단일 워크 스테이션에서 여러 워크 스테이션으로 VTI 범용 장갑 박스는 생산 규모의 사용을 허용하면서 비활성 환경을 유지하는 데 필요한 공간과 시스템을 제공합니다. 모든 범용 장갑 박스는 통합 가스 정제 시스템, PLC 제어 전자 제품 및 HMI 터치 스크린을 제공합니다. 각 워크 스테이션에는 교체 가능한 Sight Glass 및 (4) KF40 피드 스루 포트가 포함됩니다. 우리의 표준 구성에는 Edwards 진공 펌프뿐만 아니라 전송 Antechambers가 포함됩니다.
모든 VTI 범용 장갑 박스는 O2 및 H2O의 <1 ppm의 순도 레벨을 갖습니다.
특징
폐쇄 루프 가스 순환
불활성 가스가 폐쇄 루프. 가스는 송풍기에 의해 순환되고 정화기, H2O, O2는 연속적으로 제거 될 수있다.
자동 정화
장갑 상자 내부의 대기의 교체를 정화 밸브에 의해 자동으로 달성 할 수 있습니다.
자동 재생
H2O 및 O2 제거 재료를 재생할 수 있습니다. 재생 프로세스는 프로그램 제어 될 수 있습니다.
자동 압력 제어
글러브 박스의 압력은 프로그래밍 가능한 로직 컨트롤러 (PLC)에 의해 자동으로 제어됩니다. 작업 압력은 +15mbar와 -15mbar 또는 +12mbar와 -12mbar 사이에서 설정할 수 있습니다. 압력이 세트 범위를 넘어 서면 시스템이 자동으로 보호됩니다.
에코 모드
진공 펌프는 필요한 경우 자동으로 활성화되며 유휴 시간이 지나면 꺼집니다. 수분과 산소 수준이 1 ppm 미만으로 도달하면 송풍기 주파수가 25Hz로 전환됩니다.
S PECIFICATIOS
메인 챔버
모듈 식 길이 : 1220mm/1500mm/1800mm/2440mm (48.0 '/59.1 '/70.9 '/96.0 ')
모듈 식 깊이 : 750mm/1000mm/1200mm (29.5 '/39.4 '/47.2 ') 모듈
높이 : 900m (35. 4 ,”)
식 두께 3mm (1/8 ')
시력 창 : 경사, 안전 유리, 두께 8mm (1/3 ')
장갑 포트 : POM (폴리 옥시 메틸렌), 220mm (8.7 ') 직경
장갑 : 8B1532
먼지 필터 : HEPA 0.3μ, 1 가스 흡입구, 하나의 가스 출구 선반 :
(STAINS) (고정식 선반).
스테인리스 조명, 전면은 시력 유리 위에 장착
됩니다
대형 antechamber
직경 : 360mm (14.2 ') 또는 400mm (15.7 '), 길이 600mm (23.6 ')
슬라이딩 트레이
스핀들 잠금 도어,
솔레노이드 밸브를 통한 리프팅 메커니즘의 수직 작동
작은 antechamber
직경 150 mm (5.9 ') 또는 100mm (3.9 '), 길이 300mm (11.8 ')
힌지 도어 설명서 작동
핸드 밸브를 통한
정화기 제거
대한 H 2O 및 O 의 2 1 ppm 수분 및 산소 흡수 장치에
: 5kg 구리 촉매, 5kg 분자 체 용량, 산소를 제거하는 5kg 분자 체
용량, 60L, 수분 2000g.
캡슐화 된 송풍기 : 90m 3/h
재생 : PLC는 가열, 혼합 가스 소개 (수소와 혼합 된 가스 5-10%) 등을 포함한 모든 공정을 제어합니다.
시스템 제어
PLC 및 HMI : Siemens S7
진공 펌프
8m 3/h 오일 미스트 필터 및 가스 밸러스트가있는 로터리 베인 펌프
options 및 액세서리
액세서리 옵션
수분 센서
산소 센서
용매 흡수 가열
앤테 캠버
냉장고
차가운 우물성
현미경 유닛
이온제 팬이없는
다양한 피드 스루
기타 옵션
사용자 정의 된 상자 크기
증발기, ALD 시스템 및 스핀 코터 등과 같은 고객의 악기를 장갑 박스에 통합하는 다른 옵션
폴리 카보네이트 창 (S) 퀵 릴리즈 윈도우 (S) 퀵
윈도우 (S) 퀵
릴리즈
릴리치 챔버 슬라이딩 트레이 antechamber 퍼지가있는 작은 챔버
에서 개조 할 수 없습니다
가 가스 실린더로부터의 진공 앤 테크 캠버 리필에서만 앤 테크 캠버 퍼지가있는 작은
챔버 (S) 작은 챔버
가 가스 실린더
. 로타리 펌프
드라이 스크롤 펌프
프롬프트 서비스
dvantages
고용량 정화기 재생주기 사이에서 H
빠르게 제거합니다 .2O 및 O 를 2 1ppm 미만의
간격 으로
PLC 제어 및 컬러 터치 스크린 HMI
자동 퍼지; 순환; 재건; 압력 제어; 사용자 친화적 인 인터페이스.
장수 수분 및 산소 분석기
P 2O 5 수분 센서 : 프로브가 HF 또는 기타 부식성 환경 노출에 의해 오염 된 경우 산성 청소에 의해 부식성, 재생 가능.
Z R O 2 산소 센서 : 고체 센서, 장수는 소비없이 공기에 노출 될 수 있습니다.
응용 프로그램을 위해 특별히 글러브 박스를 사용자 정의하십시오.
우리의 엔지니어링 팀은 아이디어를 솔루션으로 바꾸는 데 도움이 될 수 있습니다.
스테인리스 스틸 가스 파이프 및 커넥터
모든 글러브 박스는 고도로 부식성 환경을 위해 훨씬 높은 부식성 방지 기능을 갖춘 스테인레스 스틸 파이프 및 커넥터로 업그레이드되었습니다.
