មុខងារសំខាន់ពីរនៃប្រអប់ស្រោមដៃ

ប្រអប់ស្រោមដៃគឺជាឧបករណ៍ពិសោធន៍ដែលបិទជិតខ្ពស់ជាមួយនឹងបរិយាកាសគ្រប់គ្រង។ វាបម្រើដើម្បីការពារបរិស្ថានខាងក្នុង និងមាតិការបស់វាពីការចម្លងរោគពីខាងក្រៅ ខណៈពេលដែលក៏ការពារប្រតិបត្តិករខាងក្រៅពីគ្រោះថ្នាក់ដែលអាចកើតមាននៅក្នុងប្រអប់ផងដែរ។

(មួយ) ការការពារសម្ភារៈពិសោធន៍នៅខាងក្នុងប្រអប់ស្រោមដៃ

មុខងារចម្បងមួយនៃប្រអប់ស្រោមដៃគឺបង្កើតបរិយាកាសអសកម្ម ដែលស្ថិតនៅដាច់ដោយឡែកពីបរិយាកាសខាងក្រៅ សម្រាប់គំរូពិសោធន៍ ឧបករណ៍ជាក់លាក់ ឬសម្ភារៈពិសេស។

ការញែកសំណើម និងអុកស៊ីហ្សែន ដើម្បីការពារអុកស៊ីតកម្ម និងការរិចរិលៈ វត្ថុធាតុជាច្រើនដូចជា លោហៈលីចូមដែលមានប្រតិកម្ម សារធាតុបញ្ចេញពន្លឺសរីរាង្គ កាតាលីករមួយចំនួន និងវត្ថុធាតុណាណូ មានភាពរសើបខ្លាំងចំពោះសំណើម និងអុកស៊ីសែននៅក្នុងខ្យល់។ សូម្បីតែបរិមាណសំណើម និងអុកស៊ីហ៊្សែនអាចបង្កឱ្យមានប្រតិកម្មអុកស៊ីតកម្ម ភាពច្របូកច្របល់ ភាពអសកម្ម ឬការថយចុះដំណើរការ។ 

ដោយការបំពេញប្រអប់ស្រោមដៃជាមួយនឹងឧស្ម័នអសកម្មដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (ដូចជា អាសូត ឬ អាហ្គុន) ហើយបន្តចរាចរ និងបន្សុទ្ធបរិយាកាស កំហាប់សំណើម និងអុកស៊ីហ៊្សែននៅខាងក្នុងប្រអប់ត្រូវបានរក្សានៅកម្រិតទាបបំផុត (ជាធម្មតា <1 ppm) ។ នេះផ្តល់នូវស្ថេរភាព ការផ្ទុករយៈពេលវែង និងបរិយាកាសប្រតិបត្តិការសម្រាប់វត្ថុធាតុរសើប ដែលមានសារៈសំខាន់នៅក្នុងវិស័យដូចជា R&D ថ្មលីចូម និងការផលិត ដំណើរការសម្ភារៈ semiconductor និងការសំយោគសរីរាង្គ។

ការគ្រប់គ្រងធូលី និងភាគល្អិត៖ សម្រាប់កម្មវិធីដូចជាការផលិតមីក្រូអេឡិចត្រូនិច ការផ្គុំសមាសធាតុអុបទិកដែលមានភាពជាក់លាក់ និងការស្រាវជ្រាវបច្ចេកវិទ្យាណាណូ សូម្បីតែភាគល្អិតធូលីទំហំមីក្រូអាចនាំឱ្យផលិតផលបរាជ័យ ឬគម្លាតពីការពិសោធន៍។ ប្រអប់ស្រោមដៃអាចត្រូវបានរួមបញ្ចូលជាមួយប្រព័ន្ធតម្រងសម្អាតជ្រុល FFU ដើម្បីច្រោះភាគល្អិតធូលីចេញពីបរិយាកាសខាងក្នុងប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព ដោយសម្រេចបាននូវកម្រិតអនាម័យនៃថ្នាក់ 10 ឬថ្នាក់ 100 ។

(二) ការការពារប្រតិបត្តិករនៅខាងក្រៅប្រអប់ស្រោមដៃ

មុខងារសំខាន់ដូចគ្នាមួយទៀតនៃប្រអប់ស្រោមដៃ គឺការញែកប្រតិបត្តិកររាងកាយចេញពីគ្រោះថ្នាក់ដែលអាចកើតមាននៅក្នុងប្រអប់ ដោយធានាសុវត្ថិភាពរបស់ពួកគេ៖

ញែកសារធាតុគីមីពុល និងគ្រោះថ្នាក់៖ នៅពេលគ្រប់គ្រងសារធាតុគីមីពុល ឬសមាសធាតុដែលមានប្រតិកម្មខ្ពស់ (ដូចជាអន្តរការីសំយោគសរីរាង្គមួយចំនួន ឬអាសេនីត) ការប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់បង្កហានិភ័យយ៉ាងសំខាន់។ រចនាសម្ព័នខ្យល់នៃប្រអប់ស្រោមដៃ រួមផ្សំជាមួយនឹងប្រតិបត្តិការដោយប្រយោលតាមរយៈស្រោមដៃដែលភ្ជាប់មកជាមួយ ការពារយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាពនូវចំហាយពុល ធូលី ឬវត្ថុរាវពីការមកប៉ះផ្ទាល់ជាមួយស្បែក ភ្នែក ឬប្រព័ន្ធដកដង្ហើមរបស់ប្រតិបត្តិករ ដោយកាត់បន្ថយគ្រោះថ្នាក់ដល់សុខភាពការងារ។

របាំងប្រឆាំងនឹងសារធាតុវិទ្យុសកម្ម៖ នៅក្នុងសេណារីយ៉ូដូចជាការកែច្នៃឥន្ធនៈនុយក្លេអ៊ែរ ការរៀបចំសារធាតុវិទ្យុសកម្ម និងការស្រាវជ្រាវអ៊ីសូតូបវិទ្យុសកម្ម ប្រអប់ស្រោមដៃ (ជាពិសេសអ្នកដែលបំពាក់ដោយរបាំងការពារ) បម្រើជាឧបករណ៍ការពារសំខាន់។ ពួកគេការពារប្រឆាំងនឹងវិទ្យុសកម្មវិទ្យុសកម្ម និងការពារការលេចធ្លាយនៃធូលីវិទ្យុសកម្ម ឬ aerosols ចូលទៅក្នុងបរិយាកាសខាងក្រៅ ការពារបុគ្គលិកពីការប៉ះពាល់នឹងវិទ្យុសកម្ម និងការចម្លងរោគវិទ្យុសកម្ម។

ប្រអប់ស្រោមដៃមិនគ្រាន់តែជា 'ប្រអប់ជាមួយស្រោមដៃទេ។' វាជាឧបករណ៍ទំនើបដែលមានសមត្ថភាពផ្តល់នូវការគ្រប់គ្រងបរិស្ថាន និងការការពារបុគ្គលិកយ៉ាងជាក់លាក់។ តាមរយៈភាពឯកោរាងកាយ ការគ្រប់គ្រងបរិយាកាសអសកម្ម និងការចូលប្រើប្រាស់ប្រតិបត្តិការដែលបានកំណត់ (ស្រោមដៃ) វាសម្រេចបាននូវគោលដៅពីរនៃ 'ការពារភាពបរិសុទ្ធខាងក្នុង និងធានាសុវត្ថិភាពខាងក្រៅ។' ដូច្នេះ វាបម្រើជាឧបករណ៍មូលដ្ឋាននៅក្នុងមន្ទីរពិសោធន៍ស្រាវជ្រាវទំនើប ឧស្សាហកម្មផលិតលំដាប់ខ្ពស់ (ដូចជាថ្មលីចូម ឧស្សហកម្ម semiconductors) និងឧស្សាហកម្មនុយក្លេអ៊ែរ។