Von einzelnen bis hin zu mehreren Arbeitsplätzen bietet Ihnen die VTI Universal-Handschuhbox den Platz und die Systeme, die Sie benötigen, um Ihre inerte Umgebung aufrechtzuerhalten und gleichzeitig den Einsatz im Produktionsmaßstab zu ermöglichen. Alle Universal-Handschuhboxen verfügen über ein integriertes Gasreinigungssystem, SPS-gesteuerte Elektronik sowie einen HMI-Touchscreen. Jede Workstation verfügt über ein austauschbares Schauglas sowie (4) KF40-Durchführungsanschlüsse. Zu unseren Standardkonfigurationen gehören Transfervorkammern sowie eine Edwards-Vakuumpumpe.
Alle VTI Universal-Handschuhboxen haben einen erreichbaren Reinheitsgrad von <1 PPM an O2 und H2O.
Merkmale
Geschlossener Gaskreislauf
Inertgas in einem geschlossenen Kreislauf. Das Gas wird durch das Gebläse und den Reiniger umgewälzt, H2O, O2 können kontinuierlich entfernt werden.
Automatische Spülung
Der Austausch der Atmosphäre im Handschuhfach kann automatisch durch die Spülventile erfolgen.
Automatische Regeneration
H2O- und O2-Entfernungsmaterial kann regeneriert werden. Der Regenerationsprozess kann programmgesteuert erfolgen.
Automatische Druckregelung
Der Druck im Handschuhfach wird automatisch von der speicherprogrammierbaren Steuerung (SPS) geregelt. Der Arbeitsdruck kann wahlweise zwischen +15mbar und -15mbar oder zwischen +12mbar und -12mbar eingestellt werden. Wenn der Druck den eingestellten Bereich überschreitet, wird das System automatisch geschützt.
Eco-Modus
Die Vakuumpumpe wird bei Bedarf automatisch aktiviert und nach einer gewissen Zeit der Inaktivität ausgeschaltet. Die Gebläsefrequenz wird auf 25 Hz umgeschaltet, wenn der Feuchtigkeits- und Sauerstoffgehalt weniger als 1 ppm erreicht
Spezifikationen
Hauptkammer
Modulare Länge: 1220 mm/1500 mm/1800 mm/2440 mm (48,0'/59,1'/70,9'/ 96,0')
Modulare Tiefe: 750mm/1000mm/1200mm (29,5'/39,4'/47,2')
Modulare Höhe: 900m( 35,4')
Material: Edelstahl Typ 304, Dicke 3 mm (1/8 Zoll)
Sichtfenster: Geneigtes Sicherheitsglas, Dicke 8 mm (1/3 Zoll)
Handschuhanschlüsse: POM (Polyoxymethylen), 220 mm (8,7 Zoll) Durchmesser
Handschuhe: 8B1532
Staubfilter: HEPA 0,3 μ, ein Gaseinlass, ein Gasauslass
Regale: Edelstahl, zwei feste Regale (verstellbare Regale verfügbar)
Beleuchtung: Externe LED-Leuchten, vorne oben montiert Schauglas.
Durchführungen: Eine Stromdurchführung, 3 Blindflansche
Großer Vorkammerdurchmesser
: 360 mm (14,2 Zoll) oder 400 mm (15,7 Zoll), Länge 600 mm (23,6 Zoll),
mit verschiebbarem Tablett
, Spindelverriegelungstür, vertikaler Betrieb mit Hebemechanismus,
automatischer Betrieb über Magnetventile
Kleiner Vorraum,
Durchmesser 150 mm (5,9 Zoll) oder 100 mm (3,9 Zoll), Länge 300 mm (11,8 Zoll),
Flügeltür,
manuelle Bedienung über Handventil
Luftreiniger
Entfernung von HO 2und O 2 auf weniger als 1 ppm Feuchtigkeit und Sauerstoff
Absorbereinheit: 5 kg Kupferkatalysator, 5 kg Molekularsieb
Kapazität zur Entfernung von Sauerstoff, 60 l, Feuchtigkeit 2000 g.
Gekapseltes Gebläse: 90 m³ 3/h
Regeneration: SPS-Steuerung des gesamten Prozesses, einschließlich Heizung, Einleiten von Mischgas (Arbeitsgas gemischt mit Wasserstoff 5–10 %) usw.
Systemsteuerung
SPS und HMI: Siemens S7
Vakuumpumpe
8 m 3/h Drehschieberpumpe mit Ölnebelfilter und Gasballast
Optionen und Zubehör
Zubehör Optionen
Feuchtigkeitssensor
Sauerstoffsensor
Lösungsmittelabsorber
Beheizte Vorkammer
Kaltbrunnen
Kühlschrank
Mikroskopeinheit
Ionisator ohne Lüfter
Verschiedene Durchführungen
Weitere Optionen
Kundenspezifische Boxgrößen
Integration von Kundeninstrumenten in das Handschuhfach, wie Verdampfer, ALD-System und Spin Coater usw.
Fenster aus Polycarbonat
Fenster
mit Schnellverschluss Vorkammer mit ineinandergreifender Tür
Kleine Kammer mit verschiebbarem Tablett
Vorkammer-Spülung nur ohne Vakuum
Vorkammer-Nachfüllung aus Gasflasche statt Box
Rechteckige Vorkammer
Flexible Regale – nach oben und unten verstellbar – hin und her verstellbar
12 m3/h Rotationspumpe
Trockene Scrollpumpe
Prompter Service
Vorteile
Hochleistungsreiniger.
Schnelle Entfernung von HO 2und O 2 auf weniger als 1 ppm.
Lange Intervalle zwischen den Regenerationszyklen.
SPS-Steuerung und
automatische Spülung des Farb-Touchscreen-HMI; Verkehr; Regeneration; Druckkontrolle; Benutzerfreundliche Oberfläche.
Langlebige Feuchtigkeits- und Sauerstoffanalysatoren
PO 2- 5 Feuchtigkeitssensor: Korrosionsbeständig, erneuerbar durch Säurereinigung, wenn die Sonde durch HF oder andere korrosive Umgebungseinflüsse verunreinigt ist.
Z r O 2 -Sauerstoffsensor: Solider Sensor, lange Lebensdauer, kann ohne Verbrauch der Luft ausgesetzt werden.
Passen Sie ein Handschuhfach speziell für Ihre Anwendung an.
Unser Ingenieurteam kann Ihnen dabei helfen, Ihre Idee in eine Lösung umzusetzen.
Gasrohre und Anschlüsse aus Edelstahl
Alle Handschuhkästen wurden auf Rohre und Anschlüsse aus Edelstahl mit wesentlich höherer Korrosionsbeständigkeit für stark korrosive Umgebungen umgerüstet.
