A- ийн материал бээлий дахь Бээлий хайрцаг нь туршилтанд чухал нөлөө үзүүлдэг, учир нь энэ нь туршилт хийгчийн бээлий доторх орчинтой шууд харьцдаг хэсэг юм. Бээлий материал нь түүнд хүрч болох янз бүрийн химийн бодисыг эсэргүүцэхийн тулд сайн химийн эсэргүүцэлтэй байх ёстой. Үүний зэрэгцээ тэд удаан хугацаагаар ашиглах, байнгын ажиллагаатай ажиллахад хангалттай бат бөх байх ёстой. Нэмж дурдахад бээлийний материал нь амьсгалах чадвар багатай байх ёстой бөгөөд энэ нь гаднах агаар, бохирдуулагчийг бээлий хайрцагт оруулахаас сэргийлж, хийн цэвэршилт, бээлий доторх орчны хяналтад нөлөөлдөг. Туршилтын үйл ажиллагааны нарийвчлал, тав тухтай байдалд нөлөөлдөг тул бээлийний уян хатан байдал, мэдрэгчтэй мэдрэмж нь бас чухал юм. Хэрэв бээлийний материалыг буруу сонговол туршилтын бохирдол, бээлий гэмтэх, улмаар туршилтын үр дүнгийн найдвартай байдал, аюулгүй байдалд сөргөөр нөлөөлж болзошгүй.

A The бээлий хайрцагны загвар нь урт хугацааны туршилтуудыг, ялангуяа тогтвортой, хяналттай орчин шаарддаг туршилтуудыг дэмжих боломжтой. Түүний битүүмжлэл, дотоод орчны хяналтын чадавхи нь туршилтанд оролцогчдод усгүй, агааргүй нөхцөлд удаан хугацааны материал боловсруулах эсвэл химийн синтез хийх боломжийг олгодог. Гэсэн хэдий ч урт хугацааны туршилтын явцад бээлий хайрцгийн янз бүрийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг тогтмол шалгаж, засвар үйлчилгээ хийх шаардлагатай байдаг. хий цэвэршүүлэх систем , хяналтын систем.Туршилтын орчны тогтвортой байдал, найдвартай байдлыг хангахын тулд

A Хагас дамжуулагч төхөөрөмжийг үйлдвэрлэх явцад олон үе шатууд нь фотолитографи, сийлбэр, тунадас зэрэг хүрээлэн буй орчны нөхцөл байдалд маш мэдрэмтгий байдаг. The бээлий хайрцаг нь хяналттай, усгүй, хүчилтөрөгчгүй орчинг бүрдүүлдэг бөгөөд энэ нь материалын исэлдэлт, гидролизээс сэргийлж, процессын нарийвчлал, төхөөрөмжийн гүйцэтгэлийг баталгаажуулдаг. Үүнээс гадна бээлий хайрцгийг мэдрэмтгий хагас дамжуулагч материалыг хадгалах, хүрээлэн буй орчны хүчин зүйлээс хамгаалахад ашиглаж болно. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбарт бээлий хайрцаг ашиглах нь үйлдвэрлэлийн үр ашиг, бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулж, өндөр нарийвчлалтай үйлдвэрлэлд хүрэх гол тоног төхөөрөмжийн нэг юм.

A дахь цэвэршүүлэх багана бээлий хайрцаг нь физик шингээлт эсвэл химийн урвалаар хийг цэвэршүүлдэг хийн хольцыг зайлуулах төхөөрөмж юм. Цэвэршүүлэх багана нь ихэвчлэн идэвхижүүлсэн нүүрс, молекул шигшүүр эсвэл бусад шингээгч бодисоор дүүрдэг бөгөөд тэдгээр нь өндөр өвөрмөц гадаргуутай бөгөөд хийн дэх усны уур, хүчилтөрөгч болон бусад органик болон органик бус хольцыг үр дүнтэй шингээж чаддаг. Хий нь цэвэршүүлэх баганаар дамжих үед хольцын молекулууд шингээгчээр баригдаж, улмаар хий цэвэршүүлэхэд хүрдэг. Цэвэршүүлэх баганын ажиллах зарчим нь энгийн бөгөөд үр дүнтэй бөгөөд энэ нь бээлий хайрцагны доторх хийн цэвэр байдлыг хадгалах чухал бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Цэвэршүүлэх нөлөөг хадгалахын тулд шингээлтийн ханалт, гүйцэтгэлийн доройтлоос зайлсхийхийн тулд цэвэршүүлэх багана дахь шингээгчийг тогтмол солих эсвэл нөхөн сэргээх шаардлагатай.

A Засвар үйлчилгээний мөчлөг бээлий хайрцаг нь бүрэлдэхүүн хэсэг бүрийн хэрэглээний төрөл, давтамжаас хамаарна. Ерөнхийдөө битүүмжлэл гэх мэт эмзэг эд ангиудыг өмс бээлий нь илүү олон удаа шалгаж, солих шаардлагатай байж болох тул зургаан сар эсвэл жил тутамд хяналт шалгалт хийхийг зөвлөж байна. зэрэг гол бүрэлдэхүүн хэсгүүд вакуум насосууд, хийн эргэлтийн систем , хяналтын системийг үйлдвэрлэгчийн зөвлөмжийн дагуу тогтмол засварлаж байх ёстой бөгөөд үүнд улирал эсвэл жил бүр гүйцэтгэлийн шалгалт, цэвэрлэгээ орно. Идэвхжүүлсэн нүүрс, молекул шигшүүр зэрэг хий цэвэршүүлэх материалын хувьд тэдгээрийн орлуулах мөчлөг нь ашиглалт, ханалтаас хамаардаг бөгөөд гүйцэтгэлийн бууралт ажиглагдсан үед солих шаардлагатай болдог. Тогтмол засвар үйлчилгээ нь бээлий хайрцгийг удаан хугацаанд тогтвортой ажиллуулах, туршилтыг жигд явуулахад тусалдаг.

A хэмжээ бээлий хайрцаг нь туршилтанд нөлөөлж болно. Илүү том бээлий хайрцаг нь илүү их тоног төхөөрөмж, материалыг багтаах боломжтой тул том хэмжээний эсвэл олон шатлалт туршилтын үйл ажиллагаанд тохиромжтой. Жижиг бээлий хайрцаг нь хязгаарлагдмал зай эсвэл жижиг хэмжээтэй туршилт хийхэд тохиромжтой. Хэмжээг сонгохдоо туршилтын тусгай шаардлага, үүнд шаардагдах ашиглалтын зай, тоног төхөөрөмжийн хэмжээ, туршилтын материалын эзлэхүүн зэрэгт үндэслэнэ. Хэт том эсвэл хэтэрхий жижиг бээлий хайрцаг нь туршилтын үр ашиг, үйл ажиллагааны тав тухтай байдалд нөлөөлж болзошгүй. Үүнээс гадна бээлий хайрцагны хэмжээ нь түүний эрчим хүчний хэрэглээ, засвар үйлчилгээний зардалд нөлөөлж болно.

A доторх хүчилтөрөгч, усны уурыг зайлуулах бээлий хайрцаг нь голчлон бээлий хайрцгийг инертийн хий, тухайлбал азот эсвэл аргоноор дүүргэж, бээлий доторх анхны хийг солих замаар бүтээдэг. хийн цэвэршүүлэх систем , түүний дотор идэвхжүүлсэн нүүрс шүүлтүүр эсвэл молекул шигшүүр, үлдсэн хүчилтөрөгч, усны уурыг шингээж зайлуулах, хайрцагны доторх орчны цэвэр байдлыг хангах.

туршилтууд Өндөр чийгшлийн хяналт шаарддаг бээлий хайрцаг нь ихэвчлэн чийгэнд мэдрэмтгий материалууд эсвэл усны уурын хөндлөнгийн оролцооноос урьдчилан сэргийлэх шаардлагатай химийн процесст ордог. Жишээлбэл, хагас дамжуулагчийг үйлдвэрлэх процессын тодорхой үе шатууд, тухайлбал фоторезист бүрэх, боловсруулах зэрэг нь чийгшилд маш мэдрэмтгий байдаг, учир нь чийгийн хэлбэлзэл нь материалын наалдац, химийн урвалын хурдад нөлөөлдөг. Нэмж дурдахад, зарим органик синтезийн урвалууд, ялангуяа амархан гидролизд ордог нэгдлүүд эсвэл хатуу усгүй нөхцөл шаарддаг катализаторын урвалыг чийгшил багатай орчинд хийх шаардлагатай. Эдгээр туршилтуудад бээлий хайрцгаар хангагдсан чийгшлийн нарийн хяналт нь туршилтын үр дүнгийн нарийвчлал, давтагдах чадварт чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.