シングルから複数のワークステーションまで、VTIユニバーサルグローブボックスは、生産スケールの使用を許可しながら、不活性環境を維持するために必要なスペースとシステムを提供します。すべてのユニバーサルグローブボックスは、統合ガス浄化システム、PLC制御電子機器、およびHMIタッチスクリーンを提供します。各ワークステーションには、交換可能なサイトガラスと(4)KF40フィードスルーポートが含まれています。当社の標準的な構成には、トランスファーアンプーバーとエドワーズバキュームポンプが含まれます。
すべてのVTIユニバーサルグローブボックスには、O2およびH2Oの1 ppm未満の達成可能な純度レベルがあります。
特徴
クローズドループ内の閉ループガス循環
不活性ガス。ガスは、ブロワーと浄化器によって循環され、H2O、O2は連続的に除去できます。
グローブボックス内の大気の交換を自動することは、
パージバルブによって自動的に実現できます。
自動再生
H2OおよびO2除去材料を再生できます。再生プロセスはプログラム制御できます。
自動圧力制御
グローブボックスの圧力は、プログラム可能なロジックコントローラー(PLC)によって自動的に制御されます。作業圧力は、 +15MBARから-15MBAR、または +12MBARと-12MBARの間で設定できます。圧力がセット範囲を超えた場合、システムは自動的に保護されます。
ECOモードは
、必要に応じて真空ポンプが自動的にアクティブになり、アイドル期間後にオフになります。水分と酸素レベルが1 ppm未満に達すると、ブロワーの周波数が25Hzに切り替えられます
sの特異化
メインチャンバー
モジュラー長:1220mm/1500mm/1800mm/2440mm(48.0” /59.1” /70.9”/96.0”)
モジュラー深度:750mm/1000mm/1200mm(29.5” /39.4” /47.2”)
モジュラー高さ:900m(35.4”)材料
厚さ304、厚さ
:安全ガラス、厚さ8mm(1/3インチ)
グローブポート:POM(ポリオキシメチレン)、220mm(8.7インチ)直径
グローブ:8B1532
ダストフィルター:1つのガス入り口、1つのガスアウトレットシェルフ:ステンレス鋼、
固定シェルフ(調整可能な屋外
)
2つのブラインドフレージ
大規模な潜入
直径:360mm(14.2”)または400mm(15.7”)、長さ600mm(23.6インチ)
スライドトレイ
スピンドルロックドア、リフティングメカニズム付き垂直操作
ソレノイドバルブを介した自動操作
小斜面
直径150 mm(5.9インチ)または100mm(3.9インチ)、長さ300mm(11.8インチ)
ヒンジ付きドア
マニュアル操作を介して手動操作
浄化器
除去:5kg銅触媒、2oおよびOの2 1 ppm未満の水分および酸素吸収剤ユニットからH
5kg分子ふるい容量、60L、水分2000g。
酸素を除去する
カプセル化されたブロワー:90m 3/h
再生:PLCは、加熱、混合ガスの導入(水素5〜10%の作業ガス)などのすべてのプロセスを制御します。
システム制御
PLCおよびHMI:Siemens S7
真空ポンプ
8m 3/hオイルミストフィルターとガスバラストを備えたロータリーベーンポンプ

o Ptions&Accessories
アクセサリオプション
湿気センサー
酸素センサー
溶媒吸収吸着剤
吸入型
冷蔵庫
コールド井戸
顕微鏡ユニット
イオナイザーファンなしの
さまざまなフィードスルー
その他のオプション
カスタマイズされたボックスサイズは
顧客の機器をグローブボックスに統合
、
蒸発
器、ALDシステム、
スピンコーターなど
、
し
ます
。
12m3/hロータリーポンプ
ドライスクロールポンプ
プロンプトサービス
dvantages
1ppm
H 2OおよびOを迅速に除去します。2 未満の
再生サイクル間の長さ
PLCコントロールとカラータッチスクリーンHMI
自動パージ。循環;再生;圧力制御;ユーザーフレンドリーなインターフェイス。
長寿命の湿気と酸素分析装置
P 2O5 水分センサー:耐食性、酸クリーニングによる再生可能プローブがHFまたは他の腐食性環境曝露によって汚染されている場合。
Z r o2 酸素センサー:固体センサー、長寿命は、消費せずに空気にさらされる可能性があります。
アプリケーション用にグローブボックスを特別にカスタマイズする
当社のエンジニアリングチームは、アイデアをソリューションに変えるのに役立ちます。
ステンレススチールガスパイプとコネクタ
すべてのグローブボックスは、非常に腐食性の環境のためにはるかに高い腐食性防止を備えたステンレス鋼パイプとコネクタにアップグレードされています。