See üksik tööjaamasüsteem on varustatud integreeritud gaasipuhastussüsteemiga (üks kolonn), PLC -kontroller (puutetundliku ekraaniga HMI -ga), elektroonika korpusega, suured ja väikesed antechambers, vahetatav vaateklaas ja vaakumpump, selle süsteemi saavutatav puhtus on H2O <1PPM, O2 <1PPM.
See süsteem hõlmab suurt mahutavusega puhastussüsteemi, mis on võimeline adsorbeerima 60L O2 ja absorbeerib 2000 g niiskust, mis pikendab teie aega regenereerimistsüklite vahel.
F EATUD
Suletud silmuse gaasi ringlus
inertgaas suletud silmuses. Gaasi ringleb puhuri ja puhastaja H2O, O2 saab pidevalt eemaldada.
Automaatne puhastamine
Atmosfääri asendamist kindalaekas saab automaatselt saavutada puhastusventiilide abil.
Automaatne regenereerimine
H2O ja O2 eemaldamismaterjali saab taastada. Taastumisprotsessi saab programmi juhtida.
Automaatne rõhu juhtimine
Kindakastis olevas rõhku juhitakse automaatselt programmeeritav loogikakontroller (PLC). Töörõhku saab seada kas +15 MBAR ja -15MBAR või +12 MBAR ja -12 MBAR vahel. Kui rõhk läheb üle seatud vahemiku, kaitstakse süsteem automaatselt.
Ökorežiim
Aktiveeritakse vaakumpump vajadusel automaatselt ja lülitub pärast jõudeolekut välja. Puhuri sagedus lülitatakse niiskuse ja hapniku tasemeni kuni 1 ppm, kui niiskuse ja hapniku tase
S täpsustused
Põhikambri mõõtmed
Pikkus: 1220mm (48,0 ')
Sügavus: 750mm (29,5 ')
Kõrgus: 900m (35,4 ')
Materjal: roostevabast terasest tüüp 304, paksus 3mm (1/8 ')
Aknad: VAATAMINE: Kinnitusega, turvaklaas, paksus 8mm (1/3 ')
, 8. POOM (POOM (POLOM (POLOM)) Läbimõõduga
kindad: 8b1532
tolmufilter: hepa 0,3 μ, üks gaasi sisselaskeava, üks gaasi väljalaskeava
riiulid: roostevaba teras, kaks fikseeritud riiulit (saadaval on reguleeritavad riiulid)
Valgustus: välised LED -tuled, eesmise klaasist ees.
Söötmed: üks võimsus, 3 pimedat libisemist
Suur õhutugi
läbimõõt: 360 mm (14,2 ') või 400mm (15,7 '), pikkus 600mm (23,6 ')
libiseva alusega
spindli lukuuksega, vertikaalne töö koos tõstemehhanismiga
Automaatne töös Solenoidventiili kaudu
Väike Antechamberi
läbimõõt 150 mm (5,9 ') või 100mm (3,9 '), pikkus 300mm (11,8 ')
Hingeukse
käsitsi kasutamine käsiklapi kaudu
H puhastatud
eemaldamine 2O ja O 2 vähem kui 1 ppm niiskuse ja hapniku
neelduja ühikuni: 5 kg vaskkatalüsaatorit, 5 kg molekulaarse sõela
võime hapniku eemaldamiseks, 60L, niiskus 2000g.
Kapseldatud puhur: 90m 3/h
regenereerimine: PLC kontrollib kogu protsessi, sealhulgas kuumutamist, segugaasi tutvustamist (töögaasi segatud vesinikuga 5-10%) jne.
Süsteemi juhtimine plc ja HMI: Siemens S7
Vaakumpump 8m 3/h pöörleva laba pumbaga õli udufiltriga ja gaasiballast
O Pirid ja lisaseadmed
Aksessuaarid Valikud:
niiskuseandur
hapnikuanduri
lahusti neeldur
kuumutatud
õhutõukaja külmkapp
Külm kaev
mikroskoobiüksuse
ionisaator ilma ventilaatorita
mitmesuguseid söödaid
Muud valikud:
kohandatud kastisuurused,
mis integreerides kliendi instrumendid kindakasti, nagu aurusti, ALD süsteem ja spinn Coater jne.
Polükarbonaadi aken (id)
Kiire vabastamise aken (id)
põimimise uks;
Väike kamber, mille libiseva
salves on ainult vaakumtamedata, ilma etcuum
Antechamber täidab gaasisilindrilt karbi asemel
ristkülikukujulise
painduva riiuli asemel - reguleeritav üles ja alla - reguleeritav edasi -tagasi
12m3/h Pöörduva pumba
kuiva kerimispumbaga
teenust
dvantaktA
Suure mahutavusega puhastusvahend H
eemaldamine 2O ja O 2 vähem kui 1 ppm
pikkade intervallideni regenereerimistsüklite vahel.
PLC juhtimine ja värviga puutetundlik HMI
automaatne puhastus; Ringlus; Regenereerimine; Rõhukontroll; Kasutajasõbralik liides.
Pika eluea niiskuse ja hapnikuanalüsaatorid
P 2o 5 Niiskuseandur: korrosioonikindel, taastuv happepuhastusega, kui sond on saastunud HF või muu söövitava keskkonnaga kokkupuute abil.
Z R O 2 hapnikuandur: tahke andur, pikk eluiga, võib õhuga kokku puutuda ilma tarbimiseta.
Kohandage kindakasti spetsiaalselt oma rakenduse jaoks.
Meie insenerimeeskond aitab teie idee lahenduseks muuta.
Roostevabast terasest gaasitorud ja pistikud
Kõik kindakastid on uuendatud roostevabast terasest torude ja pistikuteni, millel on palju kõrgem söövitavkindel väga söövitava keskkonna jaoks.
