Ühest kuni mitme tööjaamani pakub VTI Universal kindalaegas teile ruumi ja süsteeme, mis on vajalikud teie inertse keskkonna säilitamiseks, võimaldades samas kasutada tootmismahus. Kõik universaalsed kindalaekad sisaldavad integreeritud gaasipuhastussüsteemi, PLC-ga juhitavat elektroonikat ja HMI puutetundlikku ekraani. Iga tööjaam sisaldab vahetatavat vaateklaasi ja (4) KF40 läbilaskeporti. Meie standardkonfiguratsioonid hõlmavad ülekande eeskambreid ja Edwardsi vaakumpumpa.
Kõikidel VTI universaalsetel kindalaekatel on O2 ja H2O puhtusaste <1 PPM.
F omadused
Suletud ahela gaasiringlus Inertgaas
suletud ahelas. Gaasi ringlevad puhur ja puhasti, H2O, O2 saab pidevalt eemaldada.
Automaatne puhastamine
Kindalaekas oleva atmosfääri saab automaatselt asendada puhastusklappide abil.
Automaatne regenereerimine
H2O ja O2 eemaldamise materjali saab regenereerida. Regenereerimisprotsessi saab programmiga juhtida.
Automaatne rõhukontroll
Kindalaekas olevat rõhku juhib automaatselt programmeeritav loogikakontroller (PLC). Töörõhku saab seadistada kas vahemikus +15mbar kuni -15mbar või vahemikus +12mbar kuni -12mbar. Kui rõhk ületab seatud vahemikku, kaitseb süsteem automaatselt.
Ökorežiim
Vaakumpump aktiveeritakse vajaduse korral automaatselt ja lülitub pärast tühikäiguperioodi välja. Ventilaatori sagedus lülitatakse 25 Hz peale, kui niiskuse ja hapniku tase jõuab alla 1 ppm
S spetsifikatsioonid
Põhikamber
Mooduli pikkus: 1220mm/1500mm/1800mm/2440mm (48.0'/59.1'/70.9'/ 96.0')
Mooduli sügavus: 750mm/1000mm/1200mm (29.5'/39.ar2
:'/47.ar2:'/4) 900m( 35,4')
Materjal: Roostevaba teras, tüüp 304, paksus 3mm (1/8')
Vaateaknad: Kaldus, Turvaklaas, paksus 8mm (1/3') Kindad Portid
POM (polüoksümetüleen), 220mm (8.7')
:
Läbimõõt gaas üks Kindad:. sisselaskeava, üks gaasi väljalaskeava Riiulid: roostevaba teras,
fikseeritud riiulit (saadaval on reguleeritavad riiulid)
Valgustus: Välised LED-valgustid, paigaldatud vaateklaasi kohale
kaks
Suur esikambri
läbimõõt: 360mm (14,2') või 400mm (15,7'), pikkus 600mm (23,6')
koos lükandalusega
Spindli lukustusuks, vertikaalne töö tõstemehhanismiga
Automaatne töö solenoidventiilide kaudu
Väike esikambri
läbimõõt 150 mm (5,9') või 100 mm (3,9'), pikkus 300 mm (11,8')
Hingedega uks
Käsitsi juhtimine käsiklapiga
Puhastaja H
eemaldamine 2O ja O 2 kuni 1 ppm niiskuse ja hapniku
neeldumisüksus: 5 kg vaskatalüsaator, 5 kg molekulaarsõel
Hapniku eemaldamise maht, 60 l, niiskus 2000 g.
Kapseldatud puhur: 90 m 3/ h
Regenereerimine: PLC juhib kõiki protsesse, sealhulgas kuumutamist, segagaasi (töögaas segatud vesinikuga 5-10%) jne.
Süsteemijuhtimise
PLC ja HMI: Siemens S7
Vaakumpump
8m 3/h Õliudufiltri ja gaasiballastiga pöördlabapump
O valikud ja tarvikud
Lisatarvikud Valikud
Niiskusandur
Soojendusega
Hapnikuandur Lahusti Absorber
eeskamber
Külmkaev
Külmkaevmikroskoobiüksus
Ionisaator
ilma ventilaatorita
Erinevad läbivoolud
Muud valikud
Kohandatud kasti suurused
Kliendi instrumentide integreerimine kindalaekasse, nagu aurusti, ALD süsteem ja tsentrifuugimiskate jne.
Polükarbonaadist aken(ad)
Kiirvabastusaken(ad)
Lukustusuksega eeskamber
Väike kamber libiseva kandikuga
Esikambri puhastamine ainult ilma vaakumita
.
riiulid
– reguleeritavad üles-alla – reguleeritavad edasi-tagasi
12m3/h Rotary pump
Dry scroll pump
Kiire teenindus
A eelised
Suure võimsusega puhasti
H 2O ja O kiire eemaldamine 2 alla 1 ppm
Pikad intervallid regenereerimistsüklite vahel.
PLC-juhtimine ja värvilise puuteekraaniga HMI
automaatne puhastamine; Ringlus; Regenereerimine; Rõhu juhtimine; Kasutajasõbralik liides.
Pikaealised niiskus- ja hapnikuanalüsaatorid
P 2O 5 niiskusandur: korrosioonikindel, taastuv happega puhastamisel, kui sond on saastunud HF või muu söövitava keskkonnaga.
Z r O 2 hapnikuandur: tugev andur, pikk kasutusiga, võib ilma tarbimata kokku puutuda õhuga.
Kohandage kindalaegas spetsiaalselt teie rakenduse jaoks
Meie insenerimeeskond aitab teie ideed lahenduseks muuta.
Roostevabast terasest gaasitorud ja pistikud
Kõik kindalaekad on uuendatud roostevabast terasest torudele ja pistikutele, millel on palju suurem korrosioonikindlus, et tagada väga söövitav keskkond.
