이송 챔버의 배기-퍼지 사이클 후 글러브 박스의 물 및 산소 수준 증가 원인 분석

과학 연구 및 산업 생산 분야에서 글러브 박스는 물과 산소에 민감한 물질에 중요한 대기 환경을 제공합니다. 외부 환경을 글러브 박스 내부에 연결하는 중요한 채널로서 이송 챔버의 배기 및 불활성 가스 퍼지 효과는 재료 이송 중 글러브 박스 내 물과 산소 수준의 안정성에 직접적인 영향을 미칩니다.

품목을 안팎으로 이동할 때 대기 오염을 방지하기 위해 일반적으로 **3회의 대피-퍼지 주기**가 수행됩니다. 그러나 이러한 사이클 후에도 내부 도어를 열면 글로브 박스 내부의 물과 산소 수준이 계속 상승할 수 있습니다. 그 이유는 아래와 같이 분석됩니다.

- 이송챔버로 유입된 불순물 가스는 도어 열림 시 수분과 산소 농도를 직접적으로 상승시킵니다.

본질적으로 물/산소 함량이 높은 재료(예: 용기에 밀봉되지 않은 액체, 다공성 재료)에는 **확장된 배기-퍼지 주기**가 필요합니다. 기본 3주기로는 충분하지 않아 잔류 오염 물질이 발생할 수 있습니다.

기본 3주기 설정을 수동으로 변경하고 복원하지 않으면 후속 전송 중에 오염 제거가 제대로 이루어지지 않습니다.

장기간 사용하면 이송 챔버의 **O-링 씰**이 마모될 수 있습니다. 미세한 틈으로 인해 점진적인 공기 침투가 가능해 표준 사이클 이후에도 대피 효율성이 저하됩니다.

이러한 편차로 인해 최적의 오염 제거가 방해되어 물과 산소 수준이 높아집니다.