Жалғыз жұмыс станциясынан бірнеше жұмыс станциясына дейін VTI әмбебап қолғап қорабы өндіріс ауқымын пайдалануға рұқсат бере отырып, инертті ортаңызды сақтау үшін қажетті кеңістік пен жүйелерді қамтамасыз етеді. Барлық әмбебап қолғап қораптары біріктірілген газ тазарту жүйесін, PLC басқарылатын электрониканы, сондай-ақ HMI сенсорлық экранын қамтамасыз етеді. Әрбір жұмыс станциясы ауыстырылатын көру шынысын, сондай-ақ (4) KF40 беру порттарын қамтиды. Біздің стандартты конфигурацияларымызға тасымалдау алдындағы камералар, сондай-ақ Edwards вакуумдық сорғы кіреді.
Барлық VTI әмбебап қолғап қораптарында O2 және H2O <1 PPM қол жеткізуге болатын тазалық деңгейі бар.
Ерекше өзгешеліктері
Жабық контурдағы газ айналымы
Тұйық контурдағы инертті газ. Газ үрлегіш және тазартқыш арқылы айналады, H2O, O2 үздіксіз шығарылуы мүмкін.
Автоматты тазалау
Қолғап қорапшасының ішіндегі атмосфераны ауыстыруды тазалау клапандары арқылы автоматты түрде жасауға болады.
Автоматты регенерация
H2O және O2 кетіретін материалды қалпына келтіруге болады. Регенерация процесін бағдарламамен басқаруға болады.
Қысымды автоматты түрде басқару
Қолғап қорабындағы қысымды бағдарламаланатын логикалық контроллер (PLC) автоматты түрде басқарады. Жұмыс қысымын +15мбар мен -15мбар арасында немесе +12мбар мен -12мбар арасында орнатуға болады. Егер қысым белгіленген ауқымнан асып кетсе, жүйе автоматты түрде қорғалады.
Эко режимі
Вакуумдық сорғы қажет болғанда автоматты түрде іске қосылады және бос уақыт кезеңінен кейін өшеді. Ылғал мен оттегі деңгейі минутына 1 ppm-ден аз болған кезде үрлеу жиілігі 25 Гц-ке ауыстырылады.
S спецификациялары
Негізгі камера
Модульдік ұзындығы: 1220мм/1500мм/1800мм/2440мм ( 48,0'/59,1'/70,9'/ 96,0')
Модульдік тереңдік: 750мм/1000мм/1200мм (29,5'/39,5'/39.'
Модульдік биіктік: 900м( 35,4')
Материал: Тот баспайтын болат түрі 304, қалыңдығы 3мм (1/8')
Көру терезелері: көлбеу, Қауіпсіздік әйнегі, қалыңдығы 8мм (1/3')
Қолғаптар Порттар: POM (полиоксиметилен), 220 мм (8,7') Диаметрі
Қолғаптар: HE5
: HE5 филтр 0,3μ, бір газ кірісі, бір газ шығысы
Сөрелер: Тот баспайтын болат, екі бекітілген сөрелер (реттелетін сөрелер бар)
Жарықтандыру: сыртқы жарықдиодты шамдар, алдыңғы әйнектің үстіне орнатылған
беру жолдары: бір қуат беру, 3 жалюзи
Үлкен алдыңғы камераның
диаметрі: 360мм (14,2') немесе 400мм (15,7'), Ұзындығы 600мм (23,6')
Жылжымалы науасы бар
Шпиндельді құлыптау есігі, көтеру механизмімен тік жұмыс
Соленоидтық клапандар арқылы автоматты жұмыс
Кіші алдыңғы камераның
диаметрі 150 мм (5,9') немесе 100мм (3,9'), Ұзындығы 300мм(11,8')
Топсалы есік
Қол клапаны арқылы қолмен басқару
Тазартқыш
H 2O және O- ны 2 1 ppm-ден аз ылғал мен оттегі
сіңіргіш құрылғысы: 5 кг мыс катализаторы, 5 кг молекулалық елеуіш
Оттегін кетіру сыйымдылығы, 60 л, ылғалдылық 2000 г.
Инкапсулирленген үрлегіш: 90 м 3/сағ
Регенерация: PLC барлық процесті басқарады, соның ішінде қыздыру, қоспа газын енгізу (сутегімен араласқан жұмыс газы 5-10%) және т.б.
Жүйені басқару
PLC және HMI: Siemens S7
Вакуумдық сорғы
8 м 3/сағ май тұман сүзгісі және газ балласты бар айналмалы қалақшалы сорғы
O опциялар және керек-жарақтар
Аксессуарлар Опциялар
Ылғал сенсоры
Оттегі сенсоры
Еріткіш сіңіргіш
Жылытылатын камера алдындағы
тоңазытқыш
Суық ұңғыма
микроскоп қондырғысы
Желдеткішсіз ионизатор
Әртүрлі жіберулер
Басқа опциялар
Реттелетін қорап өлшемдері
Тұтынушының құралдарын буландырғыш, ALD жүйесі және айналдырғыш қаптама т.б. сияқты қолғап қорабына біріктіру.
Поликарбонатты терезе(лер)
Жылдам босататын терезе(лер)
Бір-бірімен жабылатын есігі бар алдыңғы камера
Жылжымалы науасы бар шағын камера Алдыңғы
вакуумсыз тазарту Алдыңғы
камераның орнына
камералық қорапты қайта тазарту
. Икемді сөрелер – жоғары және төмен реттеледі – алға-артқа реттелетін
12м3/сағ Айналмалы сорғы
Құрғақ айналдыру сорғы
Жедел қызмет көрсету
Артықшылықтары
Жоғары сыйымдылықты тазартқыш H
жылдам кетіру 2O және O 2 1 ppm-ден аз
Регенерация циклдері арасындағы ұзақ аралықтар.
PLC басқару және түсті сенсорлы экран HMI
автоматты тазалау; Айналым; регенерация; Қысымды бақылау; Пайдаланушыға ыңғайлы интерфейс.
Ұзақ қызмет ететін ылғал мен оттегі анализаторлары
P 2O 5 Ылғалдылық сенсоры: коррозияға төзімді, зонд ЖЖ немесе басқа коррозиялық қоршаған орта әсерінен ластанған болса, қышқылмен тазалау арқылы жаңартылады.
Z r O 2 Оттегі сенсоры: Қатты сенсор, ұзақ қызмет мерзімі, ауаға шығынсыз әсер етуі мүмкін.
Қолданбаңызға арнайы қолғап қорабын теңшеңіз.
Біздің инженерлік топ сіздің идеяңызды шешімге айналдыруға көмектеседі.
Тот баспайтын болаттан жасалған газ құбырлары және қосқыштар
Барлық қолғап қораптары тот баспайтын болаттан жасалған құбырларға және жоғары коррозиялық орта үшін коррозияға төзімділігі әлдеқайда жоғары қосқыштарға жаңартылды.
