Yksittäisistä työasemajärjestelmistä, joita voidaan käyttää kummallakin puolella sivupuolella tai kasvotusten integroidun kaasunpuhdistusjärjestelmän (2 kytkentäpuhdistin), PLC-ohjaimen ja HMI: n kanssa, mukaan lukien. Suljetettu laatikko, sisään- ja ulospäin siirto antechamber, kaltevat käyttöpuolet vaihdettavalla näkölasilla ja tyhjiöpumpulla jne. Hankarelaatikon saavutettavissa oleva puhtaus on H2O <1ppm, O2 <1ppm.
Tämä järjestelmä sisältää suuren kapasiteetin puhdistusjärjestelmän, joka pystyy adsorbointiin 60 litraa O2: ta ja absorboi 2000 g kosteutta, joka pidentää aikaa regeneraatiosyklien välillä.
F -syötteet
Suljettu silmukan kaasun kiertolaite
kaasua suljetussa silmukassa. Kaasua kiertää puhallin ja puhdistin, H2O, O2 voidaan poistaa jatkuvasti.
Puhdasventtiilit
voidaan saavuttaa automaattisesti ilmakehän korvaamisen automaattisesti hansikkalaatikon sisällä.
Automaattinen uudistaminen
H2O- ja O2: n poistomateriaali voidaan uudistaa. Regenerointiprosessia voidaan ohjata ohjelman hallitsemiseksi.
Automaattinen paineen hallinta
Käsineen painetta ohjataan automaattisesti ohjelmoitava logiikkaohjain (PLC). Työpaine voidaan asettaa joko +15MBA: n ja -15MBA: n välillä tai välillä +12 mbar ja -12 mbar. Jos paine kulkee asetetun alueen yli, järjestelmä suojataan automaattisesti.
ECO -tila
tyhjiöpumppu aktivoituu automaattisesti tarvittaessa ja sammuu käyttämättömän ajan kuluttua. Puhaltimen taajuus vaihdetaan 25 Hz: iin, kun kosteus- ja happitaso nousee alle 1 ppm
S -oppifikaatiot
Pääkammion mitat
modulaarinen pituus: 1220mm/1500mm/1800mm/2440mm (48,0 '/59.1 '/70,9 '/96.0 ')
Modulaarinen syvyys: 750mm/1000mm/1200mm (29,5 '/39,4 '/47,2 ')
Modulaarinen korkeus: 900 m (35.4 ')
Moduulit 304, paksuus 304, paksuus 35. (1/8 ')
Näköikkunat: kaltevat, turvalasit, paksuus 8 mm (1/3 ')
käsineportit: pom (polyoksimetyleeni), 220 mm (8,7 ') halkaisijaltaan
käsineet: 8b1532
pölysuodatin: HEPA 0,3 μ, yksi kaasun sisääntulo, yksi kaasun
poistohylly: Piiloton teräs, kaksi kiinteää hyllyä
.
Syöttötapahtumat: Yksi virransyöttö, 3 sokeaa leimaa
Suuri antechamberin
halkaisija: 360 mm (14,2 ') tai 400 mm (15,7 '), pituus 600 mm (23,6 ')
liukuvalojen
karan lukon ovella, pystysuuntainen toiminta nostomekanismin
automaattisella toiminnalla solenoidiventtiilien kautta
Pieni anticamber
-halkaisija 150 mm (5,9 ') tai 100 mm (3,9 '), pituus 300 mm (11,8 ')
saranoidun oven
käsikirjan käyttö käsinventtiilin kautta
H kaksoispuhdistimen
poisto 2O: n ja O: n 2 alle 1 ppm kosteuden ja hapen
absorboiva yksikkö: 5 kg kuparikatalyytti, 5 kg: n molekyyliseula
kapasiteetti hapen poistamiseen, 60L, kosteus 2000 g.
Kapseloitu puhaltin: 90 m 3/h
Regeneraatio: PLC-ohjaus KAIKKI PROSESSION, mukaan lukien lämmitys, sekoituskaasun käyttöönotto (työkaasu sekoitettuna vedyn kanssa 5-10%) jne.
System Control
PLC ja HMI: Siemens S7
Tyhjiöpumppu
8m 3/h kiertävä siipipumppu öljysumujen suodattimella ja kaasupainolastilla
O Ptions & Acjekerit
Lisävarusteet Vaihtoehdot
kosteusanturin
happeaanturin
liuotinvaimennin
lämmitetty antekamberin
jääkaapin
kylmäkaivojen
mikroskooppiyksikkö
ionisaattori ilman puhaltaa
erilaisia syöttöä
Muut vaihtoehdot
Räätälöidyt laatikkokoot,
jotka integroivat asiakkaan instrumentit hansikaslaatikkoon, kuten höyrystimen, ALD -järjestelmän ja spin -päällystysten jne.
Polykarbonaatti -ikkunat (t)
Quick Release -ikkunat (t)
anticamberilla, jossa on lukittu oven
pienen kammion kanssa, jossa
on liukualusta anticamberin puhdistaminen vain ilman tyhjiötapausta, joka täyttyvät ja
säätävät kaasun sylinterin
sylinterin - säätämällä kaasun sylinteriä
- säätävät ja säätävät kaasun
12m3/h kiertopumpun
kuiva vierityspumpun
kehotepalvelu
DVANTAGES
H suuren kapasiteetin puhdistaja
nopea poisto 2O: n ja O: n 2 alle 1 ppm
pitkien väliajojen välillä regeneraatiosyklien välillä.
PLC -ohjaus- ja värillisen näytön HMI
-automaattinen puhdistus; Kierto; Uudistaminen; Paineenhallinta; Käyttäjäystävällinen käyttöliittymä.
Pitkän käyttöiän kosteus- ja happeaanalysaattorit
P 2O 5 Kosteusanturi: Korroosionkestävä, uusiutuva happopuhdistamalla, jos koetin on saastunut HF: n tai muun syövyttävän ympäristöaltistuksen avulla.
Z R o 2 happeaanturi: Kiinteä anturi, pitkä käyttöikä, voidaan altistua ilmalle ilman kulutusta.
Mukauta hansikaslaatikko erityisesti sovellukseesi, jonka
tekniikkatiimimme voi auttaa muuttamaan ideasi ratkaisuksi.
Vertaustaruskaasuputket ja liittimet
Kaikki hansikkaatboksit on päivitetty ruostumattomasta teräksestä valmistettuihin putkiin ja liittimiin, joilla on paljon suurempi syövyttävät kestävät erittäin syövyttävät ympäristössä.
