உயர் தொழில்நுட்ப ஆராய்ச்சி மற்றும் துல்லியமான உற்பத்தித் துறைகளில், கையுறை பெட்டிகள் மிகவும் சிறப்பு வாய்ந்த உபகரணங்களாக முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன. சீல் செய்யப்பட்ட மற்றும் கட்டுப்படுத்தக்கூடிய சூழலை உருவாக்குவதன் மூலம் காற்றின் கூறுகளுக்கு அதிக உணர்திறன் கொண்ட மாதிரிகள், பொருட்கள் அல்லது செயல்முறைகளைப் பாதுகாக்கிறது. இந்த இலக்கை அடைய, கையுறை பெட்டிகள் அவற்றின் வடிவமைப்பில் சீல் மற்றும் சுழற்சி சுத்திகரிப்பு அமைப்புகளில் கவனம் செலுத்துவது மட்டுமல்லாமல், பல்வேறு சோதனைகள் மற்றும் உற்பத்தியின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய பல்வேறு வேலை வாயுக்களின் பயன்பாட்டை பரவலாக ஆதரிக்கின்றன.
1, கையுறை பெட்டியால் ஆதரிக்கப்படும் முக்கிய வேலை வாயுக்கள்
கையுறை பெட்டிகளால் ஆதரிக்கப்படும் பல்வேறு வகையான வேலை வாயுக்கள் உள்ளன, ஆனால் அவை அவற்றின் செயல்பாடுகள் மற்றும் பயன்பாட்டு காட்சிகளின் அடிப்படையில் தோராயமாக பின்வரும் வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்:
மந்த வாயுக்கள்: நைட்ரஜன் (N ₂), ஆர்கான் (Ar), முதலியன. இந்த வாயுக்கள் நிலையான இரசாயன பண்புகள் மற்றும் பிற பொருட்களுடன் எளிதில் வினைபுரிவதில்லை, எனவே அவை ஆக்ஸிஜன் மற்றும் ஈரப்பதத்தை அகற்ற, உணர்திறன் மாதிரிகள் அல்லது செயல்முறைகளை ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் மாசுபாட்டிலிருந்து பாதுகாக்க கையுறை பெட்டிகளில் வாயுக்களை நிரப்புவதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
குறைக்கும் வாயுக்கள்: செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறைகள் போன்ற சில குறிப்பிட்ட சூழ்நிலைகளில், கையுறை பெட்டிகள் ஹைட்ரஜன் (H ₂) போன்ற வாயுக்களை குறைக்கும் பயன்பாட்டை ஆதரிக்க வேண்டும். ஹைட்ரஜன் வலுவான குறைப்புத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் உலோகப் பரப்புகளில் உள்ள ஆக்சைடுகளை அகற்றி, உயர்தர மெல்லிய படங்களின் வளர்ச்சியை ஊக்குவிக்கிறது.
அரிய வாயுக்கள்: ஹீலியம் (He), நியான் (Ne) போன்றவை. இந்த வாயுக்கள் மிகக் குறைந்த வெப்பநிலை போன்ற குறிப்பிட்ட நிலைமைகளின் கீழ் தனித்துவமான இயற்பியல் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன, எனவே அவை சூப்பர் கண்டக்டிங் பொருள் ஆராய்ச்சி, குறைக்கடத்தி லித்தோகிராபி போன்ற சில உயர்நிலை அறிவியல் ஆராய்ச்சி மற்றும் உற்பத்தித் துறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
கலப்பு வாயு: சோதனை அல்லது உற்பத்தியின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பொறுத்து, கையுறை பெட்டி பல வாயுக்களின் கலவையை ஆதரிக்கலாம். எடுத்துக்காட்டாக, லித்தியம் பேட்டரிகளின் வளர்ச்சியில், வெவ்வேறு பயன்பாட்டு நிலைமைகளின் கீழ் பேட்டரியின் செயல்திறனை உருவகப்படுத்த, கையுறை பெட்டியானது ஆக்ஸிஜன், நைட்ரஜன், கார்பன் டை ஆக்சைடு போன்ற பல்வேறு கூறுகளைக் கொண்ட கலவையான வாயுவை வழங்க வேண்டியிருக்கும்.
2, வேலை செய்யும் வாயுக்களை தேர்ந்தெடுப்பதற்கான கோட்பாடுகள்
கையுறை பெட்டியால் ஆதரிக்கப்படும் வேலை வாயுவைத் தேர்ந்தெடுக்கும்போது, பின்வரும் கொள்கைகளைப் பின்பற்ற வேண்டும்:
பாதுகாப்பு: முதன்மைக் கருத்தில் வாயுவின் பாதுகாப்பு. தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட வாயு, கையுறை பெட்டியில் உள்ள செறிவு வரம்பிற்குள் ஆபரேட்டர்கள், உபகரணங்கள் அல்லது மாதிரிகளுக்கு ஆபத்தை ஏற்படுத்தாது என்பதை உறுதிப்படுத்துவது அவசியம்.
தூய்மை: வேலை செய்யும் வாயுவின் தூய்மை சோதனை முடிவுகள் அல்லது தயாரிப்பு தரத்தில் நேரடி தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது. எனவே, வாயுக்களைத் தேர்ந்தெடுக்கும்போது, சோதனை அல்லது உற்பத்தித் தேவைகளின் அடிப்படையில் தேவையான தூய்மை நிலை தீர்மானிக்கப்பட வேண்டும், மேலும் எரிவாயு வழங்குநர் தரநிலைகளை பூர்த்தி செய்யும் தயாரிப்புகளை வழங்க முடியும் என்பதை உறுதிப்படுத்த வேண்டும்.
நிலைப்புத்தன்மை: தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட வாயு, கையுறை பெட்டியின் உள்ளே சூழலில் நிலையாக இருக்க வேண்டும் மற்றும் சோதனை அல்லது உற்பத்தியின் தொடர்ச்சி மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக எளிதில் சிதைவு, பாலிமரைசேஷன் அல்லது பிற இரசாயன எதிர்வினைகளுக்கு உட்படாது.
கையுறை பெட்டி பல்வேறு சோதனைகள் மற்றும் உற்பத்தியின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய பல வேலை வாயுக்களின் பயன்பாட்டை ஆதரிக்கிறது. வேலை செய்யும் வாயுவைத் தேர்ந்தெடுக்கும்போது, பாதுகாப்பு, தூய்மை, ஸ்திரத்தன்மை மற்றும் பொருளாதாரம் போன்ற காரணிகளை விரிவாகக் கருத்தில் கொள்வது அவசியம். தொழில்நுட்பம் மற்றும் பயன்பாடுகளின் தொடர்ச்சியான வளர்ச்சி மற்றும் விரிவாக்கத்துடன், கையுறை பெட்டிகளால் ஆதரிக்கப்படும் வேலை வாயுக்களின் வகைகள் தொடர்ந்து செழுமைப்படுத்தப்பட்டு மேம்படுத்தப்படும், இது அறிவியல் ஆராய்ச்சி மற்றும் உற்பத்தித் துறைகளுக்கு மிகவும் விரிவான மற்றும் திறமையான தீர்வுகளை வழங்குகிறது.
