Від однієї до кількох робочих станцій, бардачок VTI Universal надає вам простір і системи, необхідні для підтримки вашого інертного середовища, дозволяючи при цьому використовувати масштаб виробництва. Усі бардачки Universal оснащені інтегрованою системою очищення газу, електронікою, керованою ПЛК, а також сенсорним екраном HMI. Кожна робоча станція містить змінне оглядове скло, а також (4) прохідні порти KF40. Наші стандартні конфігурації включають передні камери для перекачування, а також вакуумний насос Edwards.
Усі універсальні бардачки VTI мають досяжний рівень чистоти <1 PPM O2 і H2O.
F їсти
Циркуляція газу в замкнутому контурі.
Інертний газ у замкнутому контурі. Газ циркулює за допомогою повітродувки та очищувача, H2O, O2 можна безперервно видаляти.
Автоматичне очищення
Заміна атмосфери всередині бардачка може бути досягнута автоматично за допомогою клапанів очищення.
Автоматична регенерація
Матеріал для видалення H2O та O2 можна регенерувати. Процес регенерації можна програмно контролювати.
Автоматичний контроль тиску
Тиск у бардачку автоматично контролюється програмованим логічним контролером (PLC). Робочий тиск можна встановити між +15 мбар і -15 мбар або між +12 мбар і -12 мбар. Якщо тиск виходить за встановлений діапазон, система автоматично захищається.
Економічний режим
Вакуумний насос автоматично вмикається за потреби та вимикається після певного періоду простою. Частота повітродувки буде переключена на 25 Гц, коли рівень вологи та кисню сягне менше ніж 1 ppm
Технічні характеристики
Основна камера
Модульна довжина: 1220 мм/1500 мм/1800 мм/2440 мм (48,0'/59,1'/70,9'/ 96,0')
Модульна глибина: 750 мм/1000 мм/1200 мм (29,5'/39,4'/47,2')
Модульна висота: 900 м( 35,4')
Матеріал: нержавіюча сталь типу 304, товщина 3 мм (1/8')
Оглядові вікна: похилі, безпечне скло, товщина 8 мм (1/3')
Порти для рукавичок: POM (поліоксиметилен), діаметр 220 мм (8,7')
Рукавички: 8B1532
Пиловий фільтр: HEPA 0,3 мкм, один вхід газу, один газ
Вихідні стелажі: нержавіюча сталь, дві фіксовані полиці (доступні регульовані полиці)
Освітлення: зовнішні світлодіодні ліхтарі, встановлені спереду над оглядовим склом:
одна прохідна подача живлення, 3 глухі фланці
Великий
діаметр передпокої: 360 мм (14,2') або 400 мм (15,7'), довжина 600 мм (23,6')
З розсувним лотком
, дверцята з блокуванням шпинделя, вертикальне керування за допомогою підйомного механізму,
автоматичне керування через електромагнітні клапани
Діаметр малої передпокої
150 мм (5,9') або 100 мм (3,9'), довжина 300 мм (11,8')
Двері на петлях
Ручне керування через ручний клапан
Очищувач
Видалення H 2O та O 2 до менш ніж 1 ppm вологи та кисню
Блок поглинача: 5 кг мідного каталізатора, 5 кг молекулярного сита
Ємність для видалення кисню, 60 л, вологи 2000 г.
Інкапсульована повітродувка: 90 м 3/год.
Регенерація: ПЛК контролює всі процеси, включаючи нагрівання, введення змішаного газу (робочий газ, змішаний з воднем 5-10%) тощо.
системи керування : Siemens S7
PLC та HMI
Вакуумний насос
8 м 3/год Роторно-лопатевий насос з фільтром масляного туману та газовим баластом
Опції та аксесуари
Варіанти аксесуарів
Датчик вологи
Датчик кисню
Поглинач розчинника
Передпокій з підігрівом Холодильник
Мікроскоп
Холодний колодязь
Блок
Іонізатор без вентилятора
Різні канали проходження
Інші опції
Індивідуальні розміри ящиків
Інтеграція інструментів клієнта в бардачок, як-от випарник, система ALD і Spin Coater тощо.
Полікарбонатне вікно(а)
Швидкоз’ємне вікно(а)
Передпокій із блокуючими дверцятами
Невелика камера з висувним лотком
Продувка передпокою лише без вакууму
Наповнення передпокою з газового балона замість коробки
Прямокутна передпокій
Гнучкі полиці – регульований вгору та вниз – регульований вперед та назад
12 м3/год Роторний насос
Сухий спіральний насос
Швидке обслуговування
Переваги
Очисник високої потужності
Швидке видалення H 2O та O 2 до менш ніж 1 ppm
Довгі інтервали між циклами регенерації.
PLC Control і кольорового сенсорного HMI ;
Автоматичне очищення тираж; регенерація; Контроль тиску; Зручний інтерфейс.
Довговічний аналізатор вологи та кисню
P 2O 5 Датчик вологи: стійкий до корозії, поновлюється кислотним очищенням, якщо зонд забруднений HF або іншим корозійним впливом навколишнього середовища.
Z r O 2 Датчик кисню: міцний датчик, довгий термін служби, може піддаватися впливу повітря без споживання.
Налаштуйте бардачок спеціально для вашого застосування.
Наша команда інженерів може допомогти перетворити вашу ідею на рішення.
Газові труби та з’єднувачі з нержавіючої сталі.
Усі бардачки було оновлено до труб і з’єднувачів з нержавіючої сталі, які мають набагато більший корозійний захист для висококорозійного середовища.
