トランスファー チャンバーの排気 - パージ サイクル後のグローブ ボックス内の水と酸素のレベル増加の原因の分析

科学研究と工業生産において、 グローブ ボックスは、 水や酸素に敏感な材料にとって重要な大気環境を提供します。外部環境をグローブ ボックスの内部に接続する重要なチャネルとして、搬送チャンバー内の排気と不活性ガスのパージの有効性は、材料搬送中のグローブ ボックス内の水と酸素のレベルの安定性に直接影響します。

物品を搬入または搬出する場合、大気汚染を防ぐために通常、**3 回の排気とパージのサイクル**が実行されます。ただし、これらのサイクルの後でも、内側のドアを開けると、グローブ ボックス内の水と酸素のレベルが上昇する可能性があります。その理由を以下に分析します。

- 不純なガスが移送チャンバーに導入されると、ドアが開くと水と酸素のレベルが直接上昇します。

本質的に水分/酸素含有量が高い材料 (例: 容器に密封されていない液体、多孔質材料) には、**延長された排気/パージ サイクル**が必要です。デフォルトの 3 サイクルでは不十分な場合があり、汚染物質が残留する可能性があります。

デフォルトの 3 サイクル設定が手動で変更され、復元されなかった場合、その後の移送中に不適切な除染が発生します。

長期間使用すると、トランスファー チャンバー内の **O リング シール**が摩耗する可能性があります。マイクロギャップにより空気が徐々に侵入し、標準的なサイクルの後でも排気効率が損なわれます。

このような逸脱は最適な除染を妨げ、水と酸素のレベルが上昇します。