モレキュラーシーブ
酸素を除去する能力、60 L、水分 2000 g。
カプセル化ブロワー：90m 3/h
再生：加熱、混合ガス（作動ガスに水素を5～10％混合）導入等を含む全工程をPLC制御
システム制御
PLC および HMI: Siemens S7
IoT コンセプトに基づいて遠隔操作と診断を実現
真空ポンプ
8m 3/h オイルミストフィルターとガスバラストを備えたロータリーベーンポンプ
オプション&アクセサリ
アクセサリ オプション
水分センサー
酸素センサー
溶媒吸収装置 加熱された
前室
冷蔵庫
コールドウェル
顕微鏡ユニット
ファンなしイオナイザー
各種フィードスルー
その他のオプション
カスタマイズされたボックス サイズ
エバポレーター、ALD システム、スピン コーターなどの顧客の機器をグローブボックスに統合
ポリカーボネート窓
クイック リリース ウィンドウ インター
ロック ドア付き前室
スライド トレイ付き前
室 真空を使用しない前室パージのみ 前室は
ボックスの代わりにガス シリンダーから補充
長方形の前室
フレキシブルな棚 – 上下に調整可能 – 前後に調整可能
12m3/h ロータリー ポンプ
ドライスクロールポンプ
迅速なサービス
利点
遠隔制御と診断
モノのインターネットの概念に基づいて、遠隔操作と診断を実現します
大容量浄化装置H
迅速に除去2O と Oを2 1ppm 未満まで
再生サイクル間の間隔が長い。
PLC 制御およびカラー タッチスクリーン HMI
自動パージ。循環;再生;圧力制御;ユーザーフレンドリーなインターフェイス。
長寿命の水分および酸素分析計
P 2O5 水分センサー: 耐食性があり、プローブが HF またはその他の腐食性環境への曝露によって汚染されている場合は、酸洗浄によって再生可能です。
Z r O2 酸素センサー: 固体センサー、長寿命、消耗することなく空気にさらすことができます。
お客様のアプリケーションに合わせてグローブ ボックスをカスタマイズします。
当社のエンジニアリング チームは、お客様のアイデアをソリューションに変えるお手伝いをします。
ステンレス鋼のガスパイプとコネクター
すべてのグローブボックスは、腐食性の高い環境向けに、より耐食性の高いステンレス鋼のパイプとコネクターにアップグレードされました。
