ពីស្ថានីយការងារតែមួយទៅច្រើន ប្រអប់ស្រោមដៃ VTI Universal ផ្តល់ឱ្យអ្នកនូវកន្លែង និងប្រព័ន្ធដែលត្រូវការដើម្បីរក្សាបរិយាកាសអសកម្មរបស់អ្នក ខណៈពេលដែលនៅតែអនុញ្ញាតឱ្យប្រើប្រាស់ទំហំផលិតកម្ម។ ប្រអប់ស្រោមដៃសកលទាំងអស់ផ្តល់នូវប្រព័ន្ធបន្សុតឧស្ម័នរួមបញ្ចូលគ្នា គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចដែលគ្រប់គ្រងដោយ PLC ក៏ដូចជាអេក្រង់ប៉ះ HMI ។ ស្ថានីយការងារនីមួយៗរួមមានកញ្ចក់មើលឃើញដែលអាចផ្លាស់ប្តូរបាន ក៏ដូចជា (4) ច្រកបញ្ជូនបន្ត KF40 ។ ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធស្តង់ដាររបស់យើងរួមមាន Transfer antechambers ក៏ដូចជាម៉ាស៊ីនបូមធូលី Edwards ផងដែរ។
ប្រអប់ស្រោមដៃសកល VTI ទាំងអស់មានកម្រិតភាពបរិសុទ្ធដែលអាចទទួលបាន <1 PPM នៃ O2 និង H2O ។
F អាហារ
Closed Loop Gas Circulation
ឧស្ម័ន Inert នៅក្នុងរង្វង់បិទជិត។ ឧស្ម័នត្រូវបានចរាចរដោយផ្លុំនិងឧបករណ៍បន្សុទ្ធ H2O, O2 អាចត្រូវបានយកចេញជាបន្តបន្ទាប់។
ការសម្អាតដោយស្វ័យប្រវត្តិ
ការជំនួសបរិយាកាសនៅខាងក្នុងប្រអប់ស្រោមដៃអាចសម្រេចបានដោយស្វ័យប្រវត្តិដោយសន្ទះបិទបើក។
ការបង្កើតឡើងវិញដោយស្វ័យប្រវត្តិ
H2O និងសម្ភារៈដក O2 អាចបង្កើតឡើងវិញបាន។ ដំណើរការបង្កើតឡើងវិញអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយកម្មវិធី។
ការគ្រប់គ្រងសម្ពាធដោយស្វ័យប្រវត្តិ
សម្ពាធនៅក្នុងប្រអប់ស្រោមដៃត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយស្វ័យប្រវត្តិដោយ Programmable Logic Controller (PLC) ។ សម្ពាធការងារអាចត្រូវបានកំណត់រវាង +15mbar និង -15mbar ឬរវាង +12mbar និង -12mbar ។ ប្រសិនបើសម្ពាធលើសពីជួរដែលបានកំណត់នោះប្រព័ន្ធនឹងត្រូវបានការពារដោយស្វ័យប្រវត្តិ។
របៀបអេកូ
ម៉ាស៊ីនបូមធូលីនឹងត្រូវបានដំណើរការដោយស្វ័យប្រវត្តិនៅពេលចាំបាច់ ហើយនឹងបិទបន្ទាប់ពីរយៈពេលទំនេរ។ ប្រេកង់ផ្លុំនឹងត្រូវបានប្តូរទៅ 25Hz នៅពេលដែលកម្រិតសំណើម និងអុកស៊ីសែនឡើងដល់តិចជាង 1 ppm
Sលក្ខណៈពិសេស
ប្រវែងម៉ូឌុល អង្គជំនុំជម្រះចម្បង
៖ 1220mm/1500mm/1800mm/2440mm (48.0'/59.1'/70.9'/96.0')
ជម្រៅម៉ូឌុល: 750mm/1000mm/1200mm (29.5'/47.4ular)
900m (35.4')
សម្ភារៈ: ដែកអ៊ីណុកប្រភេទ 304, កម្រាស់ 3mm (1/8')
Sight Windows: Inclined, Safety Glass, thickness 8mm (1/3')
ស្រោមដៃ ច្រក: POM (Polyoxymethylene), 220mm (8.7')
ស្រោមដៃអង្កត់ផ្ចិត: 8B1532
ធូលីមួយ HE
ការដាក់ធ្នើរចេញ៖ ដែកអ៊ីណុក ធ្នើរថេរចំនួនពីរ (ធ្នើរដែលអាចលៃតម្រូវបាន)
ពន្លឺ៖ អំពូល LED ខាងក្រៅ ផ្នែកខាងមុខដែលដាក់នៅពីលើកញ្ចក់មើលឃើញ៖
ច្រកផ្តល់ថាមពលមួយ ផ្លុំពិការភ្នែក 3
អង្កត់ផ្ចិត Antechamber ធំ
៖ 360mm (14.2') ឬ 400mm (15.7') ប្រវែង 600mm (23.6')
ជាមួយនឹងថាសរុញ
ទ្វារចាក់សោ Spindle ប្រតិបត្តិការបញ្ឈរជាមួយនឹងយន្តការលើក
ប្រតិបត្តិការដោយស្វ័យប្រវត្តិតាមរយៈសន្ទះ solenoid
អង្កត់ផ្ចិត Antechamber តូច
150 mm (5.9') ឬ 100mm (3.9') ប្រវែង 300mm (11.8')
ទ្វារហ៊ីង
ប្រតិបត្តិការដោយដៃតាមរយៈសន្ទះដៃ
ឧបករណ៍បន្សុត
ការដក H 2O និង O 2 ឱ្យតិចជាង 1 ppm សំណើម និង អុកស៊ីសែន
អង្គភាពស្រូបយក: 5kg កាតាលីករទង់ដែង, 5kg sieve ម៉ូលេគុល
សមត្ថភាពដើម្បីយកចេញអុកស៊ីសែន, 60L, សំណើម 2000g ។
Encapsulated Blower: 90m 3/ h
ការបង្កើតឡើងវិញ៖ PLC គ្រប់គ្រងដំណើរការទាំងអស់រួមទាំងកំដៅ ការណែនាំឧស្ម័នចម្រុះ (ឧស្ម័នដែលធ្វើការលាយជាមួយអ៊ីដ្រូសែន 5-10%) ។ល។
ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រង
PLC និង HMI: Siemens S7
ម៉ាស៊ីនបូមធូលី
8m 3/h Rotary vane pump with oil mist filter and gas ballast
O ptions & Accessories
គ្រឿងបន្លាស់ ជម្រើស
ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសំណើម ឧបករណ៍
សញ្ញាអុកស៊ី សែន សារធាតុរំលាយ ស្រូបយក
ចាប់
កំដៅ Antechamber
ទូរទឹកកក
ត្រជាក់ អណ្តូង
មីក្រូទស្សន៍ ឯកតា
Ionizer ដោយគ្មានកង្ហារ
ការផ្តល់យោបល់ផ្សេងៗ
ជម្រើសផ្សេងទៀត
ទំហំប្រអប់ដែលប្ដូរតាមបំណង
ការរួមបញ្ចូលឧបករណ៍របស់អតិថិជនទៅក្នុងប្រអប់ស្រោមដៃ ដូចជាម៉ាស៊ីនរំហួត ប្រព័ន្ធ ALD និង Spin Coater ជាដើម។
បង្អួច Polycarbonate Window(s)
Quick Release Window(s)
Antechamber with interlocking door
បន្ទប់តូចជាមួយនឹងថាស
រអិល Antechamber purging តែដោយមិនមាន
បូមធូលីពីប្រអប់ Antechularamber ជំនួសវិញ
Antechamber
ធ្នើរដែលអាចបត់បែនបាន - លៃតម្រូវឡើងលើចុះក្រោម - អាចលៃតម្រូវថយក្រោយបាន
12m3/h Rotary pump
ម៉ាស៊ីនបូមរមូរស្ងួត
សេវាកម្មរហ័ស
មួយ។គុណសម្បត្តិ
ឧបករណ៍បន្សុតដែលមានសមត្ថភាពខ្ពស់
ការដកយកចេញយ៉ាងឆាប់រហ័សនៃ H 2O និង O 2 ទៅតិចជាង 1ppm
ចន្លោះពេលវែងរវាងវដ្តនៃការបង្កើតឡើងវិញ។
ការត្រួតពិនិត្យ PLC និងអេក្រង់ប៉ះពណ៌ HMI
ការសម្អាតដោយស្វ័យប្រវត្តិ; ឈាមរត់; ការបង្កើតឡើងវិញ; ការគ្រប់គ្រងសម្ពាធ; ចំណុចប្រទាក់អ្នកប្រើងាយស្រួល។
Long Life Moisture and Oxygen Analyzers
P 2O 5 Moisture Sensor: ធន់នឹងការច្រេះ អាចកកើតឡើងវិញបានដោយការសម្អាតអាស៊ីត ប្រសិនបើការស៊ើបអង្កេតត្រូវបានបំពុលដោយ HF ឬការប៉ះពាល់នឹងបរិស្ថានដែលច្រេះផ្សេងទៀត។ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអុកស៊ីសែន
Z r O 2 ៖ ឧបករណ៏រឹង អាយុកាលវែង អាចប៉ះពាល់នឹងខ្យល់ដោយមិនប្រើប្រាស់។
ប្ដូរប្រអប់ស្រោមដៃពិសេសសម្រាប់កម្មវិធីរបស់អ្នក
ក្រុមវិស្វកររបស់យើងអាចជួយបង្វែរគំនិតរបស់អ្នកទៅជាដំណោះស្រាយមួយ។
បំពង់បង្ហូរឧស្ម័នដែកអ៊ីណុក និងឧបករណ៍ភ្ជាប់
ប្រអប់ស្រោមដៃទាំងអស់ត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងទៅជាបំពង់ដែកអ៊ីណុក និងឧបករណ៍ភ្ជាប់ជាមួយនឹងសារធាតុច្រេះខ្ពស់ជាងសម្រាប់បរិស្ថានដែលមានភាពច្រេះខ្លាំង។