Dalle postazioni di lavoro singole a quelle multiple, il vano portaoggetti VTI Universal offre lo spazio e i sistemi necessari per mantenere il vostro ambiente inerte pur consentendo l'utilizzo su scala di produzione. Tutte le scatole a guanti Universal forniscono un sistema integrato di purificazione del gas, elettronica controllata da PLC e un touchscreen HMI. Ogni stazione di lavoro include un vetro spia sostituibile e (4) porte passanti KF40. Le nostre configurazioni standard includono anticamere di trasferimento e una pompa per vuoto Edwards.
Tutti i vani portaoggetti universali VTI hanno un livello di purezza raggiungibile di <1 PPM di O2 e H2O.
Caratteristiche
Circolazione del gas a circuito chiuso
Gas inerte in un circuito chiuso. Il gas viene fatto circolare dal ventilatore e dal purificatore, H2O, O2 può essere rimosso continuamente.
Spurgo automatico
La sostituzione dell'atmosfera all'interno del vano portaoggetti può essere ottenuta automaticamente dalle valvole di spurgo.
Rigenerazione automatica
Il materiale per la rimozione di H2O e O2 può essere rigenerato. Il processo di rigenerazione può essere controllato dal programma.
Controllo automatico della pressione
La pressione nel vano portaoggetti è controllata automaticamente dal controllore logico programmabile (PLC). La pressione di esercizio può essere impostata tra +15 mbar e -15 mbar oppure tra +12 mbar e -12 mbar. Se la pressione supera l'intervallo impostato, il sistema verrà protetto automaticamente.
Modalità Eco
La pompa del vuoto si attiverà automaticamente quando necessario e si spegnerà dopo un periodo di inattività. La frequenza del ventilatore passerà a 25 Hz quando il livello di umidità e ossigeno raggiunge meno di 1 ppm
Specifiche
Camera principale
Lunghezza modulare: 1220mm/1500mm/1800mm/2440mm ( 48.0'/59.1'/70.9'/ 96.0')
Profondità modulare: 750mm/1000mm/1200mm (29.5'/39.4'/47.2')
Altezza modulare: 900m ( 35.4')
Materiale: Acciaio inossidabile tipo 304, spessore 3 mm (1/8')
Finestrelle: inclinate, vetro di sicurezza, spessore 8 mm (1/3')
Porte per guanti: POM (poliossimetilene), diametro 220 mm (8,7')
Guanti: 8B1532
Filtro antipolvere: HEPA 0,3μ, un ingresso gas, un'uscita gas
Scaffalature: Acciaio inossidabile, due ripiani fissi (disponibili ripiani regolabili)
Illuminazione: Luci LED esterne, anteriore montato sopra il vetro spia.
Passanti: un passante di alimentazione, 3 flange cieche
Diametro anticamera grande
: 360 mm (14.2') o 400 mm (15.7'), Lunghezza 600 mm (23.6')
Con
vassoio scorrevole Sportello con blocco del mandrino, funzionamento verticale con meccanismo di sollevamento
Funzionamento automatico tramite elettrovalvole
Anticamera piccola
Diametro 150 mm (5,9') o 100 mm (3,9'), Lunghezza 300 mm (11,8')
Porta a cerniera
Funzionamento manuale tramite valvola manuale
Purificatore
Rimozione di H 2O e O 2 a meno di 1 ppm di umidità e ossigeno
Unità di assorbimento: catalizzatore di rame da 5 kg, setaccio molecolare da 5 kg
Capacità di rimuovere ossigeno, 60 l, umidità 2000 g.
Ventilatore incapsulato: 90 m 3/h
Rigenerazione: il PLC controlla tutto il processo compreso il riscaldamento, l'introduzione del gas miscelato (gas di lavoro miscelato con idrogeno 5-10%), ecc.
PLC di controllo del sistema
e HMI: Siemens S7
Pompa per vuoto
8mt 3/h Pompa rotativa a palette con filtro per nebbie oleose e zavorra di gas
Opzioni &Accessori
Accessori Opzioni
Sensore di umidità
Sensore di ossigeno
Assorbitore solvente
Anticamera riscaldata
Frigorifero
Pozzetto freddo
Unità microscopio
Ionizzatore senza ventola
Vari passanti
Altre opzioni
Dimensioni della scatola personalizzate
Integrazione degli strumenti del cliente nel vano portaoggetti, come evaporatore, sistema ALD e Spin Coater ecc.
Finestra(e) in policarbonato
Finestra(e) a rilascio rapido
Anticamera con porta interbloccata
Piccola camera con vassoio scorrevole
Spurgo dell'anticamera solo senza vuoto
Riempimento dell'anticamera da bombola di gas invece che dalla scatola
Anticamera rettangolare
Scaffali flessibili – regolabili su e giù – regolabili avanti e indietro
12 m3/h Pompa rotativa
Pompa scroll a secco
Assistenza rapida
I vantaggi
Purificatore ad alta capacità
Rimozione rapida di H 2O e O 2 fino a meno di 1 ppm
Lunghi intervalli tra i cicli di rigenerazione.
Controllo PLC e HMI touchscreen a colori
Spurgo automatico; Circolazione; Rigenerazione; Controllo della pressione; Interfaccia intuitiva.
Analizzatori di umidità e ossigeno a lunga durata Sensore di umidità
P 2O 5 : resistente alla corrosione, rinnovabile mediante pulizia acida se la sonda è contaminata da HF o altra esposizione ambientale corrosiva. Sensore di ossigeno
Z r O 2 : sensore solido, di lunga durata, può essere esposto all'aria senza consumo.
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Tubi e connettori del gas in acciaio inossidabile
Tutti i vani portaoggetti sono stati aggiornati a tubi e connettori in acciaio inossidabile con una resistenza alla corrosione molto più elevata per ambienti altamente corrosivi.
