Od jedné až po více pracovních stanic vám univerzální odkládací schránka VTI poskytuje prostor a systémy potřebné k udržení vašeho inertního prostředí a zároveň umožňuje použití ve výrobním měřítku. Všechny odkládací schránky Universal poskytují integrovaný systém čištění plynu, elektroniku řízenou PLC a dotykovou obrazovku HMI. Každá pracovní stanice obsahuje vyměnitelné průhledítko a také (4) průchozí porty KF40. Naše standardní konfigurace zahrnují přenosové předkomory a také vakuovou pumpu Edwards.
Všechny univerzální rukavicové boxy VTI mají dosažitelnou úroveň čistoty <1 PPM O2 a H2O.
F funkce
Cirkulace plynu v uzavřené smyčce
Inertní plyn v uzavřené smyčce. Plyn je cirkulován dmychadlem a čističkou, H2O, O2 lze průběžně odstraňovat.
Automatické proplachování
Výměnu atmosféry uvnitř odkládací přihrádky lze provést automaticky pomocí proplachovacích ventilů.
Automatická regenerace
Materiál pro odstraňování H2O a O2 lze regenerovat. Proces regenerace může být řízen programem.
Automatické řízení tlaku
Tlak v odkládací schránce je řízen automaticky programovatelným logickým ovladačem (PLC). Pracovní tlak lze nastavit mezi +15 mbar a -15 mbar nebo mezi +12 mbar a -12 mbar. Pokud tlak překročí nastavený rozsah, systém bude automaticky chráněn.
Režim Eco
Vakuová pumpa se v případě potřeby automaticky aktivuje a po určité době nečinnosti se vypne. Frekvence dmychadla se přepne na 25 Hz, když hladina vlhkosti a kyslíku dosáhne méně než 1 ppm
S specifikace
Modulární délka hlavní komory
: 1220 mm/1500 mm/1800 mm/2440 mm (48,0'/59,1'/70,9'/ 96,0')
Modulární hloubka: 750 mm/1000 mm/1200 mm (29,5'/39,4'
Výška Modular: 9,4'/4' 35,4')
Materiál: Nerezová ocel typ 304, tloušťka 3 mm (1/8')
Průzor: Šikmé, bezpečnostní sklo, tloušťka 8 mm (1/3')
Rukavice Porty: POM (Polyoxymethylen), 220 mm (8,7') Průměr
Rukavice: 8B1532
Prachový filtr: 3μ kryt: HEPA jeden plynový vývod
0 ocel. pevné police (k dispozici nastavitelné police)
Osvětlení: Externí LED světla, vpředu nad průhledem
Průchodky: Jedna napájecí průchodka, 3 zaslepovací příruby
Průměr velké předkomory
: 360 mm (14,2') nebo 400 mm (15,7'), Délka 600 mm (23,6')
S posuvným
tácem Dveře zámku vřetena, Vertikální provoz se zvedacím mechanismem
Automatický provoz pomocí elektromagnetických ventilů
Malý
průměr předsíně 150 mm (5,9') nebo 100 mm (3,9'), délka 300 mm (11,8')
Výklopné dveře
Ruční ovládání pomocí ručního ventilu
Čistička
Odstraňování H 2O a O 2 na méně než 1 ppm vlhkosti a kyslíku
Jednotka absorbéru: 5 kg měděný katalyzátor, 5 kg Molekulární síto
Kapacita k odstranění kyslíku, 60 l, vlhkost 2000 g.
Zapouzdřené dmychadlo: 90 m 3/h
Regenerace: PLC řídí celý proces včetně ohřevu, zavádění směsného plynu (pracovní plyn smíchaný s vodíkem 5-10%) atd.
Řízení systému
PLC a HMI: Siemens S7
Vakuové čerpadlo
8 m 3/ h Rotační lamelové čerpadlo s filtrem olejové mlhy a plynovým balastem
Možnosti a příslušenství
Příslušenství Volitelné příslušenství
Senzor vlhkosti
Senzor kyslíku
Absorbér rozpouštědla
Vyhřívaná předkomora
Chladnička
Chladící
jednotka mikroskopu
Ionizátor bez ventilátoru
Různé průchodky
Další možnosti
Přizpůsobené velikosti boxů
Integrace přístrojů zákazníka do odkládací schránky, jako je výparník, systém ALD a Spin Coater atd.
Polykarbonátová okna
Rychloupínací okna
Předsíň s blokovacími dveřmi
Malá komora s posuvným tácem
Čištění předsíně pouze bez podtlaku
Plnění předsíně z plynové láhve místo boxu a police
Obdélníková zadní
komora nastavitelná –1 zadní komora
/3 police nastavitelná
Rotační čerpadlo Suché spirálové čerpadlo
Rychlý servis
A výhody
Vysokokapacitní čistička
Rychlé odstranění H 2O a O 2 na méně než 1 ppm
Dlouhé intervaly mezi regeneračními cykly.
Ovládání PLC a barevný dotykový displej HMI
Automatické čištění; Oběh; Regenerace; regulace tlaku; Uživatelsky přívětivé rozhraní.
Analyzátory vlhkosti a kyslíku s dlouhou životností
P 2O 5 Snímač vlhkosti: Odolný proti korozi, obnovitelný kyselým čištěním, pokud je sonda kontaminována vysokofrekvenčním nebo jiným korozivním prostředím.
Z r O 2 Kyslíkový senzor: Pevný senzor, dlouhá životnost, lze vystavit vzduchu bez spotřeby.
Přizpůsobte si odkládací schránku speciálně pro vaši aplikaci
Náš technický tým vám může pomoci proměnit váš nápad v řešení.
Plynové potrubí a konektory z nerezové oceli
Všechny odkládací schránky byly modernizovány na trubky a konektory z nerezové oceli s mnohem vyšší odolností proti korozi pro vysoce korozní prostředí.
