Von Single zu mehreren Workstations bietet Ihnen der VTI Universal Handschuhfach den Raum und die Systeme, die zur Aufrechterhaltung Ihrer inerten Umgebung erforderlich sind und gleichzeitig die Nutzung der Produktionskala ermöglichen. Alle universellen Handschuhfachleute bieten ein integriertes Gasreinigungssystem, die SPS -gesteuerte Elektronik sowie einen HMI -Touchscreen. Jede Workstation umfasst austauschbares Sichtglas sowie (4) KF40 -Vorschubanschlüsse. Unsere Standardkonfigurationen umfassen Transfer -Antechamber sowie eine Edwards -Vakuumpumpe.
Alle VTI -Universalhandschachteln haben eine erreichbare Reinheit von <1 ppm O2 und H2O.
Merkmale
Gaszirkulation mit geschlossener Schleife
in einer geschlossenen Schleife. Das Gas wird durch das Gebläse und den Reiniger H2O, O2 kontinuierlich entfernt.
Automatisch reinigen
Der Austausch der Atmosphäre im Handschuhfach kann automatisch durch die Spülenventile erreicht werden.
Automatische Regeneration
H2O und O2 -Entfernungsmaterial können regeneriert werden. Der Regenerationsprozess kann programmgesteuert werden.
Automatische Druckregelung
Der Druck im Handschuhfach wird automatisch vom programmierbaren Logikregler (SPS) gesteuert. Der Arbeitsdruck kann entweder zwischen +15mbar und -15mbar oder zwischen +12mbar und -12mbar gesetzt werden. Wenn der Druck über den festgelegten Bereich führt, wird das System automatisch geschützt.
ECO -Modus
Die Vakuumpumpe wird bei Bedarf automatisch aktiviert und wird nach einer Periode der Leerlaufzeit ausgeschaltet. Die Gebläsefrequenz wird auf 25 Hz umgestellt, wenn Feuchtigkeit und Sauerstoffspiegel auf weniger als 1 ppm liegen
S Pecifications
Hauptkammermodularlänge
: 1220 mm/1500 mm/1800 mm/2440 mm (48,0 '/59,1 '/70,9 '/96,0 ') Modulartiefe: 750 mm/1000mm/1200 mm (29,5 '/39.4 '/47,2 ')
(35.4 '/47,2 ')
modularhöhe: 900m
Materiell: 900m (35.4 ') Materials: 900m (35.4 ') Materials. 304, thickness 3mm (1/8')
Sight Windows: Inclined, Safety Glass, thickness 8mm (1/3')
Gloves Ports: POM (Polyoxymethylene), 220mm (8.7') Diameter
Gloves: 8B1532
Dust Filter: HEPA 0.3μ, one gas inlet, one gas outlet
Shelving: Stainless Steel, two fixed shelves (adjustable shelves available)
Lighting: Externe LED-Leuchten, Frontmontage über Sehverletzungen
.
Großer Antechamberdurchmesser
: 360 mm (14,2 ') oder 400 mm (15,7 '), Länge 600 mm (23,6 ')
mit Schiebetrusspindel
-Lock -Tür, vertikaler Betrieb mit Hubmechanismus
Automatischer Betrieb über Magnetventile
Kleiner Voramsdurchmesser
150 mm (5,9 ') oder 100 mm (3,9 '), Länge 300 mm (11,8 ')
Scharnier
-Türanschaltungsbetrieb über Handventil
Entfernen
von H 2o und O 2 auf weniger als 1 ppm Feuchtigkeit und Sauerstoffabsorbereinheit
: 5 kg Kupferkatalysator, 5 kg Molekularsiebeladität
zum Entfernen von Sauerstoff, 60 l, Feuchtigkeit 2000g.
Eingekapselter Gebläse: 90 m 3/h
Regeneration: SPS-Steuerung Alle Prozesse einschließlich Heizung, Einführung von Mixgas (Arbeitsgas gemischt mit Wasserstoff 5-10%) usw.
Systemsteuerung
SPS und HMI: Siemens S7
Vakuumpumpe
8m 3/h Drehschaufelpumpe mit Ölnebelfilter und Gasballast
O Aktionen und Zubehör
Zubehör Optionen
Feuchtigkeitssensor
Sauerstoffsensor
Lösungsmittel Absorber
erhitzte Antechamber
-Kühlschrank
Kaltbrunnen
Mikroskopeinheit
Ionisator ohne Lüfter
verschiedener Vorgänge
Andere Optionen
kundenspezifische Kastengrößen,
die die Instrumente des Kunden in die Handschuhfach integrieren, wie Verdampfer, ALD -System und Spinbeschichtung usw.
Polycarbonatfenster (s)
Schnellfreisetzungsfenster (en)
Voramber mit ineinandergreifender Tür kleiner
mit Schiebetablett -Vorschriften
-Spülung ohne Vakuum
Kammer
-Antechamber
-Vorhöhe, adgradierbares Abtauch -Vorschub
. Drehpumpe
Trockene Bildlaufpumpe
Eingabeaufforderung
Vorteile
mit hoher Kapazitätsreinigung
Schnelle Entfernung von H 2o und O 2 auf weniger als 1 ppm
lange Intervalle zwischen den Regenerationszyklen.
SPS -Steuerung und Farb -Touchscreen HMI
Automatische Spülung; Verkehr; Regeneration; Druckregelung; Benutzerfreundliche Oberfläche.
Feuchtigkeits- und Sauerstoffanalysatoren für lange Lebensdauer
von 2Feuchtigkeitssensor 5 : Korrosionsbeständig, durch Säureverreinigung erneuerbar, wenn die Sonde durch HF oder andere korrosive Umweltbelastung kontaminiert wird.
Z R O 2 Sauerstoffsensor: Feststoffsensor, langer Lebensdauer, kann ohne Konsum Luft ausgesetzt werden.
Passen Sie eine Handschuhbox speziell für Ihre Anwendung an, die
unser Engineering -Team dazu beitragen kann, Ihre Idee in eine Lösung zu verwandeln.
Edelstahlgasrohre und Steckverbinder
Alle Handschuhen wurden auf rostfreie Stahlrohre und Steckverbinder mit viel korrosiven, korrosiven Umgebung aufgerüstet.
