Od pojedinačnih do više radnih stanica, VTI Universal Bove Box pruža vam prostor i sustave potrebne za održavanje vašeg inertnog okruženja, a istovremeno omogućava upotrebu proizvodnih skala. Sve Univerzalne kutije za rukavice pružaju integrirani sustav za pročišćavanje plina, PLC kontroliranu elektroniku, kao i HMI zaslon osjetljiv na dodir. Svaka radna stanica uključuje zamjenjivo staklo za vid, kao i (4) KF40 FEEDTROUGH MURDS. Naše standardne konfiguracije uključuju prijenosne predmete, kao i Edwards vakuumsku pumpu.
Sve VTI univerzalne kutije s rukavicama imaju dostižnu razinu čistoće <1 ppm O2 i H2O.
F
Inertni plin u zatvorenoj petlji
u zatvorenoj petlji u zatvorenoj petlji. Plin cirkulira puhanjem i pročišćivačem, H2O, O2 se može kontinuirano ukloniti.
Automatsko pročišćavanje
zamjene atmosfere unutar kutije za rukavice može se automatski postići ventilima za pročišćavanje.
Automatska regeneracija
H2O i O2 materijal za uklanjanje može se regenerirati. Proces regeneracije može se kontrolirati programom.
Automatska kontrola tlaka
Tlak u okviru za rukavice automatski se upravlja programiranim logičkim regulatorom (PLC). Radni tlak može se postaviti između +15mbar i -15mbar ili između +12mbar i -12mbar. Ako tlak pređe preko raspona, sustav će biti zaštićen automatski.
ECO način rada
Vakuumska pumpa će se automatski aktivirati kad je to potrebno, a isključit će se nakon razdoblja praznog hoda. Frekvencija puhanja prebačena će na 25Hz kada razina vlage i kisika dosegne manje od 1 ppm
S pecifikacije
Glavna komora
modularna duljina: 1220 mm/1500mm/1800mm/2440mm (48.0 '/59.1 '/70.9 '/96.0 ')
Modularna dubina: 750mm/1000mm/1200mm (29.5 '(39.4 , mod'/47 , 47,2 , 47,4 , 47,4 ,
, 3,5 ')
47,2 Debljina 3 mm (1/8 ')
Prozori vida: naginjeno, sigurnosno staklo, debljina 8 mm (1/3 ')
Lukavi rukavice: pom (polioksimetilen), 220 mm (8,7 ') Glova promjera
: 8B1532
Filter: HEPA FIKSINGES: Jedan ulaz s nehrđanjem, ulaz s nehrđanjem, sljeg, sljeg, ulaz s nehrđanjem,
sletve, jedan od nehrnih plinova, jedan od nehrnih plinova, jedan vanjski shelvet, jedan vanjski shelvel, jedan vanjski sljed, ulaz s
nehrđanjem, ulaz s nehrđanjem plin, ulaz s nehrđanjem plinova Prednji dio stakla
.
Veliki
promjer Antehambera: 360 mm (14.2 ') ili 400 mm (15.7 '), duljina 600 mm (23,6 ')
s kliznim
vratima za zaključavanje vretena, vertikalni rad s mehanizmom dizanja
automatskim radom putem solenoidnih ventila
Mali
promjer Antehambera 150 mm (5.9 ') ili 100 mm (3,9 '), dužina 300 mm (11,8 ') Priručnik za priručnicu
za zglobove
putem ručnog ventila
Uklanjanje pročišćivača
H 2O i O 2 na manje od 1 ppm
jedinice vlage i apsorbera kisika: 5 kg bakrenog katalizatora, 5 kg molekularnog sita
kapaciteta za uklanjanje kisika, 60L, vlaga 2000 g.
Inkapsulirani puhač: regeneracija od 90m 3/h
: PLC kontrola sav postupak, uključujući grijanje, uvođenje miks plina (radni plin pomiješan s vodikom 5-10%), itd.
Sustav kontrola
PLC i HMI: Siemens S7
Vakuumska pumpa
8m 3/h rotacijska pumpa s uljem s filtrom za maglu i plinskim balastom
O Ptice i pribor
Opcije dodataka
senzor vlage
senzora za kisik
, amortizer
grijani
mikroskopa ionizator
hladnjak hladnog
mikroskopa
bez ventilatora
različitih dovoda
Ostale opcije
prilagođene veličine kutija
koje integriraju instrumente kupca u kutiju s rukavicama, poput isparivača, sustava ALD i spin koater -a itd.
Polikarbonatni prozori (i)
prozori (i) za brzo otpuštanje
s isprepletenim vratima
s malim komorom s kliznom ladicom
čistiju samo unazad i
nadogradnje u okviru
Antechamber
, a navraćaju se i navrati u okviru
. Rotacijska pumpa
za suho svitak pumpa
brza usluga
Dvantage
Pročišćivanje visokog kapaciteta
Brzo uklanjanje H 2i O 2 na manje od 1 ppm
dugih intervala između ciklusa regeneracije.
PLC kontrola i zaslon u boji HMI
Automatsko čišćenje; Cirkulacija; Regeneracija; Kontrola tlaka; Korisničko sučelje.
Dugi životni analizator vlage i kisika
P 2o 5 senzor vlage: otporan na koroziju, obnovljiv je čišćenjem kiseline ako je sonda kontaminirana HF ili drugim korozivnim izlaganjem okolišu.
Z R O 2 senzor kisika: Čvrsti senzor, dugi život, može se izložiti zraku bez potrošnje.
Prilagodite okvir za rukavice posebno za vašu prijavu,
naš inženjerski tim može vam pomoći da vam ideju pretvori u rješenje.
Gasice i priključci od nehrđajućeg čelika
Svi kutije za rukavice nadograđuju se na cijevi i priključke od nehrđajućeg čelika s mnogo većim korozivnim otpornim za visoko korozivno okruženje.
