UN
Quando l'azoto viene usato come gas di lavoro, viene utilizzato un gas di miscela di azoto/idrogeno (90-95% N2, 5-10% H2)
Quando l'argon viene usato come gas di lavoro, viene utilizzato un gas di miscela argon/idrogeno (90-95% AR, 5-10% H2)
Quando viene utilizzato l'elio come gas di lavoro, viene utilizzato un gas di miscela di elio/idrogeno (90-95%, 5-10% H2)
Il gas di rigenerazione del vano portaoggetti richiede una purezza del 99,999%. Per ciascun processo di rigenerazione, ogni colonna di purificazione MK100 contiene circa 3000-4000L (volume in condizioni standard) di gas misto '