De la stații de lucru individuale la mai multe, torpedoul universal VTI vă oferă spațiul și sistemele necesare pentru a vă menține mediul inert, permițând în același timp utilizarea la scară de producție. Toate torpedoul Universal oferă un sistem integrat de purificare a gazelor, electronice controlate de PLC, precum și un ecran tactil HMI. Fiecare stație de lucru include vizor înlocuibil, precum și (4) porturi de trecere KF40. Configurațiile noastre standard includ antecamere de transfer, precum și o pompă de vid Edwards.
Toate cutiile de mănuși universale VTI au un nivel de puritate atins de <1 PPM de O2 și H2O.
Caracteristici
Circulația gazului în buclă închisă
Gaz inert într-o buclă închisă. Gazul este vehiculat de suflante și purificator, H2O, O2 poate fi îndepărtat continuu.
Purjare automată
Înlocuirea atmosferei din torpedo poate fi realizată automat prin supapele de purjare.
Regenerare automată
H2O și materialul de îndepărtare a O2 poate fi regenerat. Procesul de regenerare poate fi controlat prin program.
Controlul automat al presiunii
Presiunea din torpedo este controlată automat de controlerul logic programabil (PLC). Presiunea de lucru poate fi setată fie între +15mbar și -15mbar, fie între +12mbar și -12mbar. Dacă presiunea depășește intervalul setat, sistemul va fi protejat automat.
Mod Eco
Pompa de vid va fi activată automat când este necesar și se va opri după o perioadă de inactivitate. Frecvența suflantei va fi comutată la 25 Hz când nivelul de umiditate și oxigen ajunge la mai puțin de 1 ppm
Specificatii
Camera principală
Lungime modulară: 1220mm/1500mm/1800mm/2440mm (48.0'/59.1'/70.9'/ 96.0')
Adâncime modulară: 750mm/1000mm/1200mm (29.5'/59.1'/70.9'/ 96.0')
Adâncime modulară: 750mm/1000mm/1200mm
(29.5'/59.1'/70.9'/ 96.0') 35,4') Material: oțel inoxidabil tip 304
, grosime 3 mm (1/8')
Ferestre: înclinate, sticlă securizată, grosime 8 mm (1/3') Mănuși Porturi: POM (polioximetilenă), 220 mm (8,7') Diametru Mănuși
: 8B1532
, o ieșire de gaz HEPA
Oțel inoxidabil, două rafturi fixe (rafturi reglabile disponibile)
Iluminare: LED-uri exterioare, montate în față deasupra vizorului
Filtru de praf: 3 μ
Diametru mare al antecamerei
: 360 mm (14,2') sau 400 mm (15,7'), Lungime 600 mm (23,6')
Cu tavă glisantă
Ușă de blocare a arborelui, Funcționare verticală cu mecanism de ridicare
Funcționare automată prin electrovalve
Diametru mic al antecamerei
150 mm (5,9') sau 100 mm (3,9'), lungime 300 mm (11,8')
Ușă cu balamale
Operare manuală prin supapă manuală
Purificator
Eliminarea H 2O și O 2 la mai puțin de 1 ppm umiditate și oxigen
Unitate de absorbție: 5 kg catalizator de cupru, 5 kg sită moleculară
Capacitate de a elimina oxigenul, 60 L, umiditate 2000 g.
Suflantă încapsulată: 90 m 3/h
Regenerare: PLC controlează toate procesele, inclusiv încălzirea, introducerea gazului de amestec (gaz de lucru amestecat cu hidrogen 5-10%) etc.
de control al sistemului : Siemens S7
PLC și HMI
Pompa de vid
8m 3/h Pompa rotativa cu palete cu filtru de ceata de ulei si balast de gaz
Opțiuni și accesorii
Accesorii Opțiuni
Senzor de umiditate
Senzor de oxigen
Absorbant de solvenți
Antecamera încălzită
Frigider
Puț rece
Unitate de microscop
Ionizator fără ventilator
Diverse treceri
Alte opțiuni
Dimensiuni de cutie personalizate
Integrarea instrumentelor clientului în torpedo, cum ar fi evaporator, sistem ALD și Spin Coater etc.
12m3 /
h
Pompă
înainte
uscat
prompt
reglabilă
și înapoi
Pompă rotativă
de scroll
Service
Un avantaj
Purificator de mare capacitate
Îndepărtarea rapidă a H 2O și O 2 la mai puțin de 1 ppm
Intervale lungă între ciclurile de regenerare.
Control PLC și
purjare automată HMI cu ecran tactil color; Circulaţie; Regenerare; Controlul presiunii; Interfață prietenoasă cu utilizatorul.
Analizoare de umiditate și oxigen cu durată lungă de viață
P 2O 5 Senzor de umiditate: Rezistent la coroziune, Reînnoibil prin curățare cu acid dacă sonda este contaminată cu HF sau cu alte expuneri corozive ale mediului. Senzor de oxigen
Z r O 2 : Senzor solid, de lunga durata, poate fi expus la aer fara consum.
Personalizați o torpedou special pentru aplicația dvs.
Echipa noastră de ingineri vă poate ajuta să vă transformați ideea într-o soluție.
Conducte și conectori de gaz din oțel inoxidabil
Toate torpedourile au fost actualizate la țevi și conectori din oțel inoxidabil cu rezistență la coroziune mult mai mare pentru mediul extrem de coroziv.
