Merkmale
Fernüberwachung und -steuerung des Handschuhfachs
Benutzer können die Betriebsbedingungen des Handschuhfachs von ihrem Computer oder Smartphone aus überwachen.
Datenverschlüsselung und -sicherung
Wenn ein Datenübertragungsfehler, eine Unterbrechung, Beschädigung oder ein Verlust aufgrund eines Netzwerkausfalls auftritt, können Benutzer historische Daten der Geräte über unser System wiederherstellen und verfolgen. Sie können die Firewall konfigurieren, um Datenintegrität und -sicherheit zu gewährleisten.
Ausfallalarm
Wenn das Gerät ausfällt, sendet das System eine Benachrichtigung an den Benutzer und startet automatisch die Ausfallschutzroutine.
Ferndiagnose und -anpassung
Unsere Techniker können aus der Ferne auf das System zugreifen, es debuggen und wiederherstellen.
Online-Hilfe
Benutzer können auf Online-Lernressourcen für den Betrieb des Überwachungs- und Steuerungssystems zugreifen. Benutzer können Probleme auch selbst mithilfe unserer Online-Hilfeseite lösen.
Kostenloser Online-Kundenservice
Wir bieten Online-Kommunikationstools (E-Mail, Chat, Videokonferenz usw.) mit unseren Servicemitarbeitern oder Technikern, um auftretende Probleme zu lösen.
Spezifikationen
Hauptkammer
Modulare Länge: 1220 mm/1500 mm/1800 mm/2440 mm (48,0'/59,1'/70,9'/ 96,0')
Modulare Tiefe: 750mm/1000mm/1200mm (29,5'/39,4'/47,2')
Modulare Höhe: 900m( 35,4')
Material: Edelstahl Typ 304, Dicke 3 mm (1/8 Zoll)
Sichtfenster: Geneigtes Sicherheitsglas, Dicke 8 mm (1/3 Zoll)
Handschuhanschlüsse: POM (Polyoxymethylen), 220 mm (8,7 Zoll) Durchmesser
Handschuhe: 8B1532
Staubfilter: HEPA 0,3 μ, ein Gaseinlass, ein Gasauslass
Regale: Edelstahl, zwei feste Regale (verstellbare Regale verfügbar)
Beleuchtung: Externe LED-Leuchten, vorne oben montiert Schauglas.
Durchführungen: Eine Stromdurchführung, 3 Blindflansche
Großer Vorkammerdurchmesser
: 360 mm (14,2 Zoll) oder 400 mm (15,7 Zoll), Länge 600 mm (23,6 Zoll),
mit verschiebbarem Tablett
, Spindelverriegelungstür, vertikaler Betrieb mit Hebemechanismus.
Automatisches Türsystem, sowohl Innentür als auch Außentür sind miteinander verriegelt.
Kleiner Vorraum,
Durchmesser 150 mm (5,9 Zoll) oder 100 mm (3,9 Zoll), Länge 300 mm (11,8 Zoll),
Flügeltür,
manuelle Bedienung über Handventil
Luftreiniger
Entfernung von HO 2und O 2 auf weniger als 1 ppm Feuchtigkeit und Sauerstoff
Absorbereinheit: 5 kg Kupferkatalysator, 5 kg Molekularsieb
Kapazität zur Entfernung von Sauerstoff, 60 l, Feuchtigkeit 2000 g.
Gekapseltes Gebläse: 90 m³ 3/h
Regeneration: SPS-Steuerung des gesamten Prozesses, einschließlich Heizung, Einleiten von Mischgas (Arbeitsgas gemischt mit Wasserstoff 5–10 %), usw.
Systemsteuerung
SPS und HMI: Siemens S7
Basierend auf dem Internet-of-Things-Konzept zur Realisierung von Fernbetrieb und -diagnose
Vakuumpumpe
8 m³ 3/h Drehschieberpumpe mit Ölnebelfilter und Gasballast
Optionen und Zubehör
Zubehör Optionen
Feuchtigkeitssensor
Sauerstoffsensor
Lösungsmittelabsorber
Beheizte Vorkammer
Kaltbrunnen
Kühlschrank
Mikroskopeinheit
Ionisator ohne Lüfter
Verschiedene Durchführungen
Weitere Optionen
Kundenspezifische Boxgrößen
Integration von Kundeninstrumenten in das Handschuhfach, wie Verdampfer, ALD-System und Spin Coater usw.
Fenster aus Polycarbonat
Fenster
mit Schnellverschluss Vorkammer mit ineinandergreifender Tür
Kleine Kammer mit verschiebbarem Tablett
Vorkammer-Spülung nur ohne Vakuum
Vorkammer-Nachfüllung aus Gasflasche statt Box
Rechteckige Vorkammer
Flexible Regale – nach oben und unten verstellbar – hin und her verstellbar
12 m3/h Rotationspumpe
Trockene Scrollpumpe
Prompter Service
Vorteile
Fernsteuerung und -diagnose
Basierend auf dem Konzept des Internets der Dinge zur Realisierung von Fernsteuerung und -diagnose
Hochleistungsreiniger.
Schnelle Entfernung von HO 2und O 2 auf weniger als 1 ppm.
Lange Intervalle zwischen den Regenerationszyklen.
SPS-Steuerung und
automatische Spülung des Farb-Touchscreen-HMI; Verkehr; Regeneration; Druckregelung; Benutzerfreundliche Oberfläche.
Langlebige Feuchtigkeits- und Sauerstoffanalysatoren
PO 2- 5 Feuchtigkeitssensor: Korrosionsbeständig, erneuerbar durch Säurereinigung, wenn die Sonde durch HF oder andere korrosive Umgebungseinflüsse verunreinigt ist.
Z r O 2 -Sauerstoffsensor: Solider Sensor, lange Lebensdauer, kann ohne Verbrauch der Luft ausgesetzt werden.
Passen Sie ein Handschuhfach speziell für Ihre Anwendung an.
Unser Ingenieurteam kann Ihnen dabei helfen, Ihre Idee in eine Lösung umzusetzen.
Gasrohre und Anschlüsse aus Edelstahl
Alle Handschuhkästen wurden auf Rohre und Anschlüsse aus Edelstahl mit wesentlich höherer Korrosionsbeständigkeit für stark korrosive Umgebungen umgerüstet.
