Αυτό το μονό σύστημα εργασίας είναι εξοπλισμένο με ένα ενσωματωμένο σύστημα καθαρισμού αερίου (μία στήλη), τον ελεγκτή PLC (με οθόνη αφής HMI), το ηλεκτρονικό περίβλημα, τα μεγάλα και μικρά προθάλαμο, το αντικαταστάσιμο γυαλί και την αντλία κενού, την εφικτή καθαρότητα αυτού του συστήματος είναι H2O <1ppm, O2 <1ppm.
Αυτό το σύστημα περιλαμβάνει ένα σύστημα καθαρισμού μεγάλης χωρητικότητας ικανό να προσροφήσει 60L του O2 και να απορροφήσει 2000g υγρασίας που επεκτείνει το χρόνο σας μεταξύ των κύκλων αναγέννησης.
F eatures
Κλειστό αέριο κυκλοφορίας αερίου
αδρανές αέριο σε κλειστό βρόχο. Το αέριο κυκλοφορεί από τον φυσητήρα και τον καθαριστή, H2O, O2 μπορεί να αφαιρεθεί συνεχώς.
Αυτόματης εκκαθάρισης
Η αντικατάσταση της ατμόσφαιρας μέσα στο γάντι μπορεί να επιτευχθεί αυτόματα από τις βαλβίδες καθαρισμού.
αυτόματη αναγέννηση H2O και O2 υλικό αφαίρεσης.
Μπορεί να αναγεννηθεί Η διαδικασία αναγέννησης μπορεί να ελέγχεται από το πρόγραμμα.
ΕΛΕΓΧΟΣ ΕΛΕΓΧΟΥ ΠΙΕΣΗΣ
Η πίεση στο γάντι ελέγχεται αυτόματα από τον προγραμματιζόμενο λογικό ελεγκτή (PLC). Η πίεση λειτουργίας μπορεί να ρυθμιστεί είτε μεταξύ +15mbar και -15mbar είτε μεταξύ +12 mbar και -12 mbar. Εάν η πίεση περάσει από το καθορισμένο εύρος, το σύστημα θα προστατεύεται αυτόματα.
Λειτουργία ECO
Η αντλία κενού θα ενεργοποιηθεί αυτόματα όταν είναι απαραίτητο και θα απενεργοποιηθεί μετά από μια περίοδο αναμονής. Η συχνότητα του φυσητήρα θα μετατραπεί σε 25Hz όταν η υγρασία και το επίπεδο οξυγόνου φτάνουν σε λιγότερο από 1 ppm
Pecifications
Μήκος διαστάσεων κύριου θαλάμου
: 1220mm (48.0 ')
βάθος: 750mm (29.5 ')
Ύψος: 900m (35.4 ')
Υλικό
3mm (1/8 ') Windows:
: POM (Polyoxymethylene), πάχος
Γάντια: 8B1532
Φίλτρο σκόνης: HEPA 0.3μ, μία είσοδο αερίου, ένα
ράφια εξόδου αερίου: από ανοξείδωτο χάλυβα, δύο σταθερά ράφια (διαθέσιμα ράφια)
φωτισμός: εξωτερικά φώτα LED, μπροστινά τοποθετημένα πάνω από γυαλί.
FeedThroughs: μία τροφοδοσία ισχύος, 3 τυφλές φυλές
Μεγάλη διάμετρος προθερμαντήρας
: 360mm (14.2 ') ή 400mm (15.7 '), μήκος 600mm (23.6 ')
με συρόμενη
πόρτα κλειδώματος δίσκου, κατακόρυφη λειτουργία με
αυτόματη λειτουργία μηχανισμού ανύψωσης μέσω ηλεκτρομαγνητικής βαλβίδας
Μικρή
διάμετρος προθερμαντήρας 150 mm (5.9 ') ή 100mm (3.9 '), μήκος 300mm (11.8 ')
θύρας με άρθρωση μέσω βαλβίδας χειρός
Εγχειρίδιο
καθαριστή των Η
Απομάκρυνση 2O και O 2 σε λιγότερο από 1 ppm υγρασία και
μονάδα απορρόφησης οξυγόνου: 5kg χαλκός καταλύτης, 5 kg μοριακό κόσκινο
χωρητικότητα για την απομάκρυνση οξυγόνου, 60L, υγρασία 2000g.
Εγκλωβισμένος φυσητήρας: Αναγέννηση 90m 3/h
: Ελέγχου PLC Όλη η διαδικασία, συμπεριλαμβανομένης της θέρμανσης, εισαγωγή αερίου μίγματος (αέριο εργασίας που αναμιγνύεται με υδρογόνο 5-10%) κ.λπ.
System Control PLC και HMI: Siemens S7
Αντλία κενού 8m 3/Ώρα αντλία περιστροφικού πτερυγίου με φίλτρο ομίχλης λαδιού και έρματος αερίου
O ptions & αξεσουάρ
αξεσουάρ:
Αισθητήρας υγρασίας
Αισθητήρας Αισθητήρα
διαλύτη
θερμαινόμενη ψυγείο
ψυχρό
καλά
ψυγείο
διαλύτη
Επιλογές
Άλλες επιλογές:
Προσαρμοσμένα μεγέθη πλαισίων ενσωμάτωσης
πελάτη στο γάντι, όπως ο εξατμιστής, το σύστημα ALD και ο Coater Spin
κ.λπ.
των οργάνων
του
Μικρός θάλαμος με
καθαρισμό προθάτων ολίσθησης δίσκου μόνο χωρίς κατ 'αναλογική
αντλία με κενό από τον κύλινδρο αντί για πλαίσιο
ορθογώνια
ράφια
προθάλαμο
ευέλικτα
αντλιοσταθμιστική
dvantagesΈνα
Καθαριστής υψηλής χωρητικότητας
Ταχεία απομάκρυνση των H 2O και O 2 σε διαστήματα μήκους μικρότερης από 1ppm
μεταξύ των κύκλων αναγέννησης.
PLC Control και έγχρωμη οθόνη αφής HMI
αυτόματη εκκαθάριση. Κυκλοφορία; Αναγέννηση; Έλεγχος πίεσης. Λειτουργία φιλικής προς το χρήστη.
Η υγρασία μεγάλης διάρκειας ζωής και οι αναλυτές οξυγόνου
P 2O 5 αισθητήρα υγρασίας: ανθεκτικό στη διάβρωση, ανανεώσιμη με καθαρισμό οξέος εάν ο ανιχνευτής μολύνεται από HF ή άλλη διαβρωτική περιβαλλοντική έκθεση.
Z R O 2 Αισθητήρας οξυγόνου: Στερεός αισθητήρας, μεγάλη διάρκεια ζωής, μπορεί να εκτεθεί στον αέρα χωρίς κατανάλωση.
Προσαρμόστε ένα κουτί γάντι ειδικά για την εφαρμογή σας
Η ομάδα μηχανικών μας μπορεί να σας βοηθήσει να μετατρέψετε την ιδέα σας σε λύση.
Οι σωλήνες και οι συνδετήρες αερίου από ανοξείδωτο χάλυβα
όλα τα γάντια έχουν αναβαθμιστεί σε σωλήνες και συνδετήρες από ανοξείδωτο χάλυβα με πολύ υψηλότερη διάβρωση για εξαιρετικά διαβρωτικό περιβάλλον.
