A இன் பொருள் கையுறைகள் உள்ள கையுறை பெட்டி சோதனையில் குறிப்பிடத்தக்க தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது, ஏனெனில் இது கையுறை பெட்டியின் உள்ளே உள்ள சூழலுடன் பரிசோதனையாளர் நேரடியாக தொடர்பு கொள்ளும் பகுதியாகும். கையுறை பொருள் அதனுடன் தொடர்பு கொள்ளக்கூடிய பல்வேறு இரசாயனங்களை எதிர்ப்பதற்கு நல்ல இரசாயன எதிர்ப்பைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். இதற்கிடையில், அவை நீடித்த பயன்பாடு மற்றும் அடிக்கடி செயல்படுவதைத் தாங்குவதற்கு போதுமான ஆயுள் இருக்க வேண்டும். கூடுதலாக, கையுறை பெட்டியில் உள்ள வாயு தூய்மை மற்றும் சுற்றுச்சூழல் கட்டுப்பாட்டை பாதிக்கும் வெளிப்புற காற்று மற்றும் மாசுபடுத்திகள் கையுறை பெட்டியில் நுழைவதைத் தடுக்க கையுறைகளின் பொருள் குறைந்த சுவாசத்தைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். கையுறைகளின் நெகிழ்வுத்தன்மை மற்றும் தொட்டுணரக்கூடிய உணர்வும் முக்கியமானது, ஏனெனில் அவை சோதனை நடவடிக்கைகளின் துல்லியம் மற்றும் வசதியைப் பாதிக்கின்றன. கையுறைகளின் பொருள் தேர்வு முறையற்றதாக இருந்தால், அது சோதனை மாசு அல்லது கையுறை சேதத்திற்கு வழிவகுக்கும், இதன் மூலம் சோதனை முடிவுகளின் நம்பகத்தன்மை மற்றும் பாதுகாப்பை பாதிக்கலாம்.

ஒரு தி கையுறை பெட்டி வடிவமைப்பு நீண்ட கால சோதனைகளை ஆதரிக்கும், குறிப்பாக நிலையான மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட சூழல்கள் தேவைப்படும். அதன் சீல் மற்றும் உள் சுற்றுச்சூழல் கட்டுப்பாட்டு திறன்கள், நீரற்ற மற்றும் காற்றில்லா நிலைமைகளின் கீழ் நீண்ட கால பொருள் செயலாக்கம் அல்லது இரசாயன தொகுப்புகளை மேற்கொள்ள பரிசோதனையாளர்களை அனுமதிக்கிறது. இருப்பினும், நீண்ட கால சோதனைகளின் போது, ​​முத்திரைகள் உட்பட, கையுறை பெட்டியின் பல்வேறு கூறுகளை தொடர்ந்து ஆய்வு செய்து பராமரிப்பது அவசியம். எரிவாயு சுத்திகரிப்பு அமைப்புகள் , மற்றும் கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகள், சோதனை சூழலின் நிலைத்தன்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்ய.

செமிகண்டக்டர் சாதனங்களின் உற்பத்தி செயல்பாட்டில், பல படிநிலைகள் ஃபோட்டோலித்தோகிராபி, பொறித்தல் மற்றும் படிவு போன்ற சுற்றுச்சூழல் நிலைமைகளுக்கு மிகவும் உணர்திறன் கொண்டவை. தி கையுறை பெட்டி கட்டுப்படுத்தக்கூடிய, நீர் இல்லாத மற்றும் ஆக்ஸிஜன் இல்லாத சூழலை வழங்குகிறது, இது பொருள் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் நீராற்பகுப்பைத் தடுக்க உதவுகிறது, செயல்முறையின் துல்லியம் மற்றும் சாதனத்தின் செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. கூடுதலாக, கையுறை பெட்டிகள் உணர்திறன் குறைக்கடத்தி பொருட்களை சேமிக்கவும் சுற்றுச்சூழல் காரணிகளிலிருந்து பாதுகாக்கவும் பயன்படுத்தப்படலாம். குறைக்கடத்தி துறையில், கையுறை பெட்டிகளின் பயன்பாடு உற்பத்தி திறன் மற்றும் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்தியுள்ளது, மேலும் உயர் துல்லியமான உற்பத்தியை அடைவதற்கான முக்கிய உபகரணங்களில் ஒன்றாகும்.

A இல் உள்ள சுத்திகரிப்பு நெடுவரிசை கையுறை பெட்டி என்பது வாயுக்களில் இருந்து அசுத்தங்களை அகற்ற பயன்படும் ஒரு சாதனம் ஆகும், இது உடல் உறிஞ்சுதல் அல்லது இரசாயன எதிர்வினைகள் மூலம் வாயுக்களை சுத்தப்படுத்துகிறது. சுத்திகரிப்பு நெடுவரிசைகள் பொதுவாக செயல்படுத்தப்பட்ட கார்பன், மூலக்கூறு சல்லடைகள் அல்லது பிற உறிஞ்சிகளால் நிரப்பப்படுகின்றன, அவை அதிக குறிப்பிட்ட பரப்பளவைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் அவை நீராவி, ஆக்ஸிஜன் மற்றும் வாயுக்களில் உள்ள பிற கரிம அல்லது கனிம அசுத்தங்களை திறம்பட உறிஞ்சும். வாயு சுத்திகரிப்பு நெடுவரிசையின் வழியாக செல்லும் போது, ​​அசுத்த மூலக்கூறுகள் உறிஞ்சி மூலம் கைப்பற்றப்பட்டு, அதன் மூலம் வாயு சுத்திகரிப்பு அடையும். சுத்திகரிப்பு நெடுவரிசையின் செயல்பாட்டுக் கொள்கை எளிமையானது மற்றும் பயனுள்ளது, மேலும் இது கையுறை பெட்டியின் உள்ளே வாயு தூய்மையை பராமரிப்பதற்கான ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். சுத்திகரிப்பு விளைவைப் பராமரிக்க, உறிஞ்சுதல் செறிவூட்டல் மற்றும் செயல்திறன் சிதைவைத் தவிர்க்க, சுத்திகரிப்பு நெடுவரிசையில் உள்ள உறிஞ்சியை தொடர்ந்து மாற்ற வேண்டும் அல்லது மீண்டும் உருவாக்க வேண்டும்.

A இன் பராமரிப்பு சுழற்சி கையுறை பெட்டி ஒவ்வொரு கூறுகளின் வகை மற்றும் பயன்பாட்டின் அதிர்வெண்ணைப் பொறுத்தது. பொதுவாக, முத்திரைகள் மற்றும் போன்ற வாய்ப்புள்ள கூறுகளை அணியுங்கள் கையுறைகளுக்கு அடிக்கடி ஆய்வு மற்றும் மாற்றுதல் தேவைப்படலாம், மேலும் ஒவ்வொரு ஆறு மாதங்களுக்கும் அல்லது ஒரு வருடத்திற்கும் ஆய்வுகளை நடத்த பரிந்துரைக்கப்படுகிறது. போன்ற முக்கிய கூறுகள் வெற்றிட குழாய்கள், எரிவாயு சுழற்சி அமைப்புகள் மற்றும் கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகள் உற்பத்தியாளரின் பரிந்துரைகளின்படி தொடர்ந்து பராமரிக்கப்பட வேண்டும், இதில் காலாண்டு அல்லது வருடாந்திர செயல்திறன் சோதனைகள் மற்றும் சுத்தம் ஆகியவை அடங்கும். செயல்படுத்தப்பட்ட கார்பன் மற்றும் மூலக்கூறு சல்லடை போன்ற வாயு சுத்திகரிப்பு பொருட்களுக்கு, அவற்றின் மாற்று சுழற்சி பயன்பாடு மற்றும் செறிவூட்டலைப் பொறுத்தது, மேலும் செயல்திறன் சிதைவு காணப்பட்டால் மாற்றப்பட வேண்டியிருக்கும். வழக்கமான பராமரிப்பு, கையுறை பெட்டியின் நீண்ட கால நிலையான செயல்பாட்டையும், சோதனைகளின் சீரான முன்னேற்றத்தையும் உறுதிப்படுத்த உதவுகிறது.

A இன் அளவு கையுறை பெட்டி சோதனையில் தாக்கத்தை ஏற்படுத்தும். ஒரு பெரிய கையுறை பெட்டி அதிக உபகரணங்கள் மற்றும் பொருட்களை இடமளிக்கும், இது பெரிய அளவிலான அல்லது பல-படி சோதனை நடவடிக்கைகளுக்கு ஏற்றதாக இருக்கும். சிறிய கையுறை பெட்டிகள் வரையறுக்கப்பட்ட இடம் அல்லது சிறிய அளவிலான சோதனைகளுக்கு ஏற்றது. தேவையான இயக்க இடம், உபகரண அளவு மற்றும் சோதனைப் பொருட்களின் அளவு உள்ளிட்ட பரிசோதனையின் குறிப்பிட்ட தேவைகளின் அடிப்படையில் அளவு தேர்வு செய்யப்பட வேண்டும். மிகப் பெரிய அல்லது மிகச்சிறிய கையுறை பெட்டிகள் சோதனை திறன் மற்றும் செயல்பாட்டு வசதியைப் பாதிக்கலாம். கூடுதலாக, கையுறை பெட்டியின் அளவு அதன் ஆற்றல் நுகர்வு மற்றும் பராமரிப்பு செலவுகளையும் பாதிக்கலாம்.

A உள்ளே உள்ள ஆக்ஸிஜன் மற்றும் நீராவியை அகற்றுதல் கையுறை பெட்டியை முக்கியமாக நைட்ரஜன் அல்லது ஆர்கான் போன்ற மந்த வாயு மூலம் கையுறை பெட்டியை நிரப்புவதன் மூலம் அடையப்படுகிறது, கையுறை பெட்டியில் உள்ள அசல் வாயுவை மாற்றவும், பின்னர் ஒரு எரிவாயு சுத்திகரிப்பு அமைப்பு , செயல்படுத்தப்பட்ட கார்பன் வடிகட்டிகள் அல்லது மூலக்கூறு சல்லடைகள் உட்பட, மீதமுள்ள ஆக்ஸிஜன் மற்றும் நீராவியை மேலும் உறிஞ்சி அகற்றி, பெட்டியின் உள்ளே சுற்றுச்சூழலின் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது.

சோதனைகள் அதிக ஈரப்பதம் கட்டுப்பாடு தேவைப்படும் கையுறை பெட்டிகள் பொதுவாக ஈரப்பதத்திற்கு உணர்திறன் கொண்ட பொருட்கள் அல்லது நீர் நீராவி குறுக்கீட்டைத் தடுக்க வேண்டிய இரசாயன செயல்முறைகளை உள்ளடக்கியது. எடுத்துக்காட்டாக, செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்முறையின் சில படிகள், ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் பூச்சு மற்றும் மேம்பாடு போன்றவை ஈரப்பதத்திற்கு அதிக உணர்திறன் கொண்டவை, ஏனெனில் ஈரப்பதத்தில் ஏற்படும் ஏற்ற இறக்கங்கள் பொருட்களின் ஒட்டுதல் மற்றும் இரசாயன எதிர்வினைகளின் வீதத்தை பாதிக்கலாம். கூடுதலாக, சில கரிம தொகுப்பு வினைகள், குறிப்பாக எளிதில் நீராற்பகுப்பு செய்யப்பட்ட சேர்மங்கள் அல்லது கடுமையான நீரற்ற நிலைமைகள் தேவைப்படும் வினையூக்க எதிர்வினைகள், குறைந்த ஈரப்பதம் உள்ள சூழலில் மேற்கொள்ளப்பட வேண்டும். இந்த சோதனைகளில், கையுறை பெட்டியால் வழங்கப்படும் துல்லியமான ஈரப்பதம் கட்டுப்பாடு சோதனை முடிவுகளின் துல்லியம் மற்றும் மறுஉற்பத்திக்கு முக்கியமானது.