Bekardan birden fazla iş istasyonuna, VTI Universal Torulum Kutusu, üretim ölçeği kullanımına izin verirken, inert ortamınızı korumak için gereken alan ve sistemleri sağlar. Tüm evrensel eldiven kutuları entegre bir gaz saflaştırma sistemi, PLC kontrollü elektronikler ve bir HMI dokunmatik ekran sağlar. Her iş istasyonu, değiştirilebilir görüş camı ve (4) KF40 besleme portlarını içerir. Standart konfigürasyonlarımız transfer antechambers ve bir Edwards vakum pompasını içerir.
Tüm VTI evrensel eldiven kutuları, <1 ppm O2 ve H2O elde edilebilir saflık seviyesine sahiptir.
Özellikler
Kapalı döngü gaz dolaşımı
kapalı bir döngüde inert gaz. Gaz üfleyici ve temizleyici tarafından dolaşır, H2O, O2 sürekli olarak çıkarılabilir.
Otomatik Temizleme
Atmosferin eldiven kutusunun içindeki değiştirilmesi, temizleme vanaları tarafından otomatik olarak elde edilebilir.
Otomatik rejenerasyon
H2O ve O2 çıkarma malzemesi yenilenebilir. Rejenerasyon süreci program kontrol edilebilir.
Otomatik Basınç Kontrolü
Eldiven kutusundaki basınç, programlanabilir mantık denetleyicisi (PLC) tarafından otomatik olarak kontrol edilir. Çalışma basıncı +15MBAR ve -15MBAR arasında veya +12MBAR ve -12MBAR arasında ayarlanabilir. Basınç ayarlanan aralığın üzerinden geçerse, sistem otomatik olarak korunacaktır.
Eko Modu
Vakum pompası gerektiğinde otomatik olarak etkinleştirilecek ve boşta kalma süresinden sonra kapatılacaktır. Nem ve oksijen seviyesi 1 ppm'den daha azına ulaştığında üfleyici frekansı 25Hz'e geçirilecektir.
Secifications
Ana Oda
Modüler Uzunluk: 1220mm/1500mm/1800mm/2440mm (48.0 '/59.1 '/70.9 '/96.0 ')
Modüler Derinlik: 750mm/1000mm/1200mm (29.5 '/39.4 '/47.2 ')
Modüler Yükseklik: 900M (35.4 )) Modüler Yükseklik: 900m (35.4 ))
Modüler Yükseklik: 4, STINSE: (1/8 ')
Görme Pencereleri: Eğimli, Güvenlik Camı, Kalınlık 8mm (1/3 ')
Eldiven Portları: POM (polioksimetilen), 220mm (8.7 ') Çap
Led
Eldivenler: HEPA 0.3μ, bir gaz girişi, bir gaz rafı
: Dışişsiz LED: Dışişsiz Led: Dışişsiz Led: Dışişsiz
: .
Cam
Büyük Antechamber Çapı: 360mm (14.2 ') veya 400mm (15.7 '),
uzunluk 600mm (23.6 ') , kaldırma mekanizması ile dikey çalışma,
kayar tepsi
iş mili kilit kapısı ile
solenoid kapaklar yoluyla otomatik çalışma
Küçük Antechamber
çapı 150 mm (5.9 ') veya 100mm (3.9 '), uzunluk 300mm (11.8 ') el valfı üzerinden
menteşeli kapı
kılavuzu
Saflaştırıcı
emici 2ünitesi 2 1 ppm'den az nem ve oksijen
: 5kg bakır katalizör, oksijeni uzaklaştırmak için 5kg moleküler elek
kapasitesi, 60L, Nem 2000g.
Kapsüllenmiş üfleyici: 90m 3/s
Rejenerasyon: PLC Kontrolü Isıtma, karışım gazını (hidrojenle%5-10 ile karıştırılmış çalışma gazı), vb.
Sistem Kontrolü
PLC ve HMI: Siemens S7
Vakum pompası
8m 3/sa döner kanat pompası yağ sisi filtresi ve gaz balastıyla
O Ptions ve Aksesuarlar
Aksesuar Seçenekleri
Nem Sensörü
Oksijen Sensörü
Solvent Emici
Isıtmalı Antekhamber
Buzdolabı
Soğuk Kuyu
Mikroskop Ünitesi
Ionizer Fan
Çeşitli Yem Yemleri
Diğer seçenekler
özelleştirilmiş kutu boyutları,
müşterinin enstrümanlarını buharlaştırıcı, ALD sistemi ve spin coater vb. Gibi eldiven kutusuna entegre eden diğer
seçenekler, polikarbonat pencereleri vb.
Serbest bırakma penceresi (ler),
kayan kaplı
küçük oda ile küçük oda ile antekhamber
, sadece vakum
yutma yerine gaz settinden
antechamber
yukarıya doğru ayarlanabilir ve ayarlanamayan küçük odalı küçük oda ve ayarlayın -
12m3/s Döner Pompa
Kuru Kaydırma Pompası
Hız Servisi
Bir dvantages
Yüksek kapasiteli temizleyici HO
hızlı bir şekilde uzaklaştırılması .2ve O'nun 2 1ppm'den daha az aralıklara
rejenerasyon döngüleri arasında
PLC kontrolü ve renk dokunmatik ekran HMI
otomatik temizleme; Dolaşım; Rejenerasyon; Basınç kontrolü; Kullanıcı dostu arayüz.
Uzun Yaşam Nem ve Oksijen Analizörleri
P 2O 5 Nem Sensörü: Korozyona Dayanıklı, Prob HF veya diğer aşındırıcı çevresel maruziyet ile kontamine ise asit temizleme ile yenilenebilir.
Z R O 2 oksijen sensörü: Katı sensör, uzun ömür, tüketim olmadan havaya maruz kalabilir.
Uygulamanız için özel olarak bir eldiven kutusunu özelleştirin
Mühendislik ekibimiz, fikrinizi bir çözüme dönüştürmeye yardımcı olabilir.
Paslanmaz çelik gaz boruları ve konektörleri
Tüm torpido kutuları, yüksek aşındırıcı ortam için çok daha yüksek aşındırıcı geçiren paslanmaz çelik borulara ve konektörlere yükseltildi.
