단일 워크스테이션부터 다중 워크스테이션까지 VTI Universal 글러브 박스는 생산 규모 사용을 허용하면서 불활성 환경을 유지하는 데 필요한 공간과 시스템을 제공합니다. 모든 Universal 글러브 박스는 통합 가스 정화 시스템, PLC 제어 전자 장치 및 HMI 터치스크린을 제공합니다. 각 워크스테이션에는 교체 가능한 사이트 글라스와 (4) KF40 피드스루 포트가 포함되어 있습니다. 당사의 표준 구성에는 이송 대기실과 Edwards 진공 펌프가 포함됩니다.
모든 VTI 범용 글러브 박스는 달성 가능한 O2 및 H2O 순도가 1PPM 미만입니다.
특징
폐쇄 루프 가스 순환
폐쇄 루프의 불활성 가스. 가스는 송풍기와 정화기에 의해 순환되며, H2O, O2를 지속적으로 제거할 수 있습니다.
자동 퍼지
퍼지 밸브를 통해 글러브 박스 내부의 공기를 자동으로 교체할 수 있습니다.
자동 재생
H2O 및 O2 제거 물질을 재생시킬 수 있습니다. 재생 과정은 프로그램으로 제어할 수 있습니다.
자동 압력 제어
글로브 박스의 압력은 프로그래밍 가능 논리 컨트롤러(PLC)에 의해 자동으로 제어됩니다. 작동 압력은 +15mbar~-15mbar 또는 +12mbar~-12mbar 사이에서 설정할 수 있습니다. 압력이 설정 범위를 초과하면 시스템이 자동으로 보호됩니다.
에코 모드
진공 펌프는 필요할 때 자동으로 활성화되며 일정 시간 동안 유휴 상태가 되면 꺼집니다. 수분 및 산소 농도가 1ppm 미만이 되면 송풍기 주파수가 25Hz로 전환됩니다.
사양
메인 챔버
모듈 길이: 1220mm/1500mm/1800mm/2440mm(48.0'/59.1'/70.9'/96.0')
모듈 깊이: 750mm/1000mm/1200mm(29.5'/39.4'/47.2')
모듈 높이: 900m( 35.4')
재질: 스테인레스 스틸 유형 304, 두께 3mm(1/8')
투시창: 경사형, 안전 유리, 두께 8mm(1/3')
장갑 포트: POM(폴리옥시메틸렌), 220mm(8.7') 직경
장갑: 8B1532
먼지 필터: HEPA 0.3μ, 가스 흡입구 1개, 가스 배출구 1개
선반: 스테인리스강, 고정 선반 2개 (조절 가능한 선반 사용 가능)
조명: 외부 LED 조명, 전면 유리 위에 장착
피드스루: 전원 피드스루 1개, 블라인드 플랜지 3개
대형 대기실
직경: 360mm(14.2') 또는 400mm(15.7'), 길이 600mm(23.6')
슬라이딩 트레이 포함
스핀들 잠금 도어, 리프팅 메커니즘을 통한 수직 작동
솔레노이드 밸브를 통한 자동 작동
작은 대기실
직경 150mm(5.9') 또는 100mm(3.9'), 길이 300mm(11.8')
힌지 도어
핸드 밸브를 통한 수동 작동
정수기 H2O
제거 2및 O 2 수분 및 산소흡수제 1ppm 미만
단위: 5kg 구리촉매, 5kg 분자체 산소
제거 용량, 60L, 수분 2000g.
캡슐형 송풍기: 90m 3/h
재생: PLC는 가열, 혼합 가스 도입(수소 5-10% 혼합된 작동 가스) 등을 포함한 모든 프로세스를 제어합니다.
시스템 제어
PLC 및 HMI: Siemens S7
진공 펌프
8m 3/h 오일 미스트 필터 및 가스 밸러스트가 포함된 로터리 베인 펌프
옵션 및 액세서리
액세서리 옵션
수분 센서
산소 센서
용제 흡수기
가열식 대기실
냉장고
냉정
현미경
장치 팬이 없는 이오나이저
다양한 피드스루
기타 옵션
맞춤형 상자 크기
증발기, ALD 시스템 및 스핀 코터 등과 같은 고객 장비를 글러브박스에 통합
폴리카보네이트 창 퀵
릴리스
창 연동 도어가 있는 대기실
슬라이딩 트레이가 있는 소형 챔버
진공 없이만 대기실 퍼지
상자 대신 가스 실린더에서 대기실 재충전
직사각형 대기실
유연한 선반 - 위아래로 조정 가능 - 앞뒤로 조정 가능
12m3/h 로터리 펌프
건식 스크롤 펌프
신속한 서비스
장점
대용량 정수기 H2O
빠르게 제거합니다 2및 O 를 2 1ppm 미만으로
. 재생 주기가 길다.
PLC 제어 및 컬러 터치스크린 HMI
자동 퍼지; 순환; 재건; 압력 제어; 사용자 친화적인 인터페이스.
긴 수명의 수분 및 산소 분석기
P 2O 5 수분 센서: 부식 방지, 프로브가 HF 또는 기타 부식성 환경 노출로 오염된 경우 산 세척을 통해 재생 가능.
Z r O 2 산소 센서: 견고한 센서, 긴 수명, 소모 없이 공기에 노출될 수 있습니다.
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스테인레스 스틸 가스 파이프 및 커넥터
모든 글로브박스는 부식성이 높은 환경을 위해 훨씬 더 높은 부식 방지 기능을 갖춘 스테인레스 스틸 파이프 및 커넥터로 업그레이드되었습니다.
