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ミクローナ
製品の特徴
オプションのIoTスマートシステムにより、モバイル制御やグローブボックスの一元管理が可能となり、安全・安心を実現します。デバイス ステータスのリアルタイム同期、機器データ レポートの記録、履歴データのクエリ、プロアクティブなアラーム通知、リモート デバイス デバッグ、オンライン障害診断と修理リクエスト、オンライン カスタマー サポートなどのインテリジェントな機能を提供し、すべてデバイスからアクセスできます。
制御システム: シーメンス PLC
精製装置: 単塔
水分含有量: <1 ppm
酸素含有量: <1 ppm
グローブボックスの漏れ量を手動で監視できます。
製品仕様
グローブボックスチャンバー
チャンバー
材質: 304 ステンレス鋼、厚さ 3 mm
外面: 304 ステンレス鋼
寸法: 1220 mm (長さ) x 750 mm (奥行き) x 900 mm (高さ)
フロントウィンドウ
傾斜表示窓: 透明強化安全ガラス、厚さ 8 mm
グローブポート
材質:POMまたはアルミニウム合金:Oリングシール
手袋
ブチルゴム: 厚さ 0.4 mm、直径 7' または 8'
フィルター
仕様:0.3μm(ろ過度)、ガス入口1ヶ所、ガス出口1ヶ所付き。
棚
材質: ステンレス鋼。内蔵棚2枚、高さ調節可能
チャンバー照明
構成: ライトカバー内に LED ランプが収納されています。
接続
仕様: DN40 KF フランジ、複数の予備ポート、1 つの電源接続
浄化システム
精製カラム
機能: 気密シールと水分と酸素の除去。
容器材質: 304 ステンレス鋼
精製材料: 銅触媒 5 kg、モレキュラーシーブ 5 kg
浄化能力:酸素除去60L、水分除去2kg。
仕様: 水分と酸素の含有量 < 1 ppm。
循環システム
作動ガス: 窒素、アルゴン、ヘリウム
再生
動作: 再生プロセスは PLC によって自動的に制御されます。
再生ガス:5~10%の水素を混合した作動ガス
真空ポンプ
仕様(流量):8m3/h、12m3/h(オプション)
ロータリーベーンポンプ:オイルミストフィルターと空気圧制振装置を搭載
バルブ
メインバルブ:DN40 KF電空アングルバルブ。
コントロールバルブ:一体型電磁弁。
前室
大前室
前室ボディ
寸法: 直径 360 mm、長さ 600 mm (オプションで直径 400 mm)。
材質: 304 ステンレス鋼
表面: 内部はオイルコーティングされたブラッシュ仕上げが特徴です。外装は塗装または鏡面仕上げからお選びいただけます。
b.付属品
トレイ:スライドトレイ
チャンバードア: 厚さ 10 mm のアルマイト処理されたアルミニウム合金製の両開きドア。昇降機構付きで垂直に操作されます。
圧力計:アナログ表示
c.コントロール
操作: 自動制御
小さな前室
前室ボディ
寸法: 直径 150 mm、長さ 300 mm (直径 100 mm はオプション)。
材質: 304 ステンレス鋼
表面: 内部はオイルコーティングされたブラッシュ仕上げが特徴です。外装は塗装または鏡面仕上げからお選びいただけます。
b.付属品
前室ドア:両開き
圧力計:アナログ表示
c.コントロール
操作: 手動操作
制御システム
ディスプレイ: シーメンス PLC タッチ スクリーン
機能: 自己診断機能、停電後の自動再起動、圧力制御および適応機能、自動制御、循環制御、およびパスワード保護が含まれます。
圧力制御: メインチャンバーとアンテチャンバーの両方の圧力を管理します。メインチャンバーの作動圧力は±15 mbarの範囲内で自由に設定できます。圧力が±16 mbar を超えて逸脱すると、システムは自動保護を作動させます。
フットスイッチ: チャンバー圧力はフットスイッチで調整できます。
データロガー: システムデータを自動的に記録します。
付属品
真空ポンプ
仕様:8m3/h、12m3/h、16m3/h
酸素濃度計
測定範囲:0~1000ppm
露点計
測定範囲:0~500ppm
昨日、電極コーティングは完璧に見えました。現在、電気化学的性能が変化し、インピーダンスが増加し、結果に一貫性がなくなりました。
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