တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလက်အိတ်- Chip ၏ 'မမြင်နိုင်သော Guardian'

လက်သည်းအရွယ်အစားရှိ ချစ်ပ်တစ်ခုပေါ်တွင် ထရန်စစ္စတာ သန်းပေါင်းများစွာကို ဝှက်ထားသည်။ ဤ နာနိုစကေး 'အီလက်ထရွန်းနစ် စစ်သည်များ' ကို သန့်ရှင်းသော လေထု ပတ်ဝန်းကျင်တွင် ထုတ်လုပ်ရန် လိုအပ်ပါသည်။ ပတ်ဝန်းကျင်လေထုအတွင်းရှိ ဖုန်မှုန့်များ၊ အစိုဓာတ်နှင့် အခြားညစ်ညမ်းပစ္စည်းများသည် ချစ်ပ်ပြားပတ်လမ်းများနှင့် အပိုင်းအစများကို ဖြစ်စေနိုင်သည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူး လက်အိတ်သေတ္တာသည် တည်ငြိမ်သော၊ ရေဓာတ်မရှိသော၊ အောက်ဆီဂျင်ကင်းစင်ပြီး ဖုန်ကင်းစင်သော တည်ငြိမ်သောလေထုပတ်ဝန်းကျင်ကို ဖန်တီးပေးသည်။

I. Semiconductor Glove Box ၏လုပ်ဆောင်ချက်များ

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ လက်အိတ်ပုံးတစ်ခု တပ်ဆင်ထားသည်။ ဓာတ်ငွေ့သန့်စင်မှုစနစ် ။ ဤစနစ်၏ အဓိကလုပ်ဆောင်မှုမှာ ၎င်း၏ မြင့်မားသောသန့်စင်မှုကို ထိန်းသိမ်းထားရန် သေတ္တာအတွင်းရှိ ဓာတ်ငွေ့များမှ ရေ၊ အောက်ဆီဂျင်နှင့် အညစ်အကြေးများကို စစ်ထုတ်ရန်ဖြစ်သည်။ ရေဖယ်ရှားခြင်းသည် ပုံမှန်အားဖြင့် ရေမော်လီကျူးများကို ရွေးချယ်စုပ်ယူနိုင်သည့် သေးငယ်သောဖွဲ့စည်းပုံပါရှိသော မော်လီကျူးဆန်ခါများကို အသုံးပြုလေ့ရှိပြီး ယင်းကြောင့် သေတ္တာအတွင်းရှိ စိုထိုင်းဆကို အလွန်နိမ့်သောအဆင့်အထိ လျှော့ချပေးသည်။ တက်ကြွသောသတ္တုများ (ဥပမာ-ကြေးနီဓာတ်ကူပစ္စည်း) များသည် အောက်ဆီဂျင်နှင့် ဓာတ်ပြုရန်၊ ၎င်းကို သတ္တုအောက်ဆိုဒ်အဖြစ် ဓာတ်တိုးစေခြင်းဖြင့် deoxygenation ရရှိစေသည်။ ဖိုက်ဘာစစ်ထုတ်စက္ကူနှင့် activated ကာဗွန်ကဲ့သို့သော အလွှာပေါင်းများစွာရှိ filtration media ကိုသုံး၍ ဖုန်မှုန့်များ၊ အဏုဇီဝပိုးမွှားများနှင့် အခြားအညစ်အကြေးများကို ကြားဖြတ်ဝင်ရောက်ခြင်းဖြင့် ဓာတ်ငွေ့သေတ္တာအတွင်းပိုင်းရှိ ဓာတ်ငွေ့များကို သန့်စင်ပေးကာ ဓာတ်ငွေ့သည် အလွန်သန့်ရှင်းနေမည်ဖြစ်သည်။

ပတ်ဝန်းကျင်ဆိုင်ရာ ကန့်သတ်ချက်များကို အချိန်နှင့်တပြေးညီ စောင့်ကြည့်ရန် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလက်အိတ်အတွင်းတွင် အာရုံခံကိရိယာအမျိုးမျိုးကို တပ်ဆင်ထားသည်။ အောက်ဆီဂျင်အာရုံခံကိရိယာများသည် သေတ္တာအတွင်းရှိ အောက်ဆီဂျင်ပါဝင်မှုအား တိကျစွာတိုင်းတာပြီး အစိုဓာတ်ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာမှုကိရိယာများ (dew point sensors ) သည် ရေပါဝင်မှုကို စဉ်ဆက်မပြတ် စောင့်ကြည့်သည်။ ရေ သို့မဟုတ် အောက်ဆီဂျင်ပါဝင်မှုသည် ကြိုတင်သတ်မှတ်ထားသော သတ်မှတ်ချက်ထက်ကျော်လွန်ပါက၊ စနစ်သည် အချက်ပြမှုတစ်ခု စတင်မည်ဖြစ်သည်။ သေတ္တာအတွင်းရှိ ဖုန်မှုန့်ပမာဏကို စောင့်ကြည့်ရန် အမှုန်ကောင်တာများကိုလည်း ပေါင်းစပ်နိုင်သည်။

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးလက်အိတ်သေတ္တာများသည် အမျိုးမျိုးသော ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်ရေးကိရိယာများနှင့် ချောမွေ့စွာ အပြန်အလှန်ချိတ်ဆက်နိုင်စေသည့် အကောင်းဆုံးသောကိရိယာများ ပေါင်းစပ်နိုင်မှုစွမ်းရည်များပါရှိသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ ၎င်းတို့ကို photolithography စက်များ၊ etching machines နှင့် electron beam evaporation equipment တို့နှင့် ပေါင်းစပ်နိုင်သည်။ ဓါတ်ပုံရိုက်စက်ဖြင့် ပေါင်းစပ်သောအခါ၊ လက်အိတ်သည် လက်အိတ်ပုံးနှင့် ဓါတ်ပုံရိုက်စက်ကြားသို့ လွှဲပြောင်းစဉ်အတွင်း wafer သန့်ရှင်းသော ပတ်ဝန်းကျင်တွင် ရှိနေကြောင်း သေချာစေပြီး ညစ်ညမ်းမှုကို ကာကွယ်ပေးသည်။ ထို့အပြင်၊ လက်အိတ်သေတ္တာ၏ထိန်းချုပ်မှုစနစ်သည် ပေါင်းစပ်စက်ပစ္စည်းများ၏ ထိန်းချုပ်မှုစနစ်များနှင့် ဆက်သွယ်နိုင်ပြီး ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်ရေးလုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုလုံးကို အလိုအလျောက်ထိန်းချုပ်နိုင်စေပါသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ wafer သည် လက်အိတ်အတွင်းရှိ photoresist coating ဖြည့်သွင်းပြီးသည်နှင့်၊ စနစ်သည် ထိတွေ့မှုအဆင့်အတွက် ပြင်ဆင်ရန်အတွက် photolithography စက်ကို အလိုအလျောက် အချက်ပြနိုင်ပြီး ထုတ်လုပ်မှု၏ ထိရောက်မှုနှင့် တိကျမှုကို သိသိသာသာ မြှင့်တင်ပေးပါသည်။

photoresists နှင့် developer များကဲ့သို့သော ပစ္စည်းများသည် လေထဲတွင် အောက်ဆီဂျင်၊ အစိုဓာတ်နှင့် သတ္တုအိုင်းယွန်းများအတွက် အလွန်အထိခိုက်မခံပါ။ ဥပမာတစ်ခုအနေဖြင့် photoresist ကိုယူခြင်း- ၎င်းသည် chip ထုတ်လုပ်မှုတွင်အရေးကြီးသောပစ္စည်းဖြစ်သည်။ photolithography တွင်၊ photoresist သည် အလင်းကို တိတိပပ အာရုံခံပြီး ဒီဇိုင်းပုံစံကို wafer ပေါ်သို့ လွှဲပြောင်းရန် ဓာတုဗေဒ တုံ့ပြန်မှုများကို လုပ်ဆောင်ရမည်ဖြစ်သည်။ သာမာန်လေနှင့် ထိတွေ့ပါက၊ photoresist သည် အောက်ဆီဂျင်နှင့် ထိတွေ့သောအခါ လျင်မြန်စွာ အောက်ဆီဂျင် ဓါတ်ပြုနိုင်ပြီး photoresist ကို ဆိုးရွားစေသည်။ ၎င်း၏ ဓါတ်ပုံများ အာရုံခံနိုင်စွမ်း သိသိသာသာ လျော့ကျသွားကာ နောက်ဆက်တွဲ ပုံသဏ္ဍာန်တွင် ပုံစံကို တိကျစွာ မျိုးပွားနိုင်ခြင်း မရှိသည့်အတွက် ပုံစံသွေဖည်မှုများ သို့မဟုတ် ချစ်ပ်ပေါ်ရှိ အမှားအယွင်းများကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်။

တိကျသောပါးလွှာသောရုပ်ရှင်များသည် စိုထိုင်းဆ 3% ထက်များသောပတ်ဝန်းကျင်တွင် စိုစွတ်သောဘီစကွတ်များကဲ့သို့ ဖောင်းလာနိုင်သည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ အလွန်ပါးလွှာသော လျှပ်ကာရုပ်ရှင်များကို မကြာခဏ နာနိုမီတာအထူသာရှိသော ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်ရေးလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုပါသည်။ ပတ်ဝန်းကျင် စိုထိုင်းဆ ကန့်သတ်ချက်ထက် ကျော်လွန်သောအခါ၊ ရေမော်လီကျူးများသည် ဖလင်ကို တဖြည်းဖြည်း စိမ့်ဝင်စေပြီး မော်လီကျူးများကြား အကွာအဝေးကို တိုးစေပြီး ဖလင်ကို ဖောရောင်ကာ ပုံပျက်စေသည်။ ဤပုံပျက်ခြင်းသည် ချစ်ပ်၏ တိကျစွာ ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော အတွင်းပတ်လမ်းကို အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေပြီး အီလက်ထရွန်းနစ်အချက်ပြထုတ်လွှင့်မှုကို ထိခိုက်စေပြီး ချစ်ပ်ကို ပြုပြင်၍မရတော့သည့် အလားအလာရှိသည်။

ချစ်ပ်တစ်ခုအတွင်းရှိ ဆားကစ်ပတ်လမ်းသည် ရှုပ်ထွေးသောပင့်ကူဝက်ဘ်နှင့် ဆင်တူသည်။ ဝေဟင်မှ သတ္တုအိုင်းယွန်းများ (ကြေးနီအိုင်းယွန်းများကဲ့သို့) သည် ဤပတ်လမ်းအတွင်း လျှပ်ကူးလမ်းကြောင်းများကို ဖန်တီးနိုင်ပြီး တိုတောင်းသော ဆားကစ်များဆီသို့ ဦးတည်စေသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ ကြေးနီအိုင်းယွန်းများသည် အရေးကြီးသော circuit node များကို လိုက်နာပါက၊ လည်ပတ်နေစဉ်အတွင်း လျှပ်စစ်စီးကြောင်းများသည် သတ္တုအိုင်းယွန်းများဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသော ဤ 'ဖြတ်လမ်းများ' မှတဆင့် စီးဆင်းသွားမည်ဖြစ်ပါသည်။ ၎င်းသည် ဒေသအလိုက် အပူလွန်ကဲခြင်းနှင့် ချစ်ပ်ပြားချို့ယွင်းမှုကို ဖြစ်စေသည်။

အလွန်သန့်ရှင်းသော လက်အိတ်သေတ္တာသည် ပျော့ပျောင်းသောလေထုကို ဖန်တီးရန် နိုက်ထရိုဂျင် သို့မဟုတ် အာဂွန်ဖြင့် သန့်စင်ခြင်းဖြင့် ဤပစ္စည်းများကို တည်ငြိမ်စေပြီး ချစ်ပ်ပြားကို အချိန်မတိုင်မီ 'etched' မဖြစ်စေရန် ကာကွယ်ပေးသည်။ လက်အိတ်သေတ္တာအတွင်း နိုက်ထရိုဂျင် သို့မဟုတ် အာဂွန်သည် မူလလေကို အစားထိုးသည်။ သန့်စင်ခြင်းနှင့် စစ်ထုတ်ခြင်းစနစ်များဖြင့် ပေါင်းစပ်ထားသောကြောင့် အစိုဓာတ်၊ အောက်ဆီဂျင်၊ သတ္တုအမှုန်အမွှားများ စသည်တို့ကို စုပ်ယူနိုင်ပြီး ရေ၊ အောက်ဆီဂျင်နှင့် သတ္တုအိုင်းယွန်းများ ညစ်ညမ်းမှုကင်းစင်သော နေရာကို ဖန်တီးပေးသည်။ photoresist နှင့် developer ကဲ့သို့သော ပစ္စည်းများသည် ဤပတ်ဝန်းကျင်တွင် ၎င်းတို့၏ မူလဓာတုနှင့် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများကို ထိန်းသိမ်းထားပြီး ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်သည့် အဆင့်တိုင်းအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသော ပစ္စည်းအခြေခံကို ပေးဆောင်သည်။