Od jednej do wielu stacji roboczych, uniwersalna komora rękawicowa VTI zapewnia przestrzeń i systemy potrzebne do utrzymania obojętnego środowiska, jednocześnie umożliwiając wykorzystanie na skalę produkcyjną. Wszystkie komory rękawicowe Universal są wyposażone w zintegrowany system oczyszczania gazów, elektronikę sterowaną przez sterownik PLC oraz ekran dotykowy HMI. Każde stanowisko robocze zawiera wymienny wziernik oraz (4) porty przelotowe KF40. Nasze standardowe konfiguracje obejmują przedsionki transferowe oraz pompę próżniową Edwards.
Wszystkie uniwersalne pudełka rękawicowe VTI charakteryzują się osiągalnym poziomem czystości <1 PPM O2 i H2O.
Cechy
Cyrkulacja gazu w zamkniętej pętli
Gaz obojętny w zamkniętej pętli. Gaz jest rozprowadzany przez dmuchawę i oczyszczacz, a H2O i O2 można usuwać w sposób ciągły.
Automatyczne oczyszczanie
Wymiana atmosfery w komorze rękawicowej może odbywać się automatycznie za pomocą zaworów oczyszczających.
Automatyczna regeneracja
Materiał usuwający H2O i O2 można regenerować. Proces regeneracji może być sterowany programowo.
Automatyczna kontrola ciśnienia
Ciśnienie w komorze rękawicowej jest kontrolowane automatycznie przez programowalny sterownik logiczny (PLC). Ciśnienie robocze można ustawić w zakresie od +15 mbar do -15 mbar lub od +12 mbar do -12 mbar. Jeśli ciśnienie przekroczy ustawiony zakres, system zostanie automatycznie chroniony.
Tryb Eco
Pompa próżniowa zostanie włączona automatycznie w razie potrzeby i wyłączy się po pewnym czasie bezczynności. Częstotliwość dmuchawy zostanie przełączona na 25 Hz, gdy poziom wilgoci i tlenu osiągnie mniej niż 1 ppm
Specyfikacje
Komora główna
Długość modułowa: 1220 mm/1500 mm/1800 mm/2440 mm (48,0”/59,1”/70,9”/96,0”)
Głębokość modułowa: 750 mm/1000 mm/1200 mm (29,5”/39,4”/47,2”)
Wysokość modułowa: 900 m (35,4”)
Materiał: stal nierdzewna stal typu 304, grubość 3 mm (1/8 cala)
Wzierniki: nachylone, szkło bezpieczne, grubość 8 mm (1/3 cala)
Porty rękawic: POM (polioksymetylen), średnica 220 mm (8,7 cala)
Rękawice: 8B1532
Filtr przeciwpyłowy: HEPA 0,3 μ, jeden wlot gazu, jeden wylot gazu
Półki: stal nierdzewna, dwie stałe półki (dostępne regulowane półki)
Oświetlenie: zewnętrzne światła LED, montowany z przodu nad wziernikiem
Przepusty: Jeden przepust zasilający, 3 zaślepki
Duża średnica przedsionka
: 360 mm (14,2 cala) lub 400 mm (15,7 cala), długość 600 mm (23,6 cala)
Z wysuwaną tacą
Drzwi z blokadą wrzeciona, Praca pionowa z mechanizmem podnoszącym
Automatyczna obsługa za pomocą zaworów elektromagnetycznych
Mała
komora przedsionkowa Średnica 150 mm (5,9 cala) lub 100 mm (3,9 cala), długość 300 mm (11,8 cala)
Drzwi na zawiasach
Sterowanie ręczne za pomocą zaworu ręcznego
Oczyszczacz
Usuwanie H 2O i O 2 do poziomu poniżej 1 ppm wilgoci i tlenu
Jednostka pochłaniacza: 5 kg Katalizator miedziany, 5 kg Sito molekularne
Wydajność usuwania tlenu, 60 l, wilgoć 2000 g.
Dmuchawa w obudowie: 90 m 3/h
Regeneracja: Sterowanie PLC całym procesem, w tym ogrzewaniem, wprowadzaniem mieszanki gazowej (gaz roboczy zmieszany z wodorem 5-10%) itp.
Sterowanie systemem
PLC i HMI: Siemens S7
Pompa próżniowa
8m 3/h Obrotowa pompa łopatkowa z filtrem mgły olejowej i balastem gazowym
Opcje i akcesoria
Akcesoria Opcje
Czujnik wilgoci
Czujnik tlenu
Pochłaniacz rozpuszczalnika
Podgrzewana
komora przednia Lodówka
Studnia chłodząca
Mikroskop
Jonizator bez wentylatora
Różne przepusty
Inne opcje
Niestandardowe rozmiary skrzynek
Integracja instrumentów klienta ze schowkiem rękawicowym, takich jak parownik, system ALD, powlekarka wirowa itp.
Okno z poliwęglanu
Okno z szybkozłączem
Przedkomora z drzwiami blokującymi
Mała komora z przesuwaną tacą
Czyszczenie przedsionka tylko bez próżni
Napełnianie przedsionka z butli z gazem zamiast z pudełka
Prostokątny przedsionek
Elastyczne półki – regulowane w górę i w dół – regulowane w przód i w tył
Pompa rotacyjna
Pompa suchego przewijania
Szybka obsługa
Zalety
Oczyszczacz o dużej wydajności
Szybkie usuwanie H 2O i O 2 do poziomu poniżej 1 ppm
Długie odstępy między cyklami regeneracji.
Sterowanie PLC i kolorowy ekran dotykowy HMI
Automatyczne oczyszczanie; Krążenie; Regeneracja; Kontrola ciśnienia; Przyjazny interfejs użytkownika.
Analizatory wilgoci i tlenu o długiej żywotności Czujnik wilgoci
P 2O 5 : Odporny na korozję, Możliwość odnowienia poprzez czyszczenie kwasem, jeśli sonda jest zanieczyszczona HF lub innym korozyjnym środowiskiem.
Z r O 2 Czujnik tlenu: Solidny czujnik, długa żywotność, może być wystawiony na działanie powietrza bez zużycia.
Dostosuj schowek rękawicowy specjalnie do swojego zastosowania.
Nasz zespół inżynierów może pomóc zamienić Twój pomysł w rozwiązanie.
Rury gazowe i złącza ze stali nierdzewnej
Wszystkie komory rękawicowe zostały zmodernizowane i wyposażone w rury i złącza ze stali nierdzewnej o znacznie wyższej odporności na korozję w środowisku silnie korozyjnym.
