Az egy vagy több munkaállomástól a VTI Universal kesztyűtartó biztosítja a szükséges helyet és rendszereket a közömbös környezet fenntartásához, miközben lehetővé teszi a termelési léptékű használatot. Minden univerzális kesztyűtartó integrált gáztisztító rendszerrel, PLC vezérlésű elektronikával, valamint HMI érintőképernyővel rendelkezik. Minden munkaállomás cserélhető kémlelőüveggel, valamint (4) KF40 átvezető porttal rendelkezik. Szabványos konfigurációink tartalmazzák a transzfer előkamrákat, valamint egy Edwards vákuumszivattyút.
Minden VTI univerzális kesztyűtartó elérhető tisztasági szintje <1 PPM O2 és H2O.
F jellemzők
Zárt hurkú gázcirkuláció
Inert gáz zárt körben. A gázt a fúvó és a tisztító keringteti, a H2O, O2 folyamatosan eltávolítható.
Automatikus öblítés
A kesztyűtartón belüli légkör cseréje automatikusan megvalósítható az öblítőszelepekkel.
Automatikus regeneráció
A H2O és O2 eltávolító anyag regenerálható. A regenerációs folyamat programvezérelhető.
Automatikus nyomásszabályozás
A kesztyűtartóban lévő nyomást a programozható logikai vezérlő (PLC) automatikusan szabályozza. Az üzemi nyomás +15mbar és -15mbar, vagy +12mbar és -12mbar között állítható be. Ha a nyomás túllépi a beállított tartományt, a rendszer automatikusan védve lesz.
Eco mód
A vákuumszivattyú szükség esetén automatikusan működésbe lép, és egy bizonyos üresjárati idő után kikapcsol. A ventilátor frekvenciája 25 Hz-re kapcsol, ha a nedvesség és az oxigén szintje 1 ppm alá csökken
S specifikációk
Főkamra
Modulhossz: 1220mm/1500mm/1800mm/2440mm (48.0'/59.1'/70.9'/ 96.0')
Modulmélység: 750mm/1000mm/1200mm (29.5'/39.ar2:'/47.ar2:'/4)
900m (35.4')
Anyaga: 304-es típusú rozsdamentes acél, vastagság 3mm (1/8')
Nézőablakok: ferde, biztonsági üveg, vastagság 8mm (1/3')
Kesztyűcsatlakozók: POM (polioximetilén), 220mm (8.7') Átmérője gázkesztyű
:.
bemenet, egy gázkimenet
Polcok: Rozsdamentes acél, két fix polc (állítható polcok rendelhetők)
Világítás: Külső LED-es lámpák, elöl a kémlelőüveg fölé szerelve.
Átvezetések: Egy elektromos átvezetés, 3 vakkarima
Nagy előkamra
átmérő: 360mm (14.2') vagy 400mm (15.7'), Hossz 600mm (23.6')
Csúszó tálcával
Orsózár ajtó, Függőleges működés emelőmechanizmussal
Automatikus működés mágnesszelepeken keresztül
Kis előkamra
átmérője 150 mm (5,9') vagy 100 mm (3,9'), hossz 300 mm (11,8')
Csuklós ajtó
Kézi működtetés kézi szeleppel
Tisztító H
eltávolítása 2O és O 2 1 ppm-nél kevesebb nedvesség- és oxigénelnyelő
egység: 5 kg rézkatalizátor, 5 kg molekulaszita
Kapacitás oxigén eltávolítására, 60 l, nedvesség 2000 g.
Kapszulázott fúvó: 90m 3/h
Regenerálás: PLC vezérli az összes folyamatot, beleértve a fűtést, kevert gáz bevezetését (5-10%-os hidrogénnel kevert munkagáz stb.).
Rendszervezérlő
PLC és HMI: Siemens S7
Vákuumszivattyú
8m 3/h Forgólapátos szivattyú olajködszűrővel és gázballaszttal
O opciók és tartozékok
Tartozékok Opciók
Nedvesség érzékelő
Oxigén érzékelő
Oldószer abszorber
Fűtött előkamra
Hűtőszekrény
Hidegkút
mikroszkóp egység
Ionizáló ventilátor nélkül
Különféle átvezetések
Egyéb opciók
Személyre szabott dobozméretek
Vevő műszereinek beépítése a kesztyűtartóba, mint például elpárologtató, ALD rendszer és Spin Coater stb.
Polikarbonát ablak(ok)
Gyorskioldó ablak(ok)
Előkamra reteszelő ajtóval
Kis kamra tolótálcával
Előkamra öblítés csak vákuum nélkül F
utántöltő a Gastech box helyett.
Előkamra
polcok – fel-le állítható – előre-hátra állítható
12m3/h Rotációs szivattyú
Dry scroll pumpa
Gyors szerviz
Előnyök
Nagy kapacitású tisztító A H
gyors eltávolítása 2O és az O 2 1 ppm alá.
Hosszú időközök a regenerációs ciklusok között.
PLC vezérlés és színes érintőképernyős HMI
automatikus tisztítás; Keringés; Regeneráció; Nyomásszabályozás; Felhasználóbarát felület.
Hosszú élettartamú nedvesség- és oxigénelemzők
P 2O 5 nedvességérzékelő: Korrózióálló, Savas tisztítással megújítható, ha a szonda HF-vel vagy más korrozív környezeti expozícióval szennyezett.
Z r O 2 Oxigén érzékelő: Szilárd érzékelő, hosszú élettartamú, fogyasztás nélkül ki lehet téve a levegőnek.
Személyre szabott kesztyűtartót kifejezetten az Ön alkalmazásához
Mérnöki csapatunk segíthet abban, hogy ötletét megoldássá alakítsa.
Rozsdamentes acél gázcsövek és csatlakozók
Az összes kesztyűtartót rozsdamentes acél csövekre és csatlakozókra fejlesztették, amelyek sokkal nagyobb korrózióállósággal rendelkeznek a rendkívül korrozív környezet érdekében.
