လက်အိတ်ပုံးရှိ ရေနှင့် အောက်ဆီဂျင်ပါဝင်မှု မည်ကဲ့သို့ 'တွေ့ရှိသည်'။

လစ်သီယမ်ဘက်ထရီ သုတေသနနှင့် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှု၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းပြင်ဆင်မှု၊ အော်ဂဲနစ် optoelectronics နှင့် ဓာတ်ကူပစ္စည်းပေါင်းစပ်မှုစသည့် နောက်ဆုံးပေါ်နယ်ပယ်များတွင်၊ တုံ့ပြန်မှုပစ္စည်းများသည် လေထဲတွင် အစိုဓာတ်နှင့် အောက်ဆီဂျင်ကို အလွန်အမင်း ထိခိုက်လွယ်သောကြောင့် စမ်းသပ်မှုများကို ပုံမှန်အားဖြင့် သန့်စင်မြင့်မားသော inert gas ပတ်ဝန်းကျင်တွင် ပြုလုပ်ကြသည်။ ဤပတ်ဝန်းကျင်ကို ပံ့ပိုးပေးသည့် ပင်မပစ္စည်းကိရိယာဖြစ်သောကြောင့်၊ လေဟာနယ်သန့်စင်သည့်လက်အိတ်အတွင်းမှ ရေနှင့် အောက်ဆီဂျင်ပါဝင်မှုကို ရှာဖွေခြင်းနှင့် ထိန်းချုပ်ခြင်းသည် စမ်းသပ်မှု၏အောင်မြင်မှု သို့မဟုတ် ကျရှုံးမှုကို တိုက်ရိုက်ဆုံးဖြတ်သည်။

ဒါဆို ဘယ်လောက် အတိအကျ ပြောရမလဲ။ လက်အိတ်သေတ္တာသည် ရေနှင့် အောက်ဆီဂျင် သဲလွန်စ ပမာဏကို ppm အဆင့် သိရှိနိုင်ပြီး၊ ၎င်းသည် အလွန်သန့်ရှင်းသော ပတ်ဝန်းကျင်ကို ကြာရှည်စွာ မည်သို့ ထိန်းသိမ်းထားသနည်း။

I. လက်အိတ်သေတ္တာများတွင် ရေနှင့် အောက်ဆီဂျင်ကို ရှာဖွေခြင်းအတွက် Core Sensor စည်းမျဉ်းများ

လက်အိတ်အတွင်းမှ ရေနှင့် အောက်ဆီဂျင်ပါဝင်မှုကို လွန်ကဲသောအဆင့် <1 ppm အထိ ထိန်းချုပ်ရန်၊ တိကျမှုမြင့်မားသော 'မျက်လုံး' သည် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သည်—အောက်ဆီဂျင်ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာစက်နှင့် နှင်းမှုန်အမှတ်ခွဲစက်။ စံနှုန်းတိကျသော inert gas glove box configurations တွင်၊ ဤအာရုံခံကိရိယာနှစ်ခု၏ တိုင်းတာမှုအကွာအဝေးနှင့် လည်ပတ်မှုယန္တရားသည် တင်းကျပ်သောနည်းပညာဆိုင်ရာလိုအပ်ချက်များရှိသည်။

1. အောက်ဆီဂျင်စုစည်းမှုကို အချိန်နှင့်တပြေးညီ စောင့်ကြည့်စစ်ဆေးခြင်း- အောက်ဆီဂျင်ဓာတ်ခွဲစက်

cleanroom လက်အိတ်သေတ္တာစနစ်များတွင်၊ သမားရိုးကျအောက်ဆီဂျင်ဓာတ်ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာကိရိယာများ၏ တိုင်းတာမှုအကွာအဝေးကို ပုံမှန်အားဖြင့် 0 မှ 1000 ppm ကြားတွင် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။

လုပ်ငန်းအခြေခံမူ- လက်ရှိတွင်၊ ပင်မချဉ်းကပ်နည်းသည် လျှပ်စစ်ဓာတုဗေဒနည်းလမ်းများ သို့မဟုတ် ဇာကိုနီယမ်အောက်ဆိုဒ်အစိုင်အခဲ အီလက်ထရိုလစ်များကို အသုံးပြုသည်။ ဥပမာတစ်ခုအနေဖြင့် လျှပ်စစ်ဓာတုအာရုံခံကိရိယာကိုအသုံးပြု၍ လက်အိတ်ပုံးထဲသို့ ဓာတ်ငွေ့များပျံ့နှံ့သွားပြီး အာရုံခံမျက်နှာပြင်သို့ရောက်ရှိသောအခါ အောက်ဆီဂျင်သည် လျော့ပါးလာသောတုံ့ပြန်မှုကိုရရှိကာ အားနည်းသောလျှပ်စီးကြောင်းကိုထုတ်ပေးပါသည်။ ဤလျှပ်စီးကြောင်း၏ ပြင်းအားသည် အောက်ဆီဂျင် ပြင်းအားနှင့် အချိုးကျပါသည်။ တိကျသောအချက်ပြအသံချဲ့ထွင်ခြင်းနှင့် ဒစ်ဂျစ်တယ်ကူးပြောင်းခြင်းမှတစ်ဆင့်၊ ထိန်းချုပ်မှုစနစ်သည် လက်အိတ်ပုံးအတွင်း အောက်ဆီဂျင်ပါဝင်မှုကို အချိန်နှင့်တပြေးညီ ပြသနိုင်သည်။

2. ခြေရာခံအစိုဓာတ်ကို တိကျစွာဖမ်းယူခြင်း- Dew Point Analyzer

အစိုဓာတ်သည် အောက်ဆီဂျင်ထက် ဓာတုနှောင်ကြိုးများနှင့် တက်ကြွသောသတ္တုများစွာအပေါ် ပို၍အကျိုးသက်ရောက်မှုရှိသောကြောင့်၊ လက်အိတ်များကို ပုံမှန်အားဖြင့် တိုင်းတာမှုအကွာအဝေး 0-500 ppm ရှိသော အလွန်အမင်းထိခိုက်လွယ်သောနှင်းပွိုင့်ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာသည့်ကိရိယာများကို တပ်ဆင်ထားပါသည်။

အလုပ်အခြေခံ- ဤနည်းလမ်းသည် အများအားဖြင့် capacitive သို့မဟုတ် impedance-based ပါးလွှာသောဖလင်အာရုံခံကိရိယာများကို အသုံးပြုသည်။ အာရုံခံမျက်နှာပြင်ကို အလွန်အမင်း ထိခိုက်လွယ်သော ပါးလွှာသော ဖလင်ကြားခံဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသည်။ ပတ်ဝန်းကျင်ရှိ ရေမော်လီကျူးများ၏ ခြေရာခံပမာဏကို စုပ်ယူခြင်း သို့မဟုတ် စုပ်ယူခြင်းခံရသောအခါ၊ ဖလင်၏ စွမ်းဆောင်ရည် သို့မဟုတ် impedance သည် အနည်းငယ် ပြောင်းလဲသွားသည်။ ဤပြောင်းလဲမှုများကို လျှပ်စစ်ဂုဏ်သတ္တိများကို တိကျစွာ တိုင်းတာခြင်းဖြင့်၊ စနစ်သည် ဓာတ်ငွေ့၏ နှင်းရည်မှတ်အပူချိန်ကို ပြောင်းပြန်တွက်ချက်ပြီး ၎င်းကို volumetric concentration အဖြစ်သို့ ပြောင်းလဲနိုင်သည်။

II ဉာဏ်ရည်ထက်မြက်သော ဆုံးဖြတ်ချက်ချခြင်း- အာရုံခံကိရိယာများနှင့် PLC စနစ်များအကြား ပေါင်းစပ်ညှိနှိုင်းမှုကို ထိန်းချုပ်ခြင်း။

ထောက်လှမ်းနိုင်စွမ်းရှိရုံမျှဖြင့် မလုံလောက်ပါ။ လက်အိတ်ဘောက်စ်သည် ရှာဖွေတွေ့ရှိထားသောဒေတာကို dynamic control commands အဖြစ် ပြောင်းလဲရန် လိုအပ်သည်။ ၎င်းသည် ဒေတာရယူမှုနှင့် ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာမှုအတွက် စက်မှုအဆင့်ထိန်းချုပ်မှုစနစ်တစ်ခု လိုအပ်ပါသည်။

ထိန်းချုပ်မှုဘောင်မှတဆင့် အော်ပရေတာများသည် အချိန်နှင့်တပြေးညီဒေတာကို အလိုလိုစောင့်ကြည့်ရုံသာမက၊ စနစ်သည် ကိုယ်တိုင်စမ်းသပ်စစ်ဆေးခြင်းနှင့် လိုက်လျောညီထွေရှိသော ယုတ္တိဗေဒဆိုင်ရာအစုံအလင်ကို လုပ်ဆောင်သည်- Dynamic Pressure Control and Adaptive Protection- သေးငယ်သောကွက်လပ်များ သို့မဟုတ် ရာဘာလက်အိတ်များမှတစ်ဆင့် ပြင်ပလေများစိမ့်ဝင်ခြင်းမှ ကာကွယ်ရန်၊ တည်ငြိမ်သော၊ အပြုသဘောဆောင်သောဖိအားအနည်းငယ်ကို သေတ္တာအတွင်းတွင် ထိန်းသိမ်းထားရပါမည်။ ပုံမှန်လည်ပတ်မှုအခြေအနေများအောက်တွင်၊ ဘောက်စ်၏အလုပ်ဖိအားကို ပုံမှန်အားဖြင့် +/- 15 mbar အတွင်း အတိအကျထိန်းချုပ်ထားသည်။ စနစ်သည် +/- 16 mbar ထက်ကျော်လွန်သော ပုံမှန်မဟုတ်သောဖိအားကို တွေ့ရှိသောအခါ၊ PLC သည် ဖိအားချိန်ခွင်လျှာကိုသေချာစေရန် လေထောက်ပံ့မှု သို့မဟုတ် ထုတ်ယူသည့်အဆို့ရှင်များကို ချိန်ညှိခြင်းဖြင့် PLC သည် ပြင်ပရေနှင့် အောက်ဆီဂျင်ဝင်ရောက်မှုဖြစ်နိုင်ခြေကို ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာအရ ဖြတ်တောက်မည်ဖြစ်သည်။

III ထောက်လှမ်းခြင်းမှ ဖယ်ရှားခြင်းအထိ- သန့်စင်မှု လည်ပတ်မှုစနစ်တွင် ပစ္စည်းအသွင်ပြောင်းခြင်း။

အာရုံခံကိရိယာများသည် လည်ပတ်မှု သို့မဟုတ် ပစ္စည်းဝင်/ထွက်မှုကြောင့် ရေနှင့် အောက်ဆီဂျင်ပမာဏ အတက်အကျများကို ထောက်လှမ်းမိသောအခါ၊ ဤသဲလွန်စအညစ်အကြေးများကို ဖယ်ရှားပစ်ရန် လက်အိတ်၏ လုပ်ငန်းစဉ်သည် ၎င်း၏ လည်ပတ်နေသော သန့်စင်ယူနစ်ပေါ်တွင် အဓိကအားကိုးသည်။

ကွင်းပိတ်လည်ပတ်မှုတွင်၊ ပေါင်းစည်းထားသောပန်ကာသည် သေတ္တာအတွင်းရှိဓာတ်ငွေ့ကို သီးခြားဓာတုနှင့် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ စုပ်ယူမှုဆိုင်ရာပစ္စည်းများဖြင့် ပြည့်နေသော သန့်စင်ကော်လံတစ်ခုအဖြစ် ညွှန်ကြားသည်-

Chemical Deoxygenation- သန့်စင်သောကော်လံကို ပုံမှန်အားဖြင့် အလွန်ထိရောက်သော ကြေးနီဓာတ်ကူပစ္စည်းဖြင့် ဖြည့်ထားသည်။ အောက်ဆီဂျင်ပါရှိသော ဓာတ်ငွေ့များ ဖြတ်သန်းသွားသောအခါ၊ ကြေးနီသည် အခန်းတွင်း အပူချိန်တွင် အောက်ဆီဂျင်နှင့် ဓာတ်ပြုပြီး ကော့ပါးအောက်ဆိုဒ်အဖြစ် 60 လီတာအထိ ဖြတ်သန်းသွားနိုင်သည်။

ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ရေဓာတ်ခန်းခြောက်ခြင်း- သန့်စင်ရေးကော်လံတွင်လည်း စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် မော်လီကျူးဆန်ခါများ ပမာဏ တူညီပါသည်။ ၎င်းတို့၏ထူးခြားသောသေးငယ်သောဖွဲ့စည်းပုံနှင့် အလွန်ဝင်ရိုးစွန်းမျက်နှာပြင်ကိုအသုံးပြု၍ ၎င်းတို့သည် ပုံမှန်အားဖြင့် 2 ကီလိုဂရမ်အထိ single-pass ရေဓာတ်ခန်းခြောက်နိုင်မှုနှင့်အတူ ဓာတ်ငွေ့အတွင်းရှိ ရေမော်လီကျူးများကို ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ စုပ်ယူပြီး ပိတ်လှောင်ထားသည်။

ဤမြင့်မားသော စီးဆင်းမှုနှုန်း စဉ်ဆက်မပြတ် အပြန်အလှန် လည်ပတ်လည်ပတ်မှုမှတစ်ဆင့်၊ လက်အိတ်ပုံးသည် သေတ္တာအတွင်းရှိ ရေနှင့် အောက်ဆီဂျင်ပမာဏ အလုံးစုံသန့်ရှင်းမှုအဆင့် <1 ppm တွင် တသမတ်တည်း ရှိနေကြောင်း သေချာစေပါသည်။

IV ရေရှည်ထောက်လှမ်းမှု တိကျမှုကို ထိန်းသိမ်းရန် အဓိကသော့ချက်- PLC အလိုအလျောက် ပြန်လည်ထုတ်လုပ်ခြင်း Logic

အသုံးပြုချိန် တိုးလာသည်နှင့်အမျှ သန့်စင်သည့်ပစ္စည်းသည် ရွှဲလာတတ်သည်၊ ထိုအချိန်တွင် အာရုံခံကိရိယာများမှ စောင့်ကြည့်သော ရေနှင့် အောက်ဆီဂျင်ဒေတာသည် အချိန်အခါအလိုက် တိုးလာမည်ဖြစ်သည်။ သန့်စင်မှုစနစ်၏ လုပ်ဆောင်ချက်ကို ပြန်လည်ရယူရန်၊ အချိန်အခါအလိုက် ပြန်လည်ရှင်သန်ခြင်းဆိုင်ရာ လုပ်ငန်းများကို လိုအပ်ပါသည်။

ခေတ်မီလက်အိတ်သေတ္တာများသည် ယေဘူယျအားဖြင့် PLC-ထိန်းချုပ်ထားသော အလိုအလျောက်ပြန်လည်ထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်ကို အကောင်အထည်ဖော်သည်- လျှော့ချခြင်းနှင့် စုပ်ယူခြင်း- ပြန်လည်ထုတ်လုပ်သည့်အဆင့်တွင်၊ ပုံမှန်အားဖြင့် အလုပ်လုပ်သောဓာတ်ငွေ့နှင့် ဟိုက်ဒရိုဂျင်ရောစပ်ထားသော ဓာတ်ငွေ့ရောနှောထားသော တိကျသောအချိုးအစားကို စနစ်ထဲသို့ ထည့်သွင်းပါသည်။ မြင့်မားသောအပူချိန်အပူပေးအခြေအနေအောက်တွင်၊ ဟိုက်ဒရိုဂျင်သည် သန့်စင်သောကော်လံရှိ ကြေးနီအောက်ဆိုဒ်နှင့် ဓာတ်ပြုပြီး ကြေးနီနှင့် ရေငွေ့များထွက်လာကာ ပြန်လည်ထုတ်လုပ်ထားသော စွန့်ပစ်ဓာတ်ငွေ့ဖြင့် စွန့်ထုတ်သောကြောင့် ကြေးနီဓာတ်ကို ပြန်လည်အသက်ဝင်လာစေသည်။ မော်လီကျူးဆန်ခါများသည် အပူချိန်မြင့်သောအပူဖြင့် စုပ်ယူထားသော အစိုဓာတ်ကို စုပ်ယူကာ စွန့်ထုတ်ကာ သန့်စင်မှုစနစ်၏ ပြန်လည်ဆန်းသစ်ခြင်းသံသရာကို ပြီးမြောက်စေသည်။

V. နိဂုံး

ဖုန်စုပ်စက်အတွင်း ရေနှင့် အောက်ဆီဂျင်ကို ထောက်လှမ်းထိန်းချုပ်ခြင်း။ လက်အိတ်သေတ္တာ သည် အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုတည်း၏ ရလဒ်မဟုတ်သော်လည်း 'တိကျသောထောက်လှမ်းခြင်း - အသိဉာဏ်ရှိသော ဆုံးဖြတ်ချက်ချခြင်း - ထိရောက်စွာဖယ်ရှားခြင်း' ကိုပေါင်းစပ်ထားသည့် အပိတ်ကွင်းပိတ်စနစ်ဖြစ်သည်။